真空保持系统技术方案

技术编号:41507856 阅读:26 留言:0更新日期:2024-05-30 14:47
本申请公开了一种真空保持系统,该真空保持系统包括:真空产生装置、真空发生器、气阀和压力传感器,其中,真空产生装置用于抽取气体形成真空空间;真空发生器位于真空产生装置一侧且真空发生器的真空口与真空空间连接;气阀位于真空发生器的进气口且处于常闭状态;压力传感器位于真空发生器上且与真空发生器和气阀电连接,用于检测真空空间的压力,其中,当压力传感器检测到真空空间的压力超出预设压力范围时,触发气阀开启使压缩气体进入进气口,从而压缩气体在真空发生器中流动并从真空发生器的出气口流出,以调节真空空间的压力,直至压力传感器检测到真空空间的压力满足预设压力范围时,触发气阀关闭。上述方案,能够提高设备运行的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及产品测试,特别是涉及一种真空保持系统


技术介绍

1、在产品测试
中,部分产品的测试过程需要设备在一定压力范围的真空空间内进行,真空空间的稳定性对产品测试的过程尤为重要,但是由于各种外界因素的干扰,使得真空空间的压力超出压力范围,从而导致产品测试中断,产品需要重新测试,甚至产品会发生损坏,严重影响设备运行的稳定性。有鉴于此,如何提高设备运行的稳定性成为亟待解决的问题。


技术实现思路

1、本申请主要解决的技术问题是提供一种真空保持系统,能够提高设备运行的稳定性。

2、为解决上述技术问题,本申请提供一种真空保持系统,包括:真空产生装置、真空发生器、气阀和压力传感器,其中,真空产生装置用于抽取气体形成真空空间;真空发生器位于所述真空产生装置一侧,且所述真空发生器的真空口与所述真空空间连接;气阀位于所述真空发生器的进气口,且处于常闭状态;压力传感器位于所述真空发生器上且与所述真空发生器和所述气阀电连接,用于检测所述真空空间的压力;其中,当所述压力传感器检测到所述真空空间的压力超出预设压力范本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空保持系统,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的真空保持系统,其特征在于,还包括:

3.根据权利要求2所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空保持系统还包括:

4.根据权利要求2所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空产生装置包括:

5.根据权利要求4所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空保持系统还包括:

6.根据权利要求4所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空保持系统还包括:

7.根据权利要求6所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空保持系统还包括:

8.根据权利要求2所述的真空保...

【技术特征摘要】

1.一种真空保持系统,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的真空保持系统,其特征在于,还包括:

3.根据权利要求2所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空保持系统还包括:

4.根据权利要求2所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空产生装置包括:

5.根据权利要求4所述的真空保持系统,其特征在于,所述真空保持系统还包括:

6....

【专利技术属性】
技术研发人员:陆钧军韩建军朱军
申请(专利权)人:苏州通富超威半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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