【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感器，具体涉及一种利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方法。
技术介绍
1、气体传感器作为下一代物联网的终端节点，在食品、化工、电子等领域应用广泛。常见的气体传感器常用厚膜丝网印刷工艺制作。然而，空气中的氧气常常会吸附在金属氧化物传感器敏感层的表面，并且吸收电子，会形成种类为o2-、o-、o2-的氧离子，影响气体传感器的响应。气体传感器一般有一个最佳工作温度，当低于或者高于此温度时都无法得到最大的响应。因此，为了确保气体传感器的最佳工作温度，需要在气体传感器的表面印刷一层加热电极提供温度，并且采用一层叉指电极用来采集电阻变化。然而，两层金属电极不能直接接触，需要完全绝缘。为了避免上层金属印刷时图形变形，需要在金属电极上完全绝缘，并使用绝缘浆料后得到粗糙度尽可能小的一层绝缘膜。
2、提高气体传感器绝缘电气性能的关键在于减小绝缘层的粗糙度。目前已经提出多种方法，包括印刷后利用辊压压平薄膜，或是改善浆料配方中的流平剂以改善浆料流变性，或者利用抛光技术获得粗糙度低的表面。其中利用辊压的方法可获得地粗糙度表面但...
【技术保护点】
1.一种利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方法，其特征在于，包括以下步骤：先在电极片上进行丝网印刷绝缘浆料，之后使用超声换能器对丝网印刷好的电极片施加超声作用，并同时进行加热，然后进行清洗和烧结，所述超声换能器通过定时开关控制开关频率，所述超声换能器的探头与电极片间距设置、且与电极片的表面形成夹角。
2.根据权利要求1所述的利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方法，其特征在于，所述超声换能器在一个开关周期内，先打开再关闭，打开时间为3秒，关闭时间的范围为10-60秒。
3.根据权利要求2所述的利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方...
【技术特征摘要】
1.一种利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方法，其特征在于，包括以下步骤：先在电极片上进行丝网印刷绝缘浆料，之后使用超声换能器对丝网印刷好的电极片施加超声作用，并同时进行加热，然后进行清洗和烧结，所述超声换能器通过定时开关控制开关频率，所述超声换能器的探头与电极片间距设置、且与电极片的表面形成夹角。
2.根据权利要求1所述的利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方法，其特征在于，所述超声换能器在一个开关周期内，先打开再关闭，打开时间为3秒，关闭时间的范围为10-60秒。
3.根据权利要求2所述的利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方法，其特征在于，所述关闭的时间为30秒。
4.根据权利要求1所述的利用超声减小气体传感器流平后表面粗糙度的方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：田举雄，朱思伟，李新喜，黎灿兵，施敏捷，楚光辉，张颜瑞，张立平，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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