一种石英炉管焊接用夹持设备制造技术

本技术提供一种石英炉管焊接用夹持设备，其包括炉管支撑机构、龙门架机构、移动机构和尾管夹持机构，炉管支撑机构包括支撑架和滚轮，滚轮设于支撑架的顶部四角；龙门架机构设于支撑架的一侧，移动机构包括滑轨、滑块、齿条、移动板、驱动电机和齿轮，移动板设于滑块上，齿轮与齿条相啮合；尾管夹持机构包括伺服电缸、升降板、连接杆和夹具。炉管支撑机构用于支撑炉管，滚轮的设置使得炉管可转动，尾管夹持机构可稳定夹持尾管并带动尾管上下运动，移动机构可带动尾管左右运动，从而使尾管运动至炉管尾部精确位置，以便于焊接操作；此设备能够实现稳定有效的夹持作用及精确定位功能，能够提高工作效率，提升产品质量，且适配不同尺寸的炉管。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件生产设备领域，尤其涉及一种石英炉管焊接用夹持设备。

技术介绍

1、扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，其常用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。石英炉管是扩散炉中的反应管道，主要作用是隔离工艺气体和半导体材料之间的接触，保证扩散过程的稳定性和可靠性。

2、在石英炉管的生产制造中，需要在石英炉管的尾部焊接尾管，目前多采用人工定位焊接方式，需要操作人员手持尾管放置到石英炉管的尾部并进行焊接，定位精度低，焊接效率低，批量产品的一致性差，需要进行改进。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石英炉管焊接用夹持设备，提高石英炉管与尾管定位精度，提升工作效率和产品质量。

2、为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：

3、一种石英炉管焊接用夹持设备，包括炉管支撑机构、龙门架机构、移动机构和尾管夹持机构。

4、所述炉管支撑机构包括支撑架和滚轮，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：包括炉管支撑机构、龙门架机构、移动机构和尾管夹持机构；

2.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述移动机构还包括光电传感器和感应片，所述光电传感器设于所述齿条的两端，所述感应片设于所述移动板的底部两侧。

3.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述尾管夹持机构还包括直线轴承和导向轴，所述直线轴承设于所述移动板上，所述导向轴的下端与所述升降板连接，所述导向轴的上端穿过所述直线轴承。

4.如权利要求3所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述直线轴承有两个，两个直线轴承分...

【技术特征摘要】

1.一种石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：包括炉管支撑机构、龙门架机构、移动机构和尾管夹持机构；

2.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述移动机构还包括光电传感器和感应片，所述光电传感器设于所述齿条的两端，所述感应片设于所述移动板的底部两侧。

3.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述尾管夹持机构还包括直线轴承和导向轴，所述直线轴承设于所述移动板上，所述导向轴的下端与所述升降板连接，所述导向轴的上端穿过所述直线轴承。

4.如权利要求3所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述直线轴承有两个，两个直线轴承分别位于所述伺服电缸的两侧，每个直线轴承内对应穿设有一根导向轴。

5.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述移动机构还包括减速机，所述减速机设于所述驱动电机与所述齿轮之间。

6.如权利要求1所述的石英炉管焊接用夹持设备，其特征在于：所述滑轨有两条，两条滑轨平行设置，两条滑轨上均设有所述滑块，所述移动板与两个滑块固定连接，所述齿条设于两条滑轨之...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛佳鑫，
申请(专利权)人：江苏沃宏装备有限公司，
类型：新型
国别省市：