一种光学镀膜机的膜层调节装置制造方法及图纸

本技术涉及光学镀膜机技术领域，提供一种光学镀膜机的膜层调节装置，包括：机壳、伞罩、蒸镀源、修正板、摆角驱动组件和升降驱动组件；机壳的开设有空腔，伞罩旋转设置在空腔的顶部，蒸镀源与空腔的底部固定连接，修正板与空腔的侧壁通过摆角驱动组件连接，修正板能在伞罩与蒸镀源之间上下摆动；摆角驱动组件包括支撑座、支撑摆臂、调节块、转轴、转角传感器和第一伺服电机；升降驱动组件包括升降杆、滚珠丝杆、螺母、位移传感器和第二伺服电机。本技术的优点在于：摆角驱动组件能实时地调节修正板的摆角，实时改变伞罩内外圈的镀膜膜层厚度；升降驱动组件改变蒸镀距离，有助于得到不同厚度的膜层。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学镀膜机，具体地涉及一种光学镀膜机的膜层调节装置。

技术介绍

1、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程，目的是改变光学零件材料表面的反射和透射特性。其原理主要是通过蒸镀源将光学薄膜材料气化成分子结构后的气体喷射在伞罩，伞罩为光学零件的放置提供支撑平台，伞罩旋转以使得薄膜材料气体在光学零件固化生成光学薄膜。由于蒸镀源正上方的薄膜材料气体浓度较高，薄膜材料气体直接喷射到伞罩，这导致蒸镀源正对伞罩位置的镀膜膜层较厚，旁边的镀膜膜层较薄，目前常用的解决方法就是在伞罩与蒸镀源之间设置一修正板，通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，防止薄膜材料气体直接喷射到伞罩，以减少蒸镀源正上方的膜层的厚度，从而修正在伞罩的不同圈位置膜层厚度的差异。

2、目前在镀膜时，修正板的位置固定，修正板的两端分别位于伞罩的中心以及边缘的正方，蒸镀源的喷射口正对着修正板，镀膜的膜层厚度均匀。但是这难以适用在镀膜过程中实时改变伞罩内外圈的镀膜膜层厚度的需求，比如在光学玻璃表面镀上渐变厚度的膜层，光学玻璃表面一端到另一端的膜层逐渐变薄，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学镀膜机的膜层调节装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜机的膜层调节装置，其特征在于，所述支撑摆臂呈弯折形状，当所述支撑摆臂向下摆动至最低位时，所述凹槽能容纳所述支撑摆臂。

3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜机的膜层调节装置，其特征在于，还包括：控制器，所述转角传感器、第一伺服电机都与所述控制器电连接，所述转角传感器将检测的转角信号反馈给所述控制器，所述控制器控制所述第一伺服电机的运行状态；

4.根据权利要求3所述的一种光学镀膜机的膜层调节装置，其特征在于，所述控制器是PLC控制器或者MCU或者工控机。

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【技术特征摘要】

1.一种光学镀膜机的膜层调节装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜机的膜层调节装置，其特征在于，所述支撑摆臂呈弯折形状，当所述支撑摆臂向下摆动至最低位时，所述凹槽能容纳所述支撑摆臂。

3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜机的膜层调节装置，其特征在于，还包括：控制器，所述转角传感器、第一伺服电机都与所述控制器电连接，所述转角传感器将检测的转角信号反馈给所述控制器，所述控制器控制所述第一伺...

【专利技术属性】
技术研发人员：章海斌，郑斌，王大力，唐小刚，
申请(专利权)人：福州安光光电有限公司，
类型：新型
国别省市：