【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及研磨、抛光精密超精密加工，特别是一种可测力自驱动的浮动抛光头。
技术介绍
1、密封环是一种用于机械密封的零部件，按密封件和接触位置可分为圆周密封和端面密封；在端面密封中，为了满足更好密封效果和更高使用寿命的设计要求，需要保证密封环端面平面度小于1μm和表面粗糙度ra小于20nm。为了提高密封环端面耐磨性，进而提高使用寿命，需对密封环端面进行气相化学沉积一层金刚石薄膜，由于金刚石是目前已知最硬的材料，使得密封环在抛光过程中，金刚石薄膜去除效率和面形精度难以兼顾。
2、中国专利技术专利202110614400.1公开了一种适用于硅片单面抛光的柔性研磨头，包括主动盘，主动盘的中央开设有与旋转主轴相连的安装孔；还包括过渡盘，过渡盘的中央通过轴承与旋转主轴相连，过渡盘与主动盘传动连接，且过渡盘与主动盘之间安装有周向排布的弹簧；还包括研磨盘，研磨盘的外边缘通过柔性带与过渡盘的外边缘相连，研磨盘的中央通过关节轴承与旋转主轴相连x轴往复运动，获得更好加工效果。工厂中采用单面环抛机加工密封环端面，通过研磨盘旋转摩擦带动密封环自旋
【技术保护点】
1.一种可测力自驱动的浮动抛光头，其特征在于：包括机架(11)、驱动电机(8)、小齿轮(7)、外齿回转轴承(12)、拨销(5)、限位销(13)、关节球轴承座(6)、传动盘(4)、圆环(3)、硅胶垫片(2)、测力传感器(10)和加载轴(14)。所述驱动电机(8)固定在机架(11)上，通过小齿轮(7)驱动外齿回转轴承(12)的外齿圈旋转；所述外齿回转轴承(12)的内圈与机架(11)固定；所述拨销(5)的上端通过螺纹与外齿圈连接，通过螺母固定，拨销(5)的下端插入传动盘(4)的销孔，所述外齿圈通过拨销(5)拨动传动盘(4)旋转；所述传动盘(4)与关节球轴承座(6)通过螺钉连...
【技术特征摘要】
1.一种可测力自驱动的浮动抛光头，其特征在于：包括机架(11)、驱动电机(8)、小齿轮(7)、外齿回转轴承(12)、拨销(5)、限位销(13)、关节球轴承座(6)、传动盘(4)、圆环(3)、硅胶垫片(2)、测力传感器(10)和加载轴(14)。所述驱动电机(8)固定在机架(11)上，通过小齿轮(7)驱动外齿回转轴承(12)的外齿圈旋转；所述外齿回转轴承(12)的内圈与机架(11)固定；所述拨销(5)的上端通过螺纹与外齿圈连接，通过螺母固定，拨销(5)的下端插入传动盘(4)的销孔，所述外齿圈通过拨销(5)拨动传动盘(4)旋转；所述传动盘(4)与关节球轴承座(6)通过螺钉连接；所述限位销(13)的上端采用螺纹与外齿圈连接，通过螺母固定，限位销(13)底部与传动盘(4)端面保持一定间隙，用来控制抛光头浮动范围；所述圆环(3)固定在传动盘(4)的下端面，将密封环(1)与圆环(3)中间添加硅胶垫片(2)后，将密封环(1)装夹在圆环(3)上。所述测力传感器(10)固定在机架(11)上，测力传感器(10)通过螺纹与加载轴(14)上段连接；所述加载轴(14)顶部采用锁紧螺母a(9)锁紧、下端使用锁紧螺母b(15)拉紧关节球轴承座(6)。
2.根据权利要求1所述一种可测力自驱动的浮动抛光头，其特征在于：所述小齿轮(7)与外齿回转轴承(12)的外齿圈的减速比为1:4。
3.根据权利要求1所述一种可测力自驱动的浮动抛光头，其特征在于：所述机架(11)的下方安装挡...
【专利技术属性】
技术研发人员：康仁科，朱祥龙，董志刚，陈嘉庚，宋陶，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：
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