一种彩色紫外复合传感器结构、成像探测装置及方法制造方法及图纸

技术编号:41455663 阅读:18 留言:0更新日期:2024-05-28 20:42
本发明专利技术公开了一种彩色紫外复合传感器结构、成像探测装置及方法,所述彩色紫外复合传感器包括图像传感器、彩色滤光层,所述彩色滤光层融合有高透光变频薄膜,所述高透光变频薄膜用于吸收紫外光并转换为彩色滤光层能透过的蓝光或绿光,通过蓝色或绿色像元进行紫外成像,所述高透光变频薄膜为量子点薄膜,厚度可低于1μm,对波长530nm以上的红绿光高透明。不但能够使器件探测紫外辐射,还能保留探测器的彩色成像能力,通过单一探测器通道,可以实现紫外与彩色的复合成像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电探测器,本专利技术涉及一种彩色紫外复合传感器结构、成像探测装置及方法


技术介绍

1、紫外和彩色图像是利用紫外光和可见光的成像结果,由于彩色图像的滤光层阻止了紫外波段的透过,所以硅基彩色图像传感器(例如彩色ccd、彩色cmos)不具备紫外成像探测的能力。实现探测器紫外成像需要无彩色滤光层的黑白传感器结构,且对探测器表面做特殊浅结和镀膜工艺处理,成本高昂。相比于黑白图像,彩色图像具有丰富的色彩细节信息,成为可见光成像探测的主流应用。因此,在需要多波段成像探测的应用领域,比如光电转塔、电晕检测设备等,往往有多个探测器通道组合实现,这使得设备体积大、成本高。目前尚未有将彩色可见光和紫外光复合在单一探测器的成像实现方法。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种彩色紫外复合传感器结构、成像探测装置及方法,以克服现有相关技术不能快速实现单一探测通道的紫外和彩色成像探测的技术问题。通过滤光片切换装置,不但能够使用传感器进行彩色成像,还能探测紫外辐射,仅通过单一探测器通道,可以实现紫外与彩色的复合成本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种彩色紫外复合传感器结构,包括图像传感器和彩色滤光层,其特征在于,所述彩色滤光层融合有高透光变频薄膜,所述高透光变频薄膜用于吸收紫外光并转换为彩色滤光层能透过的蓝光或绿光,通过蓝色或绿色像元进行紫外成像,所述高透光变频薄膜为量子点薄膜,对波长530nm以上的红绿光高透明。

2.根据权利要求1所述的彩色紫外复合传感器结构,其特征在于,所述高透光变频薄膜设置在彩色滤光层上层。

3.根据权利要求1所述的彩色紫外复合传感器结构,其特征在于,所述高透光变频薄膜与彩色滤光层像元级排列,组成多层滤光层阵列。

4.根据权利要求1所述的彩色紫外复合传感器结构,其特...

【技术特征摘要】

1.一种彩色紫外复合传感器结构,包括图像传感器和彩色滤光层,其特征在于,所述彩色滤光层融合有高透光变频薄膜,所述高透光变频薄膜用于吸收紫外光并转换为彩色滤光层能透过的蓝光或绿光,通过蓝色或绿色像元进行紫外成像,所述高透光变频薄膜为量子点薄膜,对波长530nm以上的红绿光高透明。

2.根据权利要求1所述的彩色紫外复合传感器结构,其特征在于,所述高透光变频薄膜设置在彩色滤光层上层。

3.根据权利要求1所述的彩色紫外复合传感器结构,其特征在于,所述高透光变频薄膜与彩色滤光层像元级排列,组成多层滤光层阵列。

4.根据权利要求1所述的彩色紫外复合传感器结构,其特征在于,在与高透光变频薄膜发光峰匹配的彩色像元上微喷或光刻覆盖高透光变频薄膜。

5.根据权利要求1-4任一项所述的彩色紫外复合传感器结构,其特征在于,所述高透光变频薄膜以透紫外和彩色的透明材料为基质材料,使用小尺寸量子点作为光变频材料。

6.一种彩色紫外复合成像探测装置,其特征在于,包括权利要求1-4任一项所述的彩色紫外复合传感器结构、光学镜头、滤光片模组和图像色彩校准部,所述光学镜头为可透过紫外光的镜头;所述滤...

【专利技术属性】
技术研发人员:张猛蛟彭硕蒲云杰吴佳豪钱枫
申请(专利权)人:常熟理工学院
类型:发明
国别省市:

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