感光性膜的制造方法、感光性膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印制电路板技术

本发明专利技术的感光性膜的制造方法的特征在于包括以下工序：制备含有感光性树脂组合物的涂布液的涂布液制备工序，上述感光性树脂组合物含有ｉ）导入有感光性基团和用于赋予碱显影性的酸基的化合物、ｉｉ）聚合性化合物、ｉｉｉ）光聚合引发剂；对上述涂布液实施消泡处理的消泡工序；在上述消泡工序后，将上述涂布液涂布于支撑体的涂布工序；使上述涂布液干燥，在上述支撑体上形成感光层的干燥工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及高感度、高分辨率，感度的经时稳定性、膜固化性及耐热冲击 性良好，能够高效地形成高精细的永久图案的感光性树脂组合物、感光性 膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印制电路板。
技术介绍
随着电器的小型化、多功能化，目前印制配线板进一步向高密度化的 方向发展。例如，导体电路的细线化、高多层化、盲孔、巴立得孔(八'J 一卜*一>)等含有内部导通孔的透孔的小径化、利用小型芯片部件的表面安装所进行的高密度安装等。以往的印制配线板用阻焊剂例如可以举出在环氧树脂、环氧基蜜胺树 脂等耐热性热固化性树脂中调合有胺、咪唑、酸酐等热固化催化剂和丁基溶纤剂、丁基卡必醇等有机溶剂的热固化型阻焊剂；在丙烯酸酯、甲基丙 烯酸酯等聚合性单体上配合环氧基丙烯酸酯、尿烷丙烯酸酯等交联性聚合 物以及苯偶姻乙基醚、二苯甲酮等光增感剂而成的紫外线固化型阻焊剂； 组合有上述热固化型阻焊剂和紫外线固化型阻焊剂所含各成分的双固化 (dual cure)型阻焊剂等。阻焊剂的形成方法例如可以举出在形成有上述阻焊剂的镀铜层叠板 等的基体上形成由感光性树脂组合物构成的感光层，对上述感光层进行曝 光，该曝光后将上述感光层显影，制成具有规定图案的阻焊剂的方法。作为在基体上形成感光层的方法，例如可以举出利用丝网涂布机、浸 涂机、棒涂机等将液状类型的感光性树脂组合物涂布形成于基体上的方 法。或者，利用由聚酯膜或聚乙烯构成的保护膜将感光性树脂组合物夹在 中间从而制成3层结构的干膜，利用轧辊层叠机或真空层叠机等将其层叠 于基体上制成感光层的方法等。近年来，由于高密度化有所发展、配线密度增高，因此要求搭载部件 时阻焊剂表面的平坦化。干膜型阻焊剂由于可以用真空层叠机等加压成 型、且溶剂挥发所导致的体积收缩小，因此与液状类型的阻焊剂相比，对 平坦化更为有利，因此收到关注。但是，为干膜型阻焊剂时，当膜制造工 序中发生针孔或凹陷等面状缺陷时，难以通过在基体上的层叠后的工序将 该缺陷修复。在固化膜(阻焊剂)上残留有针孔或凹陷等面状缺陷的状态 下，由于印制配线板的绝缘可靠性降低，因此如何制造面状缺陷少的干膜 成为课题。这里，在日本特公平7-21626号公报中提出了为了形成均一膜厚的感光层，使抗蚀剂组合物中含有表面活性剂的技术方案。但是，日本特公平7-21626号公报所记载的抗蚀剂组合物是为了作为 液状类型涂布于基体上，而非作为干膜进行利用。另外，当在抗蚀剂组合 物中含有表面活性剂时，具有感光层与基体的密合性变差的问题。
技术实现思路
本专利技术的课题在于解决上述以往的各问题，达成以下目的。S卩，本发 明的目的在于提供涂布于基体时的膜厚均一、难易发生针孔或凹陷等面状 缺陷、且与印制配线形成用基板等基体的密合性优异、可高效地形成高精 细永久图案的感光性膜、感光性膜的制造方法、感光性层叠体、永久图案 形成方法及印制电路板。.作为用于解决上述课题的方法如下所述。艮P，<1>一种感光性膜的制造方法，其特征在于，包括以下工序制备含 有感光性树脂组合物的涂布液的涂布液制备工序，该感光性树脂组合物中 含有i)导入有感光性基团和用于赋予碱显影性的酸基的化合物、ii)聚 合性化合物、iii)光聚合引发剂；对上述涂布液实施消泡处理的消泡工 序；在上述消泡工序后，将上述涂布液涂布于支撑体的涂布工序；使上述 涂布液干燥，在上述支撑体上形成感光层的干燥工序。<2>如上述<1〉所述的感光性膜的制造方法，其中，消泡处理为超声波 消泡。<3〉如上述〈1〉 <2>中任一项所述的感光性膜的制造方法，其中，感光性树脂组合物还含有iv)热交联剂。〈4〉如上述〈1> <3>中任一项所述的感光性膜的制造方法，其中，感 光性树脂组合物还含有V)填充物。〈5〉如上述〈1> <4>中任一项所述的感光性膜的制造方法，其特征在 于，涂布液的粘度为5mPa s 100mPa' s。〈6〉如上述〈5〉所述的感光性膜的制造方法，其特征在于，涂布液的粘 度为lOmPa. s 50mPa' s。〈7〉一种感光性膜，其为利用上述〈1〉 〈6〉中任一项所述的制造方法 制作的感光性膜，其特征在于，其为长条状，被巻绕成辊状而成。〈8〉一种感光性层叠体，其为具备基体和设置于上述基体上的感光层 的感光性层叠体，其特征在于，上述感光层是由利用上述〈1〉 〈6〉中任一 项所述的制造方法制得的感光性膜转印而成得感光层。〈9〉一种永久图案形成方法，其特征在于，至少包括对上述〈8〉所述的感光性层叠体中的感光层进行曝光的曝光工序。〈10〉一种印制电路板，其特征在于，具备通过上述〈9〉所述的永久图案形成方法形成的永久图案。通过本专利技术，可以解决上述以往的各问题，达到上述目的，能够提供 涂布于基体时的膜厚均一、难以产生针孔或凹陷等面状缺陷、且与印制配 线形成用基板等基体的密合性优异、可高效地形成高精细的永久图案的感 光性膜、感光性膜的制造方法、感光性层叠体、永久图案形成方法及印制 电路板。具体实施例方式(感光性膜的制造方法)本专利技术的感光性膜的制造方法至少包括涂布液制备工序、消泡工序、 涂布工序、干燥工序，进而还含有根据需要适当选择的其他工序。〈涂布液制备工序〉上述涂布液制备工序为制备后述的含有感光性树脂组合物的涂布液 的工序。作为制备上述涂布液的方法并无特别限定，可以根据目的适当选择，例如可以举出将上述感光性树脂组合物溶解于水或有机溶剂等溶剂中，使 其乳化或分散的方法。另外，还可添加公知的表面活性剂。上述溶剂并无特别限定，可以根据目的适当选择。可以举出甲乙酮、环己酮等酮类；甲苯、二甲苯、四甲基苯等芳香族 烃类；甲基溶纤剂、丁基溶纤剂、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇单甲 基醚、双丙甘醇单乙基醚、三甘醇单乙基醚等二醇醚类；醋酸乙酯、醋酸 丁酯及上述二醇醚类的醋酸酯化物等酯类；乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇 等醇类；石油醚、石油脑、加氢石油脑、溶剂油等石油系溶剂，，但并非限 定于此。上述涂布液的粘度并无特别限定，可根据目的适当选择。例如优选为 5mPa s 100mPa s、 10mPa s 50mPa s。-感光性树脂组合物-上述感光性树脂组合物至少含有i)导入有感光性基团和用于赋予碱 显影性的酸基的化合物(粘合剂)、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引发 剂，进而根据需要含有iv)热交联剂、v)填充物等其他成分而成。一粘合剂一上述粘合剂只要是导入有感光性基团和用于赋予碱显影性的酸基的 化合物则无特别限定，可根据目的适当选择，例如可以举出使具有2个以 上环氧基的环氧树脂和不饱和(甲基)丙烯酸反应后进而使之与多元酸酐 反应所得的聚合物；将(甲基)丙烯酸縮水甘油酯附加于由(甲基)丙烯 酸酯和含有不饱和基团且具有至少1个酸基化合物所获得的共聚物的一部 分酸基后的改性共聚物；通过含羧基的(甲基)丙烯酸系共聚树脂和脂环 式含环氧基的不饱和化合物的反应所得的聚合物等。其中，由于将感光性树脂组合物干膜化、制成感光层时，皱褶性低， 因此优选将(甲基)丙烯酸縮水甘油酯附加于由(甲基)丙烯酸酯和含有 不饱和基团且具有至少1个酸基化合物所获得的共聚物的一部分酸基后的 改性共聚物。上述粘合剂在上述感光性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性膜的制造方法，其特征在于，包括以下工序：　制备含有感光性树脂组合物的涂布液的涂布液制备工序，所述感光性树脂组合物含有ｉ）导入有感光性基团和用于赋予碱显影性的酸基的化合物、ｉｉ）聚合性化合物、ｉｉｉ）光聚合引发剂；　对所 述涂布液实施消泡处理的消泡工序；　在所述消泡工序后，将所述涂布液涂布于支撑体的涂布工序；　使所述涂布液干燥，在所述支撑体上形成感光层的干燥工序。

【技术特征摘要】
JP 2008-9-25 2008-2461081.一种感光性膜的制造方法，其特征在于，包括以下工序制备含有感光性树脂组合物的涂布液的涂布液制备工序，所述感光性树脂组合物含有i)导入有感光性基团和用于赋予碱显影性的酸基的化合物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引发剂；对所述涂布液实施消泡处理的消泡工序；在所述消泡工序后，将所述涂布液涂布于支撑体的涂布工序；使所述涂布液干燥，在所述支撑体上形成感光层的干燥工序。2. 根据权利要求1所述的感光性膜的制造方法，其中，消泡处理为 超声波消泡。3. 根据权利要求1所述的感光性膜的制造方法，其中，感光性树脂 组合物还含有iv)热交联剂。4. 根据权利要求1所述的感光性膜的制造方法，其中，感光性树脂 组合物还含有v)填充物。5. 根据权利要求1所述的感光性膜的制造方法，其特征在于，涂布 液的粘度为5mPa' s 100mPa' s。6. 根据权利要求5所述的感光性膜的制造方法，其特征在于，涂布 液的粘度为10mPa' s 50mPa' s。7. —种感光性膜，其为利用包括以下工序的感光性膜制造方法制得 的感光性膜-制备含有感光性树脂组合物的涂布液的涂布液制备工序，所述感光性 树脂组合物含有i)导入有感光性基团和用于赋予碱显影性的酸基的化合 物、ii)聚合性化合物、iii)光聚合引发剂；对所述涂布液实施消泡处 理的消泡工序；在所述消泡工序后，将所述涂布液涂布于支撑体的涂布工 序；使所述涂布液干燥，在所述支撑体上形成感光层的干燥工序，感光性膜为长条状，被巻绕成辊状。8. —种感光性层叠体，其为具备基体和设于所述基体上的感光层的 感光性层叠体，其特征在于，所述感光层是由利用包括以下工序的感光性膜制造方法制得的感光性膜转印而得...

【专利技术属性】
技术研发人员：林利明，中泽隆浩，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]