【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，属于真空封装。
技术介绍
1、薄膜真空计是一种用于测量真空度的仪器，它的原理是利用气体分子在真空中的运动规律来测量真空度，其压力包的外部具有用于抽真空的排气尾管、用于外接检测对象的外接管以及连接仪表的两根正负极电线接头。
2、根据测量原理，薄膜真空计可以分为多个种类，其对真空度的测量范围在1.33x105—1.33x10-2pa之间。
3、薄膜真空计的应用范围非常广泛，可以应用于航空航天、电子、化工、医疗等多个领域。例如，在电子领域，薄膜真空计可以用于测试真空管、半导体器件的真空度，以确保它们的正常使用和使用寿命。
4、薄膜真空计压力包是整个薄膜真空计的主要组成部分，如何对压力包更标准、更简省、更高效的抽真空并进行封装一直是本领域探讨的问题。传统的解决方式有两种：
5、一是将样品放在高温高真空的环境中，采用高温共晶焊接、钎焊或是玻璃烧结等方法密封。但真空焊接空洞率较大，影响封接区的密封性，进而可能会影响参考腔室内真空度的保持。<...
【技术保护点】
1.一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，包括真空炉、剪尾装置、供料装置和控制系统，真空炉包括具有炉腔（11）的上端开口的炉体（1）和能够盖住上端开口的炉盖（13），炉体（1）侧壁设有排气孔（12），其特征在于：所述剪尾装置包括夹钳机构（2），所述夹钳机构（2）包括夹钳（21）和夹钳驱动件，所述供料装置包括具有多个工件放置位的工件盘（5）和工件盘驱动机构（6），在炉体（1）的底部设有上下相通的用于安装剪尾装置和供料装置的安装孔，所述工件盘（5）水平设置在炉腔（11）内，所述夹钳（21）设置在炉腔（11）内的工件盘（5）的下方，所述夹钳机构（2）的夹钳驱动...
【技术特征摘要】
1.一种在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，包括真空炉、剪尾装置、供料装置和控制系统，真空炉包括具有炉腔（11）的上端开口的炉体（1）和能够盖住上端开口的炉盖（13），炉体（1）侧壁设有排气孔（12），其特征在于：所述剪尾装置包括夹钳机构（2），所述夹钳机构（2）包括夹钳（21）和夹钳驱动件，所述供料装置包括具有多个工件放置位的工件盘（5）和工件盘驱动机构（6），在炉体（1）的底部设有上下相通的用于安装剪尾装置和供料装置的安装孔，所述工件盘（5）水平设置在炉腔（11）内，所述夹钳（21）设置在炉腔（11）内的工件盘（5）的下方，所述夹钳机构（2）的夹钳驱动件和供料装置的工件盘驱动机构（6）通过对应设置在炉体（1）底部的安装孔设在炉腔（11）外；所述设备还包括设在炉腔（11）内的加热部件。
2.根据权利要求1所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述夹钳机构（2）还包括复位簧（27），所述顶杆（26）上段外周和下段外周分别设有上卡簧（262）和下卡簧（263），所述复位簧（27）套在顶杆（26）外周，下端压住下卡簧（263），上端顶住顶杆导向套（25）的下端，所述上卡簧（262）压住顶杆导向套（25）的上端。
5.根据权利要求2至4任意一项所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述剪尾装置还包括具有盲洞（31）且盲洞可伸缩的金属波纹管（3），所述金属波纹管（3）上端具有波纹管安装法兰（32），底端具有与金属波纹管（3）密封的盲法兰板（33），所述顶杆（26）下段位于金属波纹管（3）内，其底端面与盲法兰板（33）接触。
6.根据权利要求5所述的在同一炉腔对薄膜真空计压力包实施排气封装的设备，其特征在于：所述剪尾装置还包括设在金属波纹管（3）下方的顶升机构，所述顶升机构具有顶升杆（41），所述顶升杆（41）与金属波纹管（3）内的顶杆（26）在同一轴线上，顶升杆（41）顶端能够通过金属波纹管（3）底板向顶杆（26）的底端施加向上的作用力。
7.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭立发，乔素敏，乔飞，李江涛，夏金保，黄海琴，张可，谭筠乔，
申请(专利权)人：湖南中科专用仪器制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。