【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及工业瑕疵检测，尤其是涉及一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法和装置。
技术介绍
1、圆柱、圆锥形器件在工业场景中十分常见，如轴承、换向器、管材、晶锭等等，这些工件表面的划痕、开裂、点蚀等会对其工作性能产生影响，甚至直接造成器件的失效。瑕疵检测系统可以快速完成质量评估，提高良品率并针对性地改进工艺，提高生产效率。通常瑕疵的大小为百微米级，而细小的划痕可能宽度只有20um左右，因此检测系统需要具有足够高的空间分辨力，并且具有足够的采样速度，以满足工业现场的快速检测。
2、传统基于形貌的瑕疵检测技术最常用的是线激光测量仪，测量仪将线性激光投射到高低起伏被测物体上，物体形貌的调制使得线激光发生对应的弯曲，探测相机获取曲线后通过几何关系的解算就可以得到这一条线性激光所对应的物体上的各点的高度值。进一步地，沿着线性激光的垂直方向扫描物体，所采集的数据进行处理后，就可以得到物体的三维信息。但是该方法对细而浅的瑕疵识别能力不强，且对金属、晶圆等高反射率表面测量效果不佳，另外还存在成本高、安装精度要求高等问题，因而在回转体瑕疵检...
【技术保护点】
1.一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，所述线阵追焦模组获取线阵成像模组与回转体之间的相对位姿信息的过程具体包括：
3.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，所述调整线阵成像模组和线阵追焦模组的空间位姿的过程具体为：
4.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，所述深度信息的获取过程具体为：
5.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特...
【技术特征摘要】
1.一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，所述线阵追焦模组获取线阵成像模组与回转体之间的相对位姿信息的过程具体包括：
3.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，所述调整线阵成像模组和线阵追焦模组的空间位姿的过程具体为：
4.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，所述深度信息的获取过程具体为：
5.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，沿轴向移动物镜位置，通过物镜位置的改变来调整线阵成像模组和线阵追焦模组与回转体的对焦情况，使得线阵成像模组位于最清晰成像位置。
6.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，将相对位姿信息、深度信息和纹理信息进行数据融合的过程包括：
7.根据权利要求1所述的一种基于线阵追焦的回转体瑕疵检测方法，其特征在于，所述方法还包括对数据融合后得到的回转体表面的多模态数据进行处理，从而提取表面的瑕疵信息；
8.一种实现如权利要求1-7任一...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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