【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机器视觉,尤其涉及一种新型环形光源及机器视觉检测装置。
技术介绍
1、在半导体制造业中,对生产得到的半导体,比如晶圆进行缺陷检测是质量管控的关键点。
2、机器视觉是人工智能中发展快速的分支,其通过对被测的晶圆进行图像采集,然后根据图像中像素分布和亮度、颜色等特征,对被测的晶圆进行缺陷判断及识别。
3、目前,在晶圆检测的过程中,由于有水雾产生,现有的环形光源无法避免水雾进入到光源内部,从而存在光源容易烧坏的问题。
4、因此,需要对现有技术进行改进。
5、以上信息作为背景信息给出只是为了辅助理解本公开,并没有确定或者承认任意上述内容是否可用作相对于本公开的现有技术。
技术实现思路
1、本技术提供一种新型环形光源及机器视觉检测装置,以解决现有技术中的不足。
2、为实现上述目的,本技术提供以下的技术方案:
3、第一方面,本技术提供一种新型环形光源,包括环形壳体、环形灯板和环形扩散板;其中,
4、所述环形壳
...【技术保护点】
1.一种新型环形光源,其特征在于,包括环形壳体(1)、环形灯板(2)和环形扩散板(3);其中,
2.根据权利要求1所述的新型环形光源,其特征在于,所述环形壳体(1)包括壳体主体(101)和壳体周圈(102);
3.根据权利要求2所述的新型环形光源,其特征在于,还包括第一气管接头(6)和第一吹气管(7);
4.根据权利要求3所述的新型环形光源,其特征在于,还包括连接块(8);
5.根据权利要求4所述的新型环形光源,其特征在于,还包括第二气管接头(9)和第二吹气管(10);
6.根据权利要求5所述的新型环形光源,
...【技术特征摘要】
1.一种新型环形光源,其特征在于,包括环形壳体(1)、环形灯板(2)和环形扩散板(3);其中,
2.根据权利要求1所述的新型环形光源,其特征在于,所述环形壳体(1)包括壳体主体(101)和壳体周圈(102);
3.根据权利要求2所述的新型环形光源,其特征在于,还包括第一气管接头(6)和第一吹气管(7);
4.根据权利要求3所述的新型环形光源,其特征在于,还包括连接块(8);
5.根据权利要求4所述的新型环形光源,其特征在于,还包括第二气管接头(9)和第二吹气管(10);
【专利技术属性】
技术研发人员:张子浩,幸东平,
申请(专利权)人:广东奥普特科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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