【技术实现步骤摘要】
本申请属于光伏电池片制造设备,具体涉及一种炉管机台的辅助套管。
技术介绍
1、在制造光伏电池片的过程中,需要采用等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhanced chemical vapor deposition,pecvd)工序对电池片进行处理,而等离子体增强化学气相沉积工序则需要使用炉管机台,在进行处理时需要对炉管机台的炉管进行高温加热,以使炉管内的气体进行化学反应。
2、由于行业迅速发展,业内通常采用增大炉管的口径和长度,以及在炉管内增设加热器的方式来提高产能,为防止加热器在气体进行化学反应时被损坏,通常会在加热棒的外部套设空心的由石英制成的辅助套管,以保护加热棒;但该辅助套管在高温环境下容易发生变形,如此可能会造成辅助套管损坏。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的是提供一种炉管机台的辅助套管,能够解决目前的辅助套管在高温环境下容易损坏的问题。
2、为了解决上述技术问题,本申请是这样实现的:
3、本申请实施例提供了一种炉管机台的辅助套管,用
...【技术保护点】
1.一种炉管机台的辅助套管,用于罩设加热器,其特征在于,所述辅助套管包括管体(100)和多个支撑件(200),所述管体(100)的至少一端具有供所述加热器穿过的开口(110),各所述支撑件(200)的第一端均与所述管体(100)的内周壁相连接,所述多个支撑件(200)沿所述管体(100)的周向间隔分布,各所述支撑件(200)的第二端均朝所述管体(100)的中心轴线延伸,且各所述支撑件(200)的第二端均可与所述加热器相接触。
2.根据权利要求1所述的辅助套管,其特征在于,所述管体(100)为棱柱管,各所述支撑件(200)的第一端一一对应地与所述棱柱管的各内
...【技术特征摘要】
1.一种炉管机台的辅助套管,用于罩设加热器,其特征在于,所述辅助套管包括管体(100)和多个支撑件(200),所述管体(100)的至少一端具有供所述加热器穿过的开口(110),各所述支撑件(200)的第一端均与所述管体(100)的内周壁相连接,所述多个支撑件(200)沿所述管体(100)的周向间隔分布,各所述支撑件(200)的第二端均朝所述管体(100)的中心轴线延伸,且各所述支撑件(200)的第二端均可与所述加热器相接触。
2.根据权利要求1所述的辅助套管,其特征在于,所述管体(100)为棱柱管,各所述支撑件(200)的第一端一一对应地与所述棱柱管的各内棱边相连接。
3.根据权利要求2所述的辅助套管,其特征在于,所述棱柱管的至少一个内棱边设有第一圆倒角(120);和/或,所述棱柱管的至少一个外棱边设有第二圆倒角(130)。
4.根据权利要求1所述的辅助套管,其特征在于,各所述支撑件(200)朝所述管体(100)的中心轴线延伸的延伸长度均相等。
5.根据权利要求1所述的辅助套管,其特征在于,至少一个所述支撑件(200)为支撑板,所述支撑板自所述管体...
【专利技术属性】
技术研发人员:张科,朱浩,唐剑明,王永亮,马中红,段冰,李瑞瑞,王厚玉,
申请(专利权)人:淮安捷泰新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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