【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体芯片加工，特别涉及一种便于半导体芯片加工的烘干装置。
技术介绍
1、半导体芯片是指在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，半导体芯片在的加工过程中需要对喷涂后的涂层或者清洗后残留的水分进行烘干，因此需要使用到烘干装置，例如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了一种便于半导体芯片加工的烘干装置(公告号cn219433625u)，此类装置通过将芯片放置于放置槽中，而后通过转向机对烘干风机的出风方向调节，方便热风从多角度对半导体芯片进行烘干。
2、但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的半导体芯片烘干装置，还存在一些不足之处：此类采用将半导体芯片放置在放置槽中，而后关闭箱体，利用转向机驱动烘干风机对芯片进行烘干的方式，其单次只能对有限数量的半导体芯片进行烘干工作，需频繁开启箱体，将芯片取出，方可进行连续性的烘干工作，一方面操作较为繁琐，耗时较长，另一方面连续烘干性能较差，烘干效率较为低下。为此，本领域技术人员提供了一种便于半导体芯片加工的烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。>
<本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种便于半导体芯片加工的烘干装置，其特征在于，链板传输机构、烘干机构、烘干工位(7)；
2.根据权利要求1所述的一种便于半导体芯片加工的烘干装置，其特征在于，所述烘干工位(7)包括校位导轨(71)，所述校位导轨(71)的轨道内部转动连接有校位丝杆(73)，且校位丝杆(73)的轴杆端呈对称形式套设有与校位导轨(71)相导向的两组校位滑台(74)，两组所述校位滑台(74)的台架上方呈对称形式设置有两组侧夹座(76)，所述校位导轨(71)的轨道中部设置有中心座(75)。
3.根据权利要求2所述的一种便于半导体芯片加工的烘干装置，其特征在于，所述校...
【技术特征摘要】
1.一种便于半导体芯片加工的烘干装置，其特征在于，链板传输机构、烘干机构、烘干工位(7)；
2.根据权利要求1所述的一种便于半导体芯片加工的烘干装置，其特征在于，所述烘干工位(7)包括校位导轨(71)，所述校位导轨(71)的轨道内部转动连接有校位丝杆(73)，且校位丝杆(73)的轴杆端呈对称形式套设有与校位导轨(71)相导向的两组校位滑台(74)，两组所述校位滑台(74)的台架上方呈对称形式设置有两组侧夹座(76)，所述校位导轨(71)的轨道中部设置有中心座(75)。
3.根据权利要求2所述的一种便于半导体芯片加工的烘干装置，其特征在于，所述校位丝杆(73)的轴杆一端设置有调节旋钮(72)，且校位丝杆(73)以中线为界，中线的两侧设置有相互对称排列的正、反丝牙，所述校位丝杆(73)通过正、反丝牙与两组校位滑台(74...
【专利技术属性】
技术研发人员：李雪峰，周一，彭杰，
申请(专利权)人：青岛立昂晶电半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。