本发明专利技术提供一种割断用划线的形成方法和装置。即使是能量吸收效率低的比较透明的衬底，也能够形成切断该衬底所需的充分深度的划线，而不会对嵌入其中的器件电路带来热损伤。所述方法包括：第１步骤，通过将所述衬底与对激光振荡器进行Ｑ开关驱动而得到的脉冲状激光束相对地移动，从而仅对将所述衬底上的割断预定线上的衬底边缘设为一端的规定微小区间内照射所述脉冲状激光束；以及第２步骤，通过将所述衬底与对激光振荡器连续地驱动而得到的ＣＷ激光束相对地移动，从而在从在所述衬底上设定的割断预定线上的一个衬底边缘到另一个衬底边缘的全部区间照射所述ＣＷ激光束。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及对嵌入了器件(device)电路的透明衬底(基板)照射从激光振荡器生成的规定波长的激光束，同时将衬底与束相对地移动，从而在衬底上形成衬底割断用的划线(scribe )的方法和装置。
技术介绍
以往，为了将纵横嵌入了多个器件电路的衬底(wafer:晶片)分割成各个电路片(chip)，采用了如下方法在沿着衬底上的分割预定线而预先形成了划线之后，使用扩展器(expander)等的割断装置，沿着划线割断衬底。此时，若在划线的形成上采用使用了刀具等的机械加工方法，则由于产生粒子(particle)从而对后续步骤带来障碍，所以以往采用了如下方法照射从激光振荡器生成的规定波长的CW激光束，同时将衬底与束相对地移动，从而在衬底上形成衬底割断用的划线。在使用了这样的CW激光束的割断用划线的形成方法中，没能尽量抑制对于嵌入衬底内部的器件电路的热性影响的同时可靠地形成割断所需的规定深度的划线。在成为对象的衬底为硅片等的不透明的衬底的情况下，由于对于CW激光束的能量吸收效率比较高，所以即使没有那么提高激光束的功率，也能够容易形成割断所需的规定深度的划线。但是，在成为对象的衬底为例如蓝宝石衬底等的透明度高的衬底的情况下，由于对于CW激光束的能量吸收效率低，所以若没有大幅提高激光束的功率，则不能形成割断所需的规定深度的划线。但是，若这样提高激光束的功率，则存在嵌入衬底内部的器件电路受到热性影响而受损的顾虑。另一方面，已知如下技术即使是透明度比较高的衬底，如果使用对激光振荡器进行Q开关驱动所得到的脉冲状激光束，也能够极力抑制对激光束照射点的周围产生的热性影响的同时形成划线(参照专利文献l)。现有纟i术文献专利文献1(日本)特开2004-114075号公报但是，在使用上述的脉冲状激光束的割断用划线的形成方法中，虽然能够将热性影响极小化，但反过来，为了形成充分深的划线，仍需要将激光束的功率大幅提高，若考虑对于器件电路的热性影响，终究还是存在难以确保充分的深度的问题点。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是鉴于这样的以往的问题点而完成的，其目的在于，提供一种即使是透明度比较高的衬底，也能够将对于嵌入其中的器件电路的热性影响抑制到最小，同时可靠地形成割断所需的充分深度的划线的割断用划线的形成方法和装置。此外，本专利技术的其他目的在于，提供一种不会对使用了激光束的以往的划线形成系统带来较大变更，且能够以低成本实现的割断用划线的形成方法和装置。通过参照i兌明书的以下记载，本领域的技术人员应该容易理解本专利技术的其他目的以及作用效果。用于解决课题的手段可认为上述的专利技术要解决的课题能够通过具有以下结构的割断用划线的形成方法来解决。即，该割断用划线的形成方法是对嵌入了器件电路的透明衬底照射从激光振荡器生成的规定波长的激光束，同时将衬底和束相对地移动，从而在衬底上形成衬底割断用的划线的方法，且包括第1步骤和第2步骤。第l步骤是，通过将村底与对激光振荡器进行Q开关驱动而得到的脉冲状激光束相对地移动，从而仅对从在所述衬底上设定的割断预定线上的衬底边缘开始的规定微小区间内照射所述脉冲状激光束。第2步骤是，通过将衬底与对激光振荡器连续地驱动而得到的CW激光束相对地移动，从而对从在所述衬底上设定的割断预定线上的相当于衬底边缘的一端到相当于衬底边缘的另 一端的全部区间照射所述CW激光束。其中，器件电路是指构成嵌入该衬底的器件的电路， 一般由集成电路构成。此外，在液晶显示器上的玻璃衬底等的情况下，包括液晶器件电路的电极的各个电路图案(pattern)相当于此。即，本专利技术并不限定于将嵌入蓝宝石衬底等的透明度比较高的衬底上的多个器件电路分割为各个片的用途，还能够应用于在玻璃衬底上嵌入了便携电话用的多个液晶显示器西案(pattern)之后，将它们分割为各个显示器图案(pattern)的用途。此外，将衬底与束相对地移动是指，包括对束本身进行摆探头扫描的情况、和通过XY台面(stage)使衬底侧移动的情况的双方和它们的组合。根据这样的割断用划线的形成方法，通过执行第1步骤，在从衬底上设定的割断预定线上的衬底边缘开始的规定微小区间，受到具有瞬间性的高峰值能量的脉冲状激光束，从而其表面被瞬间破坏成为粗面，比较浅的一定区域成为容易产生多路反射的能量吸收的变性区域。接着，执行第2步骤，则在上述的变性区域上照射CW激光束，从而衬底高效率地吸收该CW激光束的能量而成为高温化，因此，随着激光束的移动，上述的微小区间进行衬底材料的熔化。接着，从上述的微小区间靠近没有变性的衬底区域，则由于从相邻区域传来的热，与微小区间相邻的没有变性的衬底材料部分也会引起高温化和熔化，之后相邻的区域如打出雪崩似的依次被熔化，从而即使是比较低功率的CW激光束，也能够在割断预定线的全部区间熔化衬底，形成用于构成划线的充分深的槽。生热性影响之外，还能够使用比较低能量的CW激光束，因此，即使成为对象的村底是透明度比较高的村底，也能够将对于嵌入内部的器件电路的热性影响抑制到最小，同时可靠地形成割断所需的规定深度的划线。除此之外，根据该割断用划线的形成方法，虽然使用具有两种照射方式的激光束，但各个方式的激光束仅是驱动方法不同,振荡器其本身的基本结构相同，因此，无需大幅变更以往的系统结构，能够以低成本实现该方法。在上述的割断用划线的形成方法中，如果第1步骤的处理包括沿着在衬底上设定的纵横的割断预定线，使激光束的光轴进行纵穿扫描或者横穿扫描，同时仅对从衬底外区域进入衬底内区域之后的规定樣t小区间内对衬底照射激光束的处理，并且，第2步骤的处理包括沿着在衬底上设定的纵横的割断预定线，使激光束的光轴进行纵穿扫描或者横穿扫描，同时对从村底外照射CW激光束的处理，则能够将在透明度比较高的晶片上纵横嵌入的多个器件电路分割成各个电路片的用途中，将束与XY台面的扫描进行组合，从而能够高效率地形成划线。此外，在上述的电路片分割时，根据本专利技术人等的实验，确认了如下事实若透明衬底是在纵横地划分的各个矩形区域内嵌入了器件电路的蓝宝石衬底时，激光振荡器为YVQ激光振荡器，则完全不会对嵌入内部的器件电路带来热性影响，能够可靠地形成割断所需深度的划线。可认为上述的专利技术要解决的课题能够通过具有以下结构的割断用划线的形成装置来解决。即，该割断用划线的形成装置，包括XY台面，用于载放并固定嵌入了器件电路的透明衬底；激光束产生部件，通过对激光振荡器进行脉沖驱动或者连续驱动，从而能够择一地射出脉冲状激光束和CW激光束中的任一个；对载放并固定在所述XY台面上的衬底进行照射；路径设定部件，通过将所述XY台面与所述光轴相对地移动，从而设定在所述XY台面上使光轴沿着所述衬底上的割断预定线移动时的光轴的移动路径；微小距离设定部件，沿着在所述村底上设定的割断预定线，从相当于衬底边缘的一端向相当于衬底边缘的另一端设定应测量的规定的微小距离；束移动控制部件，控制所述XY台面的移动，使得所述光轴沿着在所述路径设定部件中设定的光轴的移动路径移动；第1束照射控制部件，在通过所述束移动控制部件使所述光轴沿着所述设定路径移动的第1次扫描中，通过在适当的定时从所述激光束产生部件射出脉冲状激光束，从而仅对从在所述衬底上设定的割断预定线上的相当于衬底边缘的 一 端开始的由所述微小本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种割断用划线的形成方法，对嵌入了器件电路的透明的衬底照射从激光振荡器生成的规定波长的激光束，同时将所述衬底和所述束相对地移动，从而在所述衬底上形成衬底割断用的划线的方法，其特征在于，包括： 第１步骤，通过将所述衬底与对所述激光振荡器 进行Ｑ开关驱动而得到的脉冲状激光束相对地移动，从而仅对从在所述衬底上设定的割断预定线上的衬底边缘开始的规定微小区间内照射所述脉冲状激光束；以及 第２步骤，通过将所述衬底与对所述激光振荡器连续地驱动而得到的ＣＷ激光束相对地移动，从而对从 在所述衬底上设定的割断预定线上的一个衬底边缘到另一个衬底边缘的全部区间照射所述ＣＷ激光束。
【技术特征摘要】
JP 2008-9-12 234929/081.一种割断用划线的形成方法，对嵌入了器件电路的透明的衬底照射从激光振荡器生成的规定波长的激光束，同时将所述衬底和所述束相对地移动，从而在所述衬底上形成衬底割断用的划线的方法，其特征在于，包括第1步骤，通过将所述衬底与对所述激光振荡器进行Q开关驱动而得到的脉冲状激光束相对地移动，从而仅对从在所述衬底上设定的割断预定线上的衬底边缘开始的规定微小区间内照射所述脉冲状激光束；以及第2步骤，通过将所述衬底与对所述激光振荡器连续地驱动而得到的CW激光束相对地移动，从而对从在所述衬底上设定的割断预定线上的一个衬底边缘到另一个衬底边缘的全部区间照射所述CW激光束。2. 如权利要求1所述的割断用划线的形成方法，其特征在于，所述第1步骤的处理包括沿着在所述衬底上设定的纵横的割断预定线， 使激光束的光轴进行纵穿扫描或者横穿扫描，同时仅对从衬底外区域进入村 底内区域之后的规定微小区间内对衬底照射脉沖状激光束的处理，并且所述第2步骤的处理包括沿着在所述村底上设定的纵横的割断预定线， 使激光束的光轴进行纵穿扫描或者横穿扫描，同时对从衬底外区域进入村底 内区域之后从衬底内区域退出衬底外区域的全部区间内对衬底照射CW激光 束的处理。3. 如权利要求2所述的割断用划线的形成方法，其特征在于， 所述透明衬底是在通过纵横的割断预定线划分而成的各个矩形区域内嵌入了器件电路的蓝宝石衬底，并且，所述激光振荡器是YVO激光振荡器。4. 一种割断用划线的形成装置，其特征在于，包括 XY台面，用于载放并固定嵌入了器件电路的透明衬底； 激光束产生部件，通过对激光振荡器进行脉沖驱动或者连续驱动，从而能够择一地射出脉沖状激光束和CW激光束中的任一个；束导入光学系统，用于将从所述激光束产生部件产生的激光束以规定的 ...
【专利技术属性】
技术研发人员：松本吉信，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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