【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉真空，具体涉及一种流量检测仪线性区间的测试仪器及方法。
技术介绍
1、在真空
，通常采用流量检测仪测量被检测流量的流量值，主要利用流量检测仪在线性区间内的离子流示值与流量之间的线性关系，获得被测流量，从而实现流量检测。目前常用的流量检测仪检测流量的方法，采用流量检测仪示值直接给出，同时结合气体流量计作为标准进行示值的修正，由于流量检测仪随着使用环境和状态的变化，其测量线性区间出现变化，导致流量检测仪处于非线性区间的检测状态，从而影响检测结果的准确程度。为了确定流量检测仪可靠的工作状态，需要在使用前，确认其检测值是否处于合理的线性区间内。
技术实现思路
1、为了能够有效确认流量检测仪处于线性区间内进行使用，降低流量检测仪线性测量的不确定度，本专利技术提供了一种流量检测仪线性区间的测试仪器及方法。
2、该流量检测仪线性区间的测试仪器，包括气体流量计、第一阀门、流量检测仪、检测腔、第二阀门和抽气系统。
3、其中，检测腔与气体流量计连接；流量检测仪与检测腔连接，抽气系统与检测腔连接。
4、检测腔与气体流量计之间的管路上设置有第一阀门。
5、抽气系统与检测腔之间的管路上设置有第二阀门。
6、抽气系统用于对所述测试仪器进行抽气，其抽气速率不做限定。
7、所有阀门初始状态为关闭状态。
8、优选的，阀门均为全金属超高真空阀。
9、本专利技术一种流量检测仪线性区间的测试仪器的测试方法为：
10、启动抽气系统，打开第二阀门，对检测腔进行抽气，当检测腔达到流量检测仪正常工作的真空度后，启动流量检测仪；抽气系统进行抽气使得检测腔达到本底压力后，通过流量检测仪测量检测腔内离子流本底示值 i o1，打开第一阀门，流量检测仪测量气体流量计提供的标准流量 q 1经第一阀门流至检测腔中，当检测腔中的压力稳定后，流量检测仪测量检测腔内离子流 i 1；关闭第一阀门，抽气系统进行抽气使得检测腔达到本底压力后，流量检测仪测量检测腔内离子流本底示值 i o2，打开第一阀门，流量检测仪测量气体流量计提供的标准流量 q 2经第一阀门流至检测腔中，当检测腔中的压力稳定后，流量检测仪测量测量检测腔内离子流 i 2；根据 q 1 、i 1 、q 2 、i 2 、i o1 、i o2，利用公式，计算流量检测仪偏离线性的偏差 d； d的绝对值满足线性区间条件，确认 q 1和 q 2是否处于流量检测仪的线性区间内。
11、综上所述，因本专利技术通过直接检测流量和离子流示值的关系，能够简单、有效地测试出流量检测仪所测流量是否在其线性区间内，确定流量检测仪的线性区间，避免了各种因素对流量检测仪线性区间的影响，降低了流量检测仪线性测量不确定。采用本专利技术测试装置，气体流量计和流量检测仪相对于检测腔对称安装，可以避免管道不一致导致的测量误差，提高测试精度，测试方法简单、灵活多变。
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1.一种流量检测仪线性区间的测试仪器，其特征是，包括气体流量计、第一阀门、流量检测仪、检测腔、第二阀门和抽气系统，其中：
2.一种流量检测仪线性区间的测试方法，其特征是，采用如权利要求1所述的仪器进行测试，包括采用抽气系统进行抽气使得检测腔内压力达到本底压力后，用流量检测仪测量检测腔内离子流本底示值Io1，通过流量检测仪测量气体流量计提供的标准流量Q1和检测腔内离子流I1；再次使用抽气系统进行抽气使得检测腔内压力达到本底压力后，用流量检测仪测量检测腔内离子流本底示值Io2，通过流量检测仪测量气体流量计提供的标准流量Q2和检测腔内离子流I2；利用公式，计算流量检测仪偏离线性的偏差D，D的绝对值满足线性区间条件，确认Q1和Q2是否处于流量检测仪的线性区间。
【技术特征摘要】
1.一种流量检测仪线性区间的测试仪器，其特征是，包括气体流量计、第一阀门、流量检测仪、检测腔、第二阀门和抽气系统，其中：
2.一种流量检测仪线性区间的测试方法，其特征是，采用如权利要求1所述的仪器进行测试，包括采用抽气系统进行抽气使得检测腔内压力达到本底压力后，用流量检测仪测量检测腔内离子流本底示值io1，通过流量检测仪测...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛学民，吕国皎，赵百川，赖莉萍，杨明中，邓慧，
申请(专利权)人：成都工业学院，
类型：发明
国别省市：
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