一种镀膜靶材机架制造技术

技术编号:41381992 阅读:9 留言:0更新日期:2024-05-20 10:23
本技术涉及一种镀膜靶材机架,包括底座,所述底座的上方均布有三根横梁,所述底座与所述横梁固定连接,所述横梁的底部对称安装有四根侧视面呈“U”形的底梁,所述底梁的两顶端固定安装有托架,所述底梁上部的外壁上固定有端板,所述横梁两侧的上方固定有支架,所述底梁与支架之间固定安装有连接杆,所述连接杆及横梁的外侧安装有吊架。本技术一种镀膜靶材机架,具有结构牢固性强、稳定性强,整体结构不易变形,实现了重复使用,降低成本,能对不同直径的靶材进行固定,提高固定牢固性,满足不同的使用需求,便于堆放的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及靶材包装,具体为一种镀膜靶材机架


技术介绍

1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。

2、目前现有的靶材包装方式是将靶材放置到木箱内,用缓冲泡沫进行支撑、保护,并通过捆扎方式对木箱进行封闭、固定,这样的包装方式不仅操作繁琐,而且木箱的结构牢固性较差,在拆解过程中易开裂、破损,不宜重复使用,造成了资源的浪费,并且不便对不同直径的靶材进行固定,存在一定的安全隐患

3、因此,目前亟需一种可重复使用的镀膜靶材机架。


技术实现思路

1、本技术的目的在于克服上述不足,提供一种可重复使用的镀膜靶材机架。

2、本技术的目的是这样实现的:

3、一种镀膜靶材机架,包括底座,所述底座的上方均布有三根横梁,所述底座与所述横梁固定连接,所述横梁的底部对称安装有四根侧视面呈“u”形的底梁,所述底梁的两顶端固定安装有托架,所述底梁上部的外壁上固定有端板,所述横梁两侧的上方固定有支架,所述底梁与支架之间固定安装有连接杆,所述连接杆及横梁的外侧安装有吊架。

4、优选的,所述支架包括固定安装在底托两端的侧梁,所述侧梁与所述横梁的外壁固定连接,所述底托位于所述横梁的上方,所述底托两侧的顶端固定安装有连接柱,所述侧梁的顶端安装有盖板,所述盖板与所述底托通过转轴旋转连接,所述盖板的中间位置拧接安装有锁紧旋钮,所述锁紧旋钮贯穿盖板与连接柱拧接连接。

5、优选的,所述底托的顶端均布有四个半圆形凹槽,所述半圆形凹槽的内壁上固定安装有丁腈橡胶。

6、优选的,所述盖板的底部对称开设有两个圆弧形凹槽,所述圆弧形凹槽与底托顶端的半圆形凹槽相切,且所述圆弧形凹槽的内壁上固定安装有丁腈橡胶片,所述盖板底部的中间位置开设有容纳连接柱的矩形凹槽。

7、优选的,所述侧梁的顶端贯穿开设有用于容纳转轴的条状凹槽。

8、优选的,所述底座为方管结构,所述底座在所述横梁的底部对称安装有两处,所述底座的上方固定安装有侧梁及底托。

9、优选的,所述吊架包括扣板,所述扣板两侧的顶端固定安装有吊环。

10、优选的,所述扣板的侧视面呈“u”形,所述扣板的上部与所述连接杆卡合,所述扣板的下部与所述横梁卡合。

11、优选的,所述托架为上部主视呈等腰梯形、下部主视呈矩形且顶端开口的箱体结构,且所述托架的内侧壁也设有开口。

12、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

13、1.本技术一种镀膜靶材机架,通过底座、横梁、底梁之间固定连接,并在横梁上设置支架,提高结构牢固性与稳定性,使整体结构不易变形,实现了重复使用,降低成本,而底托对靶材起到支撑作用、盖板对靶材起到压紧、固定的作用,提高固定牢固性与稳定性,并通过设置橡胶片防止打滑,同时防止靶材受损。

14、2.本技术一种镀膜靶材机架,通过侧梁的顶端贯穿开设有用于容纳转轴的条状凹槽,实现了盖板的升降,且盖板通过升降能对不同直径的靶材进行固定,提高固定牢固性,满足不同的使用需求。

15、3.本技术托架为上部主视呈等腰梯形、下部主视呈矩形且顶端开口的箱体结构,且所述托架的内侧壁也设有开口,堆放后托架对上层的底梁起到支撑、限位作用,便于堆放,提高堆放时的牢固性与稳定性。

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【技术保护点】

1.一种镀膜靶材机架,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的上方均布有三根横梁(2),所述底座(1)与所述横梁(2)固定连接,所述横梁(2)的底部对称安装有四根侧视面呈“U”形的底梁(3),所述底梁(3)的两顶端固定安装有托架(4),所述底梁(3)上部的外壁上固定有端板(5),所述横梁(2)两侧的上方固定有支架(6),所述底梁(3)与支架(6)之间固定安装有连接杆(7),所述连接杆(7)及横梁(2)的外侧安装有吊架(8)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述支架(6)包括固定安装在底托(602)两端的侧梁(601),所述侧梁(601)与所述横梁(2)的外壁固定连接,所述底托(602)位于所述横梁(2)的上方,所述底托(602)两侧的顶端固定安装有连接柱(603),所述侧梁(601)的顶端安装有盖板(604),所述盖板(604)与所述底托(602)通过转轴(605)旋转连接,所述盖板(604)的中间位置拧接安装有锁紧旋钮(606),所述锁紧旋钮(606)贯穿盖板(604)与连接柱(603)拧接连接。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述底托(602)的顶端均布有四个半圆形凹槽,所述半圆形凹槽的内壁上固定安装有丁腈橡胶。

4.根据权利要求2或3所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述盖板(604)的底部对称开设有两个圆弧形凹槽,所述圆弧形凹槽与底托(602)顶端的半圆形凹槽相切,且所述圆弧形凹槽的内壁上固定安装有丁腈橡胶片,所述盖板(604)底部的中间位置开设有容纳连接柱(603)的矩形凹槽。

5.根据权利要求2所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述侧梁(601)的顶端贯穿开设有用于容纳转轴(605)的条状凹槽。

6.根据权利要求1或2所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述底座(1)为方管结构,所述底座(1)在所述横梁(2)的底部对称安装有两处,所述底座(1)的上方固定安装有侧梁(601)及底托(602)。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述吊架(8)包括扣板(801),所述扣板(801)两侧的顶端固定安装有吊环(802)。

8.根据权利要求7所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述扣板(801)的侧视面呈“U”形,所述扣板(801)的上部与所述连接杆(7)卡合,所述扣板(801)的下部与所述横梁(2)卡合。

9.根据权利要求1所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述托架(4)为上部主视呈等腰梯形、下部主视呈矩形且顶端开口的箱体结构,且所述托架(4)的内侧壁也设有开口。

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【技术特征摘要】

1.一种镀膜靶材机架,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的上方均布有三根横梁(2),所述底座(1)与所述横梁(2)固定连接,所述横梁(2)的底部对称安装有四根侧视面呈“u”形的底梁(3),所述底梁(3)的两顶端固定安装有托架(4),所述底梁(3)上部的外壁上固定有端板(5),所述横梁(2)两侧的上方固定有支架(6),所述底梁(3)与支架(6)之间固定安装有连接杆(7),所述连接杆(7)及横梁(2)的外侧安装有吊架(8)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述支架(6)包括固定安装在底托(602)两端的侧梁(601),所述侧梁(601)与所述横梁(2)的外壁固定连接,所述底托(602)位于所述横梁(2)的上方,所述底托(602)两侧的顶端固定安装有连接柱(603),所述侧梁(601)的顶端安装有盖板(604),所述盖板(604)与所述底托(602)通过转轴(605)旋转连接,所述盖板(604)的中间位置拧接安装有锁紧旋钮(606),所述锁紧旋钮(606)贯穿盖板(604)与连接柱(603)拧接连接。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜靶材机架,其特征在于:所述底托(602)的顶端均布有四个半圆形凹槽,所述半圆形凹槽的内壁上固定安装有丁腈橡胶。

4.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员:W德博斯谢尔韩刚库
申请(专利权)人:梭莱镀膜工业江阴有限公司
类型:新型
国别省市:

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