基于梯度磁场的电感式压力传感器及其检测方法、制备方法技术

本发明专利技术提供一种基于梯度磁场的电感式压力传感器及其检测方法、制备方法，属于压力传感器技术领域，包括磁膜组、柔性结构体和电感元件，磁膜组包括至少两个不同磁化方向的柔性磁膜；柔性磁膜附着于柔性结构体上；电感元件设置于所述柔性结构体下；在柔性磁膜与电感元件之间存在气隙。本发明专利技术通过设置既有一定的支撑力又可以被磁膜带动形变的柔性结构体，解决了现有的压力传感器通过刚性元件感受压力，不适用于柔性传感器应用场景的问题；通过设置多个磁化方向的多个柔性磁膜组成磁膜组，提高了磁梯度，以及提高了对压力的输出响应，进而达到提高压力传感器的灵敏度的技术效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压力传感器，具体说，涉及一种基于梯度磁场的电感式压力传感器及其检测方法、制备方法

技术介绍

1、随着柔性电子技术的快速发展，柔性传感器作为其中的重要组成部分，得到了广泛的关注和研究。相比于传统的传感器存在体积大、质量重、与不规则表面共形性差、穿戴不舒适等问题，柔性传感器具有可以适应各种曲面形状，且轻薄柔软等特点；因此，在许多领域都有着广泛的应用前景。譬如，在医疗领域，可用于监测患者的生理参数，如心率、呼吸和体温等。

2、压力传感器是柔性传感器的重要组成部分，按照工作原理可分为压阻式、压电式、电容式、电感式等。相较于其他几类的传感器，电感式压力传感器具有响应速度快、耐候性好等优点，是目前研究的热点之一。与电阻式压力传感器相比，电感式压力传感器线性范围更宽；与压电式压力传感器相比，电感式压力传感器的响应速度更快；与电容式压力传感器相比，电感式压力传感器具有更好的耐久性；但是，由于电感式压力传感器的灵敏度相对较低，限制了其应用和发展。

3、现有技术中通过选择合适的磁体材料、设计合适的磁路形状以及优化磁体尺寸等方式来优化电感式本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，包括，

2.根据权利要求1所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，所述磁膜组为四个大小相同的柔性磁膜。

3.根据权利要求1所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，所述柔性结构体为飞碟结构支撑体，所述柔性结构体包括上表面和下表面，所述柔性磁膜设置于所述上表面上，所述电感元件设置于所述下表面上。

4.根据权利要求3所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，在所述下表面上设置有用于安装基座的基座安装孔，所述基座为中空的圆柱体；所述电感元件包括电感线圈以及设置于所述电感线圈中的磁芯...

【技术特征摘要】

1.一种基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，包括，

2.根据权利要求1所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，所述磁膜组为四个大小相同的柔性磁膜。

3.根据权利要求1所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，所述柔性结构体为飞碟结构支撑体，所述柔性结构体包括上表面和下表面，所述柔性磁膜设置于所述上表面上，所述电感元件设置于所述下表面上。

4.根据权利要求3所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，在所述下表面上设置有用于安装基座的基座安装孔，所述基座为中空的圆柱体；所述电感元件包括电感线圈以及设置于所述电感线圈中的磁芯，所述电感线圈容置于所述基座中。

5.根据权利要求3所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，在所述柔性结构体上设置有通孔。

6.根据权利要求4所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，在所述柔性结构体的上表面设置有褶皱，所述褶皱对应设置在所述基座的正上方。

7.根据权利要求3所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，所述柔性结构体的高度为7-10㎜。

8.根据权利要求3所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于，所述柔性结构体的壁厚为500-750μm。

9.根据权利要求3所述的基于梯度磁场的电感式压力传感器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚杰，汪玲，马腾飞，项紫银，王逸韬，巫远招，边宝茹，刘宜伟，李润伟，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：