【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体集成电路制造，特别是涉及一种谐振器。
技术介绍
1、硅基微环谐振器(micro-ring resonator,mrr)由总线波导与环形硅波导组成，特定波长的光波在其中产生谐振增强。mrr具有结构简单、品质因子(q)高、尺寸小、设计自由度大等优点，在调制器、滤波器、传感器、光学开关、非线性光学等领域都有广泛应用，尤其在折射率传感方面极具发展潜力。
2、但常见的微环传感器基于条形波导结构，光场被强烈地限制在波导芯中，倏逝场较弱，不利于光场与外界待测物质的有效作用，传感灵敏度受限。
3、一维光子晶体纳米束(phcnb)利用光子晶体在传播方向上的带隙效应，并通过光束边界处的全内反射将光限制在其他两个方向上。因此具有结构简单、光限制性好的优点。但由于光子晶体传感器对制备工艺误差容忍度较低，限制了它的应用。
4、因此，如何在保证工艺可兼容的条件下使谐振器达到更高的折射率灵敏度成为一个挑战。
5、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便...
【技术保护点】
1.一种谐振器，其特征在于，所述谐振器包括：跑道环形波导和第一直波导；
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述跑道环形波导包括两个平行设置的环形内表面和环形外表面，每个所述空气槽的中心点到所述环形内表面的距离等于所述中心点到所述环形外表面的距离，每个所述空气孔的中心点到所述环形内表面的距离等于所述中心点到所述环形外表面的距离。
3.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器包括多个所述跑道环形波导，每个所述跑道环形波导的中心点在垂直于沿所述跑道环形波导的顶面朝底面方向的同一平面上排布。
4.根据权利要求1所述的谐振...
【技术特征摘要】
1.一种谐振器，其特征在于，所述谐振器包括：跑道环形波导和第一直波导；
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述跑道环形波导包括两个平行设置的环形内表面和环形外表面，每个所述空气槽的中心点到所述环形内表面的距离等于所述中心点到所述环形外表面的距离，每个所述空气孔的中心点到所述环形内表面的距离等于所述中心点到所述环形外表面的距离。
3.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器包括多个所述跑道环形波导，每个所述跑道环形波导的中心点在垂直于沿所述跑道环形波导的顶面朝底面方向的同一平面上排布。
4.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器包括多个所述跑道环形波导，每个所述跑道环形波导的中心点在沿所述跑道环形波导的顶面朝底面方向上排布。
5.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，所述环形内表面与所述环形外表面之间的距离为0.57-0.61微米，每个所述空气槽沿垂直于所述环形内表面的方向上的宽度均为0....
【专利技术属性】
技术研发人员：赵明月，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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