【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及热式流量传感器气体流量标定，具体为一种适于热式流量传感器的气体流量标定方法。
技术介绍
1、mems热式流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 mems 热式原理对管路气体介质进行流量监测。流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称的分布在加热电阻的上游和下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。当流体静止时，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的，当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。
2、热式流量传感器模组通常是利用至少一颗mems硅流量芯片参与流量感知，当不同大小流量流经mems硅流量芯片时，会产生不同大小的mv级别的原始传感器信号，不同大小的原始传感器信号和所对应测量的气体流量之间的关系可拟合形成一条多阶拟合曲线。
3、为了方便后级的应用，一方面需要将原始传感器信号进行适当放大，另一方面需要将测量的气体流量和输出的原始传...
【技术保护点】
1.一种适于热式流量传感器的气体流量标定方法，其特征在于，其包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种适于热式流量传感器的气体流量标定方法，其特征在于：所述步骤S6中，具体包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述一种适于热式流量传感器的气体流量标定方法，其特征在于：所述待标定流量传感器模组中包括的MEMS硅流量芯片的个数P的取值为4。
4.根据权利要求1所述一种适于热式流量传感器的气体流量标定方法，其特征在于：所述BP神经网络的输入层节点数为2，输出层结点数为2，隐含层结点数为5。
【技术特征摘要】
1.一种适于热式流量传感器的气体流量标定方法，其特征在于，其包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种适于热式流量传感器的气体流量标定方法，其特征在于：所述步骤s6中，具体包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述一种适于热式流量传感器的气...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭生，李文卿，刘同庆，
申请(专利权)人：无锡芯感智半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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