【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及特种光源，尤其涉及一种高光谱纯度的台式化光源。
技术介绍
1、激光驱动的台式化热辐射光源相对于电激励的氙灯、汞灯、卤素灯以及电子束激发的x光管等具有更高的亮度、更长的寿命、更小的发光体积，并且可以覆盖远红外、红外、可见、紫外、极紫外直到软x光的很宽的电磁波段，在众多领域有广泛的应用前景。激光驱动的台式化热辐射光源利用激光加热靶材料生成高温等离子体，通过热电子对原子核外壳层电子的碰撞激发和退激发的热辐射过程来产生发光。得益于台式化激光极高的瞬时功率和很高的平均功率，激光激发等离子体的热辐射光源已在极紫外光刻机(13.5nm波段的极紫外光源)[v.bakshi,euv lithography(b),chap3a.29]和半导体量检测设备(170nm-2500nm白光光源)中得到了应用。
2、不同于半导体量检测设备需要的连续谱白光光源，很多应用需要准单色的光源，例如极紫外光刻使用13.5nm±1％的准单色光，在这些应用中，只有很窄的“带内(in-band)”光谱段才有用，其它“带外(out-band)”光谱除了不能提...
【技术保护点】
1.一种高光谱纯度的台式化光源，其特征在于，包括4μm波长纳秒固体激光(1)、靶物质(2)、真空室(5)和用于对4μm波长纳秒固体激光(1)加热靶物质产生的发光进行聚合的发光收集镜(3)，靶物质(2)和发光收集镜(3)设置于真空室(5)中，4μm波长纳秒固体激光(1)发射的激光照射在靶物质(3)上生成等离子而发光。
2.根据权利要求1所述的高光谱纯度的台式化光源，其特征在于，所述台式化光源还包括预整形靶形态的能量束机构(11)，将靶物质(3)预先蒸发为最终电子密度稍低于6个大气压的气态。
3.根据权利要求1所述的高光谱纯度的台式化光源，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种高光谱纯度的台式化光源，其特征在于，包括4μm波长纳秒固体激光(1)、靶物质(2)、真空室(5)和用于对4μm波长纳秒固体激光(1)加热靶物质产生的发光进行聚合的发光收集镜(3)，靶物质(2)和发光收集镜(3)设置于真空室(5)中，4μm波长纳秒固体激光(1)发射的激光照射在靶物质(3)上生成等离子而发光。
2.根据权利要求1所述的高光谱纯度的台式化光源，其特征在于，所述台式化光源还包括预整形靶形态的能量束机构(11)，将靶物质(3)预先蒸发为最终电子密度稍低于6个大气压的气态。
3.根据权利要求1所述的高光谱纯度的台式化光源，其特征在于，所述真空室(5)中还设置磁化气体(8)，以长时间维持最终电子密度稍低于6个大气压的气态。
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