一种基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器制造技术

技术编号:41344765 阅读:24 留言:0更新日期:2024-05-20 10:00
本发明专利技术公开了一种基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,该传感器包括下衬底、铌酸锂层、覆盖层、输入输出光纤;铌酸锂层设置于下衬底之上,覆盖层设置于铌酸锂层之上,铌酸锂层包括由下至上连接的铌酸锂薄膜与铌酸锂脊型波导,铌酸锂脊型波导包括依次连接的第一布拉格光栅、第一铌酸锂脊型波导段、第二布拉格光栅、第二铌酸锂脊型波导段,输入输出光纤两端分别与外部装置以及第二铌酸锂脊型波导段连接。该传感器体积微小,能够实现对瞬态电磁脉冲的时域波形的真实还原。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光波导技术及光学电场检测领域,具体涉及一种基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器


技术介绍

1、由于具有体积小、响应时间快、动态范围宽、强电磁环境下不易损坏、适用于远距离在线监测等优点,集成光波导式脉冲电场传感器在核爆脉冲、高压放电脉冲、雷电脉冲、高功率微波、电磁兼容性及强电场监测等领域具有广阔的应用前景。

2、常规的集成光波导式电场传感器主要由linbo3晶体衬底、马赫-泽德干涉仪、金属电极和天线组成。被测电场经金属天线馈送到光波导两侧的电极上,形成感应电场。通过检测波导干涉仪输出光强的变化,获得被测电场。但是由于linbo3晶体衬底除了具有电光效应外,还具有的热光、热膨胀、压电、声光等效应,这会导致传感器的工作点对电场和外界温度环境因素同时敏感,即工作点受外界影响可能随时发生漂移,温度稳定性较差。而电场传感器的工作现场大部分为户外条件。由于季节气候变化,电场传感器的工作条件尤其是环境温度变化较为复杂。

3、瞬态强电磁脉冲测试技术是定量评估各种电子设备电磁环境效应和抗扰度试验研究的重要手段,同时也是研究设备电磁本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征在于:该传感器包括下衬底、铌酸锂层、覆盖层、输入输出光纤;铌酸锂层设置于下衬底之上,覆盖层设置于铌酸锂层之上,铌酸锂层包括由下至上连接的铌酸锂薄膜与铌酸锂脊型波导,铌酸锂脊型波导包括依次连接的第一布拉格光栅、第一铌酸锂脊型波导段、第二布拉格光栅、第二铌酸锂脊型波导段,输入输出光纤两端分别与外部装置以及第二铌酸锂脊型波导段连接。

2.根据权利要求1所述的基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征在于:所述下衬底为SiO2制成。

3.根据权利要求1所述的基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征...

【技术特征摘要】

1.一种基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征在于:该传感器包括下衬底、铌酸锂层、覆盖层、输入输出光纤;铌酸锂层设置于下衬底之上,覆盖层设置于铌酸锂层之上,铌酸锂层包括由下至上连接的铌酸锂薄膜与铌酸锂脊型波导,铌酸锂脊型波导包括依次连接的第一布拉格光栅、第一铌酸锂脊型波导段、第二布拉格光栅、第二铌酸锂脊型波导段,输入输出光纤两端分别与外部装置以及第二铌酸锂脊型波导段连接。

2.根据权利要求1所述的基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征在于:所述下衬底为sio2制成。

3.根据权利要求1所述的基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征在于:所述覆盖层为sio2制成。

4.根据权利要求1所述的基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征在于:所述铌酸锂薄膜厚度为500~700nm。

5.根据权利要求1或2所述的基于铌酸锂薄膜的无电极式电磁脉冲电场传感器,其特征在于:所述下衬底的厚度为2~4μm。

6.根据权利要求1或3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄明亮冀航倪超董晶左宇
申请(专利权)人:中国舰船研究设计中心
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1