一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器制造技术

技术编号:41344629 阅读:23 留言:0更新日期:2024-05-20 10:00
本技术涉及一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,属石英玻璃生产设备技术领域。它由该燃烧器本体构成,燃烧器本体由灯壳、灯座和灯芯管构成,灯壳的两侧对称设置有氢气管,氢气管与灯壳内腔连通;灯壳内通过连接杆固装有灯座,灯座的顶端延伸至灯壳上方,灯座的底部设置有多个灯芯管,灯芯管分别与灯座的内腔连通。由于灯座底部的多个灯芯管,其中心部位的灯芯管呈垂直设置,环绕其外围的灯芯管呈倾斜状收口设置。工作过程中,当喷出的氧气气流在靶标的阻挡下向四周扩散并冲击其外围的氢气风圈,从而使氢气气流所携带的石英砂,分散更加均匀,解决了现有燃烧器由于结构原因,喷出的气体分散性较差,导致火焰温度不均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,属石英玻璃生产设备。


技术介绍

1、随信息产业的日益发展,国内国际对半导体核心原材料的需求呈现出日益增长的趋势,其中石英材料广泛用于半导体制造中的光掩模、石英件以及半导体制造设备也离不开高纯石英材料。气连熔法生产高纯石英材料因其工艺稳定、连续生产、生产效率高而被推崇,和常规间歇法生产石英玻璃不同,连熔连拉法要求燃烧器喷出的火焰温度高的同时要尽可能分散,即熔制区域的温场分布更加均匀。但是,传统的燃烧器由于结构原因,喷出气体的分散性较差,导致火焰温度的均匀性较差,因此有必要对其进行改进。


技术实现思路

1、本技术的目的在于:提供了一种能够喷出更高流量气体的同时、气体更加分散的,以解决现有燃烧器由于结构原因,喷出的气体分散性较差,导致火焰温度不均匀的燃烧器。

2、本技术的技术方案是:

3、一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,它由该燃烧器本体构成,其特征在于:燃烧器本体由灯壳、灯座和灯芯管构成,灯壳的两侧对称设置有氢气管,氢气管与灯壳内腔连通;灯壳内通过连本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,它由灯壳(3)、灯座(4)和灯芯管(5)构成,其特征在于:灯壳(3)的两侧对称设置有氢气管(2),氢气管(2)与灯壳(3)内腔连通;灯壳(3)内通过连接杆(1)固装有灯座(4),灯座(4)的顶端延伸至灯壳(3)上方, 灯座(4)的底部设置有多个灯芯管(5),灯芯管(5)分别与灯座(4)的内腔连通。

2.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:所述的灯壳(3)为底部呈敞口、顶端呈封闭状的中空的锥形腔体。

3.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:所述的连接杆(1)呈十字状设置。...

【技术特征摘要】

1.一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,它由灯壳(3)、灯座(4)和灯芯管(5)构成,其特征在于:灯壳(3)的两侧对称设置有氢气管(2),氢气管(2)与灯壳(3)内腔连通;灯壳(3)内通过连接杆(1)固装有灯座(4),灯座(4)的顶端延伸至灯壳(3)上方, 灯座(4)的底部设置有多个灯芯管(5),灯芯管(5)分别与灯座(4)的内腔连通。

2.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:所述的灯壳(3)为底部呈敞口、顶端呈封闭状的中空的锥形腔体。

3.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:...

【专利技术属性】
技术研发人员:毛应龙陈银蔡爽陈孝碧张寒
申请(专利权)人:湖北菲利华石英玻璃股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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