【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,属石英玻璃生产设备。
技术介绍
1、随信息产业的日益发展,国内国际对半导体核心原材料的需求呈现出日益增长的趋势,其中石英材料广泛用于半导体制造中的光掩模、石英件以及半导体制造设备也离不开高纯石英材料。气连熔法生产高纯石英材料因其工艺稳定、连续生产、生产效率高而被推崇,和常规间歇法生产石英玻璃不同,连熔连拉法要求燃烧器喷出的火焰温度高的同时要尽可能分散,即熔制区域的温场分布更加均匀。但是,传统的燃烧器由于结构原因,喷出气体的分散性较差,导致火焰温度的均匀性较差,因此有必要对其进行改进。
技术实现思路
1、本技术的目的在于:提供了一种能够喷出更高流量气体的同时、气体更加分散的,以解决现有燃烧器由于结构原因,喷出的气体分散性较差,导致火焰温度不均匀的燃烧器。
2、本技术的技术方案是:
3、一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,它由该燃烧器本体构成,其特征在于:燃烧器本体由灯壳、灯座和灯芯管构成,灯壳的两侧对称设置有氢气管,氢气管与灯壳内
...【技术保护点】
1.一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,它由灯壳(3)、灯座(4)和灯芯管(5)构成,其特征在于:灯壳(3)的两侧对称设置有氢气管(2),氢气管(2)与灯壳(3)内腔连通;灯壳(3)内通过连接杆(1)固装有灯座(4),灯座(4)的顶端延伸至灯壳(3)上方, 灯座(4)的底部设置有多个灯芯管(5),灯芯管(5)分别与灯座(4)的内腔连通。
2.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:所述的灯壳(3)为底部呈敞口、顶端呈封闭状的中空的锥形腔体。
3.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:所述的连接杆(1
...【技术特征摘要】
1.一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,它由灯壳(3)、灯座(4)和灯芯管(5)构成,其特征在于:灯壳(3)的两侧对称设置有氢气管(2),氢气管(2)与灯壳(3)内腔连通;灯壳(3)内通过连接杆(1)固装有灯座(4),灯座(4)的顶端延伸至灯壳(3)上方, 灯座(4)的底部设置有多个灯芯管(5),灯芯管(5)分别与灯座(4)的内腔连通。
2.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:所述的灯壳(3)为底部呈敞口、顶端呈封闭状的中空的锥形腔体。
3.根据权利要求1所述的一种气连熔石英玻璃熔制用燃烧器,其特征在于:...
【专利技术属性】
技术研发人员:毛应龙,陈银,蔡爽,陈孝碧,张寒,
申请(专利权)人:湖北菲利华石英玻璃股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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