【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及背板与靶材焊接，具体涉及一种显示器背板与靶材的高效焊接设备及其使用方法。
技术介绍
1、靶材与背板连接的常用技术包括：机械咬合、钎焊、扩散焊等。采用机械咬合时，靶材与背板的对接面很难完全致密，可能存在的缝隙会导致靶材与背板之间残存有气体，从而影响溅射室的真空度，同时还影响靶材的传导性和导电性。采用钎焊连接的大面积靶材组件，其靶材与背板的结合强度常常满足不了要求，容易溅射过程中掉靶，并且不能够在较高的温度下使用。通常，扩散焊接在真空环境中进行，大面积靶材焊接时所需的设备要求高，需要大尺寸的真空扩散焊接炉或热等静压机等，加工成本高，温度高，时间也相对较长，会对靶材的微观组织，晶粒的大小及取向产生改变。
2、申请号为cn200910242942.x的中国专利技术专利公开了一种大面积靶材与背板（又叫靶托）的快速焊接方法。将靶材待焊面的表面粗糙化、清洗并烘干；将靶材和背板之间撒上一定厚度的金属粉末，然后放入大电流装置中，在一定的保护气氛下，在待焊接靶材和背板的两端施加一定的压力，并通过高频脉冲电流进行焊接，电流大小为10...
【技术保护点】
1.一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，包括工作台（1），其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，其特征在于，所述第一环形架（11）上开设有与焊接板（8）边角相适配的第一直角槽，所述第二环形架（12）上开设有与背板（7）边角相适配的第二直角槽。
3.根据权利要求2所述的一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，其特征在于，所述密封架（23）包括两个密封环，两个所述密封环相靠近一侧外壁之间连接有固定杆。
4.根据权利要求3所述的一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，其特征在于，所述定位架（6）顶壁上开...
【技术特征摘要】
1.一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，包括工作台（1），其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，其特征在于，所述第一环形架（11）上开设有与焊接板（8）边角相适配的第一直角槽，所述第二环形架（12）上开设有与背板（7）边角相适配的第二直角槽。
3.根据权利要求2所述的一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，其特征在于，所述密封架（23）包括两个密封环，两个所述密封环相靠近一侧外壁之间连接有固定杆。
4.根据权利要求3所述的一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，其特征在于，所述定位架（6）顶壁上开设有支撑槽，所述支撑槽中设有第三电推杆（10），所述第三电推杆（10）顶部的输出轴上设有支撑板（9），所述支撑板（9）与背板（7）的底壁充分接触。
5.根据权利要求4所述的一种显示器背板与靶材的高效焊接设备，其特征在于，所述密封箱（3）顶壁上开设有抽气孔（19），且抽气孔（19）外接有真空泵，所述挤压架（5...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂红军，胡杰，覃萍，赵莹，
申请(专利权)人：广州鸿宇数字科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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