本发明专利技术的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖。所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体。所述封闭盖具备：具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖。本申请针对在2008年8月13日申请的日本国专利申请第 2008-208320号主张优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
三氯硅烷、四氯硅烷等的氯硅烷类用于多晶硅和硅片的外延膜等 的半导体、光纤的原材料等。通常，在制造工场内将氯硅烷类填充在 容器或气瓶中，将其搬运至半导体和光纤等的制造工场来使用。这些 氯硅烷类如果与空气等中包含的水分反应，则产生腐蚀性气体和二氧 化硅。该腐蚀性气体和二氧化硅产生腐蚀设备且招致品质的恶化、配 管的堵塞等问题，因而要求容器内的氯硅烷类不与空气和水接触。作为使空气不与容器内的氯硅烷接触的提案， 一直以来，采用例 如日本特开平5-231598号公报和特开2008-116044号公报所记载的封 闭构造。在特开平5-231598号公报的气体填充容器中，为了防止松开阀时 漏出的硅烷气体在空气中自燃起火、污染金属口部、腐蚀金属口部和 气体供给系，设置将金属口部气密地封闭的帽，并且，在该帽内设有 吸附水分和氧的吸附剂和吸附硅烷气体的吸附剂。在特开平5-231598 号公报中记载了由该吸附剂将金属口部和帽内的气氛置换为以氮气 等为主要成分的惰性气体，因而即使硅烷气体漏出，也能够抑制腐蚀。在特开2008-116044号〃/^艮中记载了一种泄漏抑制装置，该泄漏 抑制装置以包围与容器的出口开口连接的流体流动部件的方式设置 抑制包围体，并能够收集泄漏的反应性气体。纳容器中，无法应用以气体漏出的防止为课题的上述特开平5-231598号公报及特开2008-116044号公报的技术。例如，对于特开平5-231598号公报的气体填充容器而言，在液态 的氯硅烷泄漏的情况下，无法用吸附剂来吸收。另外，对于特开 2008-116044号^M艮的装置而言，其相对于配管连接部的泄漏为有效 的手段，而在产生因阀的密封性恶化而导致的泄漏的情况下，却不是 有效的手段。尤其是，氯硅烷类在与空气接触时反应，在阀上产生锈，使二氧 化>法附着，妨碍阀的动作。在由封闭盖封闭岡的端部的情况下，如果 在此间形成的密闭的空间中存在着包含水分的空气，产生因阀的密封 性的恶化而导致的氯硅烷的泄漏，则产生腐蚀内部等的问题。本专利技术是鉴于这种情形而提出的，其目的在于，提供一种能够以 简单的构造维持阀的健全性并可靠地防止因内容物的漏出而导致的 腐蚀性气体的产生的氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖。
技术实现思路
用于达成上述目的的本专利技术的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所 述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其 上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭 盖，所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体，所述壳具有连接法兰， 所述连接法兰具有用于连接所述外部的配管的连接面，所述封闭盖具 备具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将 惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的 供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和 开闭所述排气管的排气阀。依照该专利技术，由于能够由与氯硅烷液不反应的惰性气体充满形成 于阀的阀体和封闭盖之间的空间，因而能够防止腐蚀性气体和二氧化硅的产生。而且，由于能够使该空间与收纳容器内相比为正压，因而强化阀的密封性并能够防止从阀的漏出。另外，本专利技术的氯硅烷液收纳容器用封闭盖以能够装卸的方式安装在阀的连接法兰上，该阀固定在收纳氯硅烷液的箱上。上述氯硅烷液收纳容器用封闭盖具备具有与所述连接法兰的连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀的阀体之间的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管、开闭所述排气管的排气阀，所述氯硅烷液收纳容器用封闭盖通过将所述封闭盖固定在所述连接法兰上来密封所述空间。依照本专利技术的氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖，由于抑制了腐蚀性气体和二氧化硅的产生，因而能够防止阀周边的部件的腐蚀导致的阀的密封性的下降和氯硅烷液的泄漏，并且也能够降低取下封闭盖时的危险性。附图说明图1是显示本专利技术的氯硅烷液的收纳容器的一个实施例的模式图。图2是显示安装有图1所示的收纳容器的封闭盖的状态的球阀附近的主要部分的放大截面图。图3是显示图2所示的连接法兰和封闭盖的盖体的接合部附近的放大图。图4是按照A C的次序显示封闭图2所示的球阀时的顺序的模式图。符号说明10收纳容器11箱12固定法兰20惰性气体供给装置21配管22安装用法兰30容器31配管32安装用法兰40、 40A、 40B球阀41壳41a阀座41b管路42 '连接法兰42a连接面43连4矣法兰44阀体44a贯通孔45操作部46突出部51螺栓52螺帽60封闭盖61盖体61a封闭面62供给管63供给阀64排气管65排气阀66垫片67环形槽6L氯硅烷液S空间具体实施例方式以下，基于附图，说明本专利技术的氯硅烷液的收纳容器的一个实施例。图1中显示了本专利技术的氯硅烷液L的收纳容器10、将惰性气体(例如氩气)供给至该收纳容器10的惰性气体供给装置20以及收纳从收纳容器10取出的氯硅烷液L的容器30的才莫式图。收纳容器IO具备箱11以及具有连通箱11的内外的管路并开闭该管路的2个阀40A、 40B。这些阀40A、 40B指的是5求阀， 一个阀40A用于向箱11供给惰性气体，在取出氯硅烷液L的期间，在它的连接法兰42上连接有安装用法兰22，其位于从供给惰性气体(例如氩气)的惰性气体供给装置20伸出的外部的配管21上。另外，另一个阀40B用于取出来自箱11的氯硅烷液L,在它的连接法兰42上连接有位于从外部的容器30伸出的外部的配管31上的安装用法兰32。当从该收纳容器IO取出氯硅烷液L时，如图1所示，通过经由球阀40A和外部的配管21而从惰性气体供给装置20将惰性气体注入箱11内，从而经由球阀40B和外部的配管31而从箱ll将氯硅烷液L送出至容器30。然后，通过封闭各球阀40A、 40B，从而停止氯硅烷液L的送出。在不进行氯硅烷液L的取出的期间，从两球阀40A、 40B的连接法兰42分别取下外部的配管21的安装用法兰22和外部的配管31的安装用法兰32，取而代之的是，将封闭球阀40A、 40B的管路的封闭盖60固定在连接法兰42上。由此，即使在重复进行氯硅烷液L的取出的情况下，也能够防止氯硅烷液L从球阀40A、 40B泄漏。在图2中显示了该球阀40A、 40B的详细构造。以下，在不特别地区别2个球阀40A、 40B的情况下，将符号统一为40进行说明。7该球阀40具备具有球面状的阀座41a的壳41、设在壳41的两端的连接法兰42和43、可转动地保持在阀座41a上并开闭管路41b的大致^求状的阀体44以及阀体44的操作部45,通过由螺栓51和螺帽52将一个连接法兰43固定在箱11侧的固定法兰12上，从而将其安装在箱11上。另外，在另一个连^t妻法兰42上，由螺栓51和螺帽52固定有从上述的惰性气体供给装置20伸出的外部的配管21的安装用法兰22、从外部的容器30伸出的外部的配管31的安装用法兰32、或封闭盖60中的任意一个。在该球阀40中，在阀体44上形成有贯通孔44a，如图2所示，通过将贯通孔44a配置在与阀40本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种氯硅烷液的收纳容器，其具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖，其中， 所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体，所述壳具有连接法兰，所述连接法兰 具有用于连接所述外部的配管的连接面， 所述封闭盖具备：具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所 述排气管的排气阀。
【技术特征摘要】
JP 2008-8-13 2008-2083201.一种氯硅烷液的收纳容器，其具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖，其中，所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体，所述壳具有连接法兰，所述连接法兰具有用于连接所述外部的配管的连接面，所述封闭盖具备具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。2. 权...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木刚，伊藤孝则，
申请(专利权)人：三菱麻铁里亚尔株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
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