【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金属提纯，特别是一种利用连续式uhv垂直浮区区熔制备超纯金属工艺。
技术介绍
1、区域熔炼是一种深度提纯金属的方法。其实质是通过局部加热狭长锭料，形成一个狭窄的熔融区，并移动加热使此狭窄熔融区按一定方向沿锭料缓慢移动，利用杂质在固相与液相间平衡浓度的差异，在反复熔化和凝固的过程中，杂质便重新分布或偏析到固相或液相中而得以除去，从而达到提纯目的。
2、熔区一般采用电阻加热、感应加热或电子束加热。通常使用电子束加热和高频线圈加热，电子束加热方式具有熔化体积小、热梯度界限分明、热效率高和提纯效果好等优点，但由于该方法仅能在真空中进行，所以受到很大的限制。感应加热既可在真空中应用，也可在任何惰性还原气氛中进行。
3、区域熔炼广泛用于半导体材料中高熔点金属钨、钼、钽、铌的提纯，也用于高纯铝、镓、锑、铜、铁、银等金属的提纯。区域熔炼对高熔点金属的提纯效果好。
4、相比于其它提纯技术，区域熔炼有着应用范围广、无污染、产品纯度高、操作简单及成分组织均匀等优点，但也存在着一系列问题和难点。为了不影响材料的...
【技术保护点】
1.利用连续式UHV垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的利用连续式UHV垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，所述步骤6中的中间剩余部分占85％～95％。
3.根据权利要求1所述的利用连续式UHV垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，所述步骤4中包括7道次～10道次垂直区熔提纯，所述垂直浮区从上端向下端的移动速度为1～100μm/s。
4.根据权利要求1所述的利用连续式UHV垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，所述步骤3中自旋的转速为1～25r/min，感应加热的温度范围为...
【技术特征摘要】
1.利用连续式uhv垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的利用连续式uhv垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，所述步骤6中的中间剩余部分占85％～95％。
3.根据权利要求1所述的利用连续式uhv垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，所述步骤4中包括7道次～10道次垂直区熔提纯，所述垂直浮区从上端向下端的移动速度为1～100μm/s。
4.根据权利要求1所述的利用连续式uhv垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，所述步骤3中自旋的转速为1～25r/min，感应加热的温度范围为100～2000℃。
5.根据权利要求1所述的利用连续式uhv垂直浮区区熔制备超纯金属工艺，其特征在于，所述超高真空区熔工艺室和所述真空预处理室分别连接超高真空系统，所述超高真空系统由低温泵、...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐闰，白佳鑫，董瀚，邢振国，李建民，徐飞，陈景锋，王林军，郝建锋，李道明，闫文凯，
申请(专利权)人：河北龙凤山辰昕新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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