整体转印喷墨喷嘴板及制造其的方法技术

本发明专利技术提供一种能够整体转印图案的具有细喷嘴孔的喷嘴板，以及制造其的方法。而且，提供在基片上以所需形状、在所需位置处形成细喷嘴孔的方法，以及由该方法获得的喷墨喷嘴板。而且，提供整体转印喷墨喷嘴板能够具有高成像效率，并能够通过简化喷嘴控制器而减少成本；以及制造其的方法。本发明专利技术中，在凝固材料的板中的细喷嘴孔由以下形成：基于计算机中的数据，根据细喷墨工艺在基片上形成三维结构，在除形成三维结构的部分之外的部分涂覆凝固材料，并且然后硬化并且去除凝固材料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于整体形成图像图案的整体转印喷墨打印机，和能 够用于其的整体转印喷墨喷嘴板，以及制造其的方法。而且，本专利技术 涉及使用细喷墨工艺形成三维结构，以及制造整体转印喷墨喷嘴板的 方法，其中通过三维结构的轮廓形成细喷嘴孔。
技术介绍
通过扫描喷嘴和基片中的一个或两者来形成图像而进行喷墨的图 案成像。根据该方法的有益方面，在计算机中用于控制喷嘴和基片的 数据允许适当和自由地改变图案。然而，问题是，以上方法的生产能 力劣于诸如啄光技术之类的成像技术，后者通过使用打印板和屏幕打 印来形成图像。出于提高这种生产能力的目的，已经进行尝试以期望图案放置喷 墨喷嘴。然而，包括压电类型在内的传统喷墨喷嘴具有复杂的喷射机 构，并因此难于自由设计和布置喷嘴的位置(特别在精细对齐中)。另外，本身形成具有细直径的喷嘴孔是困难的。作为孔形成工艺 的技术，存在有激光加工、曝光技术、RIE(活性离子蚀刻)、放电加 工等等，但是难于根据上述工艺形成细孔。
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术试图提供具有细喷嘴孔的喷嘴板，其能够整体地转印图案 (在本专利技术中，转印意味着成像图案等等，并且该意思包括成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种整体转印喷墨喷嘴板，其特征在于，在规定的间隔具有多个内径为０．１μｍ～１００μｍ的细喷嘴孔。

【技术特征摘要】
JP 2005-1-31 2005-0241611.一种整体转印喷墨喷嘴板，其特征在于，在规定的间隔具有多个内径为0.1μm～100μm的细喷嘴孔。2. 根据权利要求l所述的整体转印喷墨喷嘴板，其特征在于，以 指定图案对齐上述多个细喷嘴孔。3. 根据权利要求1所述的整体转印喷墨喷嘴板，其特征在于，上 述细喷嘴孔的间隔为50nm以下。4. 根据权利要求1到3中任一项所述的整体转印喷墨喷嘴板，其 特征在于，上述细喷嘴孔的间隔为10fim以下。5. 根据权利要求1到3中任一项所述的整体转印喷墨喷嘴板，其 特征在于，上述细喷嘴孔的内径为20...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田和广，
申请(专利权)人：独立行政法人产业技术综合研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]