【技术实现步骤摘要】
本技术有关于一种光学感测系统，特别是关于一种光学感测系统及其光学感测模组。
技术介绍
1、市场上在进行微小结构或体积的异常检测时，通常使用具有短波长且高能量的紫外光(ultraviolet,uv)或深紫外光(deep ultraviolet,duv)以进一步地提升检测的解析度。
2、然而，现有的紫外光晶片封装好的模组是无法改变入射光角度的元件，且在目前的制作流程中，入射光角度为固定无法改变，并无法调焦、无法达到改善感光效果。
3、为此，如何设计出一种光学感测系统及其光学感测模组，特别是解决现有技术的上述技术问题，为本案专利技术人所研究的重要课题。
技术实现思路
1、有鉴于现有技术所造成的瓶颈与技术问题，本技术提供了一种可改变入射光角度、可调焦的光学感测系统及其光学感测模组来克服现有技术所提及的问题。
2、本技术提供一种光学感测模组，包含：一基板；一紫外光感测器，设置于基板上；一调焦结构，设置于基板之上；一第一透镜，与调焦结构连接，并对位于紫外光感测器；及一导光元件，设置于第一透镜与紫外光感测器之间。其中，调焦结构带动第一透镜在一光线入射方向上移动。
3、在某些实施例中，光学感测模组还包含：一第二透镜，与调焦结构连接，并对位于紫外光感测器，且设置于第一透镜之上或之下。其中，第二透镜固定于调焦结构上。
4、在某些实施例中，导光元件具有一聚光结构，聚光结构的一焦点对应于紫外光感测器。
5、在某些实施例中，导光元件具有
6、在某些实施例中，导光元件具有一滤光层，设置于相对于紫外光感测器的另一侧。
7、在某些实施例中，调焦结构具有一移动件及一固定件，移动件与固定件连接并相对于固定件为可移动的。
8、在某些实施例中，调焦结构为一微机电系统结构或一机械式结构。
9、在某些实施例中，第一透镜具有一滤光层并设置于相对于导光元件的另一侧。
10、本技术另外提供一种光学感测系统，包含：一载板；及多个如上所述的光学感测模组，设置于载板上。
11、在某些实施例中，多个该光学感测模组阵列排列于载板上。
12、承上所述，本技术的光学感测模组具有调焦结构来带动透镜在光线入射方向上移动，而可调整透镜的入光角度，进而可调整光线到达紫外光感测器上的焦距。因此，本技术的光学感测模组可实现增加侦测的角度范围及焦距的效果。而且，调焦结构例如可为微机电系统结构或机械式结构，通过电性连接来驱动，而可电性地控制其移动调整焦距。再者，本技术的光学感测模组还可具有多个透镜(例如第一透镜及第二透镜)，通过多个透镜的相对移动，可进一步增加本技术的光学感测模组的侦测的角度范围及焦距。另外，本技术的光学感测系统具有多个光学感测模组，经由各个光学感测模组的调焦结构可调整透镜的入光角度，来调整光线到达紫外光感测器上的焦距，可达成增加光学感测系统整体侦测的角度范围及焦距的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光学感测模组，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，还包含：
3.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该导光元件具有一聚光结构，该聚光结构的一焦点对应于该紫外光感测器。
4.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该导光元件具有一微透镜结构，该微透镜结构设置于该导光元件之上。
5.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该导光元件具有一滤光层，设置于相对于该紫外光感测器的另一侧。
6.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该调焦结构具有一移动件及一固定件，该移动件与该固定件连接并相对于该固定件为可移动的。
7.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该调焦结构为一微机电系统结构或一机械式结构。
8.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该第一透镜具有一滤光层并设置于相对于该导光元件的另一侧。
9.一种光学感测系统，其特征在于，包含：
10.根据权利要求9所述的光学感测系统，其特征在于，多个该
...【技术特征摘要】
1.一种光学感测模组，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，还包含：
3.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该导光元件具有一聚光结构，该聚光结构的一焦点对应于该紫外光感测器。
4.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该导光元件具有一微透镜结构，该微透镜结构设置于该导光元件之上。
5.根据权利要求1所述的光学感测模组，其特征在于，该导光元件具有一滤光层，设置于相对于该紫外光感测器的另一侧。
6.根据...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。