【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种喷嘴装置。喷嘴装置可以被用来在极紫外(euv)光源中生成目标。
技术介绍
1、euv光，例如，具有约50nm或更小波长的电磁辐射(有时也称为软x射线)，并且包括约13nm波长的光，被用于光刻工艺中以在衬底(例如，硅晶片)中产生极小的特征。
2、用于生成euv光的方法包括但不限于将目标材料的物理状态改变为等离子体状态。目标材料包括具有euv范围内的发射线的元素，例如氙、锂或锡。在一种这样的方法(通常被称为激光产生的等离子体(“lpp”))中，所需的等离子体是通过用可以被称为驱动激光器的放大光束来辐照目标材料(例如，以目标材料的液滴、流或簇的形式)而产生的。对于该过程，等离子体通常在密封容器例如真空室中产生，并使用各种类型的计量装备来进行监测。
3、输出波长约为10600nm的放大光束的co2放大器和激光器，作为用于在lpp过程中辐照目标材料的驱动激光器，可以提供某些优点。这对于某些目标材料、例如对于含锡的材料尤其如此。例如，一个优点是能够在驱动激光器输入功率和输出euv功率之间产生相对高的转换效率。
4、在euv光源中，euv可以在两步过程中产生，其中行进到辐照位点的目标材料的液滴首先被预脉冲撞击，该预脉冲调节该液滴以用于辐照位点处的后续相位转换。在此上下文中的调节可以包括改变液滴的形状，例如，使液滴变平，或者改变液滴的分布，例如，至少部分地将一些液滴分散为雾。例如，预脉冲撞击液滴以修改目标材料的分布，而主脉冲撞击目标以将其变换为euv发射等离子体。在一些系统中，预脉冲和主脉冲
5、喷嘴装置可以被用于产生从毛细管出来的流体材料流或射流，该毛细管终止于喷嘴出口或孔口。喷嘴装置在操作时必须部保持在适当的位置。在喷嘴保持系统的一种实现方式中，使用聚酰亚胺套圈来将玻璃毛细管密封在喷嘴主体上。该套圈产生用于包含高压液体目标材料的密封。通过使用紧固螺母实现密封。
6、这种实现方式具有一些缺点。一个缺点是当目标材料的内部压力增加时，以及还由于聚酰亚胺套圈在被加热时失去其强度的事实，套圈失去密封压力。因此，这些套圈将不适合于预期在未来的液滴生成器中将需要的更高压力下使用，例如，大于14000psi(1000bar)的压力。附加地，套圈以液滴生成器操作温度软化，并且因此增加了整个喷嘴系统的非线性。所导致的刚度降低可能会允许毛细管尖端振荡，这可能会影响液滴稳定性。
7、因此，需要一种避免这些缺点的毛细管保持系统。
技术实现思路
1、以下呈现了一个或多个实施例的简化概述，以便提供对这些实施例的基本理解。本概述不是对所有预期实施例的广泛综述，并且不旨在标识所有实施例的关键或重要元素，也不对任何或所有实施例的范围设置限制。其唯一目的是呈现一个或多个实施例的一些概念作为稍后呈现的更详细描述的序言。
2、根据一个实施例的一个方面，公开了一种用于极紫外光源的装置，该装置包括：喷嘴主体，该喷嘴主体包括限定腔体的结构，该腔体用于在压力下保持液态目标材料，该液态目标材料在处于等离子体状态时发射极紫外(euv)光；具有第一端和第二端的毛细管；该毛细管在该第一端处与该腔体流体连通，并且第二端限定用于发射该目标材料流的喷嘴出口；套圈，该套圈具有包围该毛细管的至少纵向部分并与该毛细管的至少纵向部分形成密封的通孔，该毛细管延伸通过该通孔；喷嘴螺母，该喷嘴螺母将该套圈机械联接到该喷嘴主体，该套圈的具有圆锥形状的至少一部分，其中该套圈的外径在朝向该毛细管的第二端的方向上减小。该套圈的具有圆锥形状的该部分的尺寸被确定为与由喷嘴螺母限定的互补腔体的内表面配合，以在该套圈的具有圆锥形状的该部分与该内表面之间形成密封。套圈可以由聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚苯并咪唑形成。喷嘴主体可以由包括以下中的一项或多项的材料形成：包括钼、钨和钽、或包括钼、钨和钽中的一者或多者的合金。套圈可以具有向外延伸的周向肩部，该周向肩部邻近该圆锥形状的具有最大外径的部分，该肩部适合于被接纳在形成于该喷嘴主体与该喷嘴螺母之间的通道中，该肩部是在该喷嘴主体与该喷嘴螺母之间形成密封的环形垫圈。该装置还可以包括环形垫圈，该环形垫圈被横向布置为与锥形形状的具有最大外径的部分相邻，该环形垫圈适合于被接纳在形成于喷嘴主体和喷嘴螺母之间的通道中，以在该喷嘴主体与该喷嘴螺母之间形成密封。该套圈可以包括具有面向该腔体的圆形表面的盘状部分，其中该盘状部分包括包围该通孔并且被配置和布置为接合该毛细管的环形凸缘。该套圈可以包括具有面向该腔体的圆形表面的盘状部分，其中该盘状部分包括邻近该通孔的外侧而径向地布置的环形通道。该套圈可以包括具有面向该腔体的圆形表面的盘状部分，其中该盘状部分包括环形凸缘和环形通道，该环形凸缘被配置和布置为接合该毛细管，并且该环形通道被径向布置为邻近该环形凸缘的外侧。
3、根据实施例的另一方面，公开了一种用于极紫外光源的装置，该装置包括：喷嘴主体，该喷嘴主体包括限定腔体的结构，该腔体用于在压力下保持液态目标材料，该液体目标材料在处于等离子体状态时发射极紫外(euv)光；玻璃毛细管，该玻璃毛细管具有延伸到该腔体中的第一端和限定喷嘴出口的第二端，该喷嘴出口用于发射已经在该玻璃毛细管内部并沿着该玻璃毛细管的长度穿过的目标材料；套圈，该套圈具有适合于接纳该玻璃毛细管的中心通孔，该套圈包围该玻璃毛细管的至少纵向部分并与该玻璃毛细管的至少纵向部分形成密封，该玻璃毛细管延伸通过该中心通孔，该套圈的一部分具有截头圆锥形状，该截头圆锥形状具有朝向该玻璃毛细管的第一端的第一直径和朝向该玻璃毛细管的第二端的第二直径，该第一直径大于该第二直径；以及螺纹喷嘴螺母，该螺纹喷嘴螺母被布置为与喷嘴主体机械联接，以将该套圈捕获在该喷嘴螺母与该喷嘴主体之间，该喷嘴螺母具有截头圆锥腔体，该截头圆锥腔体的尺寸被确定为接纳该套圈的具有截头圆锥形状的部分。该套圈可以由聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚苯并咪唑形成。喷嘴主体可以由包括一下中的一项或多项的材料形成：钼、钨和钽、或包括钼、钨和钽中的一者或多者的合金。该套圈可以具有向外延伸的周向肩部，该周向肩部被接纳在形成于该喷嘴主体与该喷嘴螺母之间的通道中。该套圈可以具有盘状部分，该盘状部分面对该腔体并且包括包围该通孔并被配置和布置为接合该玻璃毛细管的环形凸缘。该套圈可以具有盘状部分，该盘状部分面对该腔体并且包括邻近该通孔的外侧而径向地布置的环形通道。该套圈可以具有盘状部分，该盘状部分面对该腔体并且包括环形凸缘和环形通道，该环形凸缘被配置和布置成接合该玻璃毛细管，并且该环形通道被径向布置为邻近该环形凸缘的外侧。
4、根据一个实施例的另一方面，公开了一种用于极紫外光源的装置，该装置包括：喷嘴主体，该喷嘴主体包括限定腔体的结构，该腔体用于在压力下保持液态目标材料，该液体目标材料在处于等离子体状态时发射极紫外(euv)光；圆柱形玻璃毛细管，该圆柱形玻璃毛细管具有延本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于极紫外光源的装置，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈的具有圆锥形状的所述部分的尺寸被确定为与由所述喷嘴螺母限定的互补腔体的内表面配合，以在所述套圈的具有圆锥形状的所述部分和所述内表面之间形成密封。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈由聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺或聚苯并咪唑形成。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述喷嘴主体由包括以下中的一项或多项的材料形成：钼、钨和钽、或包括钼、钨和钽中的一者或多者的合金。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈具有向外延伸的周向肩部，所述周向肩部邻近所述圆锥形状的具有最大外径的部分，所述肩部适合于被接纳在形成于所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间的通道中，所述肩部是在所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间形成密封的环形垫圈。
6.根据权利要求1所述的装置，还包括环形垫圈，所述环形垫圈被横向地布置为邻近所述圆锥形状的具有最大外径的部分，所述环形垫圈适于被接纳在形成于所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间的通道中，以在所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间形成密封。>
7.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈包括具有面向所述腔体的圆形表面的盘状部分，其中所述盘状部分包括包围所述通孔并且被配置和布置为接合所述毛细管的环形凸缘。
8.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈包括具有面向所述腔体的圆形表面的盘状部分，其中所述盘状部分包括邻近所述通孔的外侧而径向布置的环形通道。
9.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈包括具有面向所述腔体的圆形表面的盘状部分，其中所述盘状部分包括环形凸缘和环形通道，所述环形凸缘被配置和布置为接合所述毛细管，所述环形通道被径向布置为邻近所述环形凸缘的外侧。
10.一种用于极紫外光源的装置，所述装置包括：
11.根据权利要求10所述的装置，其中所述套圈由聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺或聚苯并咪唑形成。
12.根据权利要求10所述的装置，其中所述喷嘴主体由包括以下中的一项或多项的材料形成：钼、钨和钽、或包括钼、钨和钽中的一者或多者的合金。
13.根据权利要求10所述的装置，其中所述套圈具有向外延伸的周向肩部，所述周向肩部被接纳在形成于所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间的通道中。
14.根据权利要求10所述的装置，其中所述套圈具有盘状部分，所述盘状部分面向所述腔体并且包括包围所述通孔并被配置和布置为接合所述玻璃毛细管的环形凸缘。
15.根据权利要求10所述的装置，其中所述套圈具有盘状部分，所述盘状部分面向所述腔体并且包括邻近所述通孔的外侧而径向布置的环形通道。
16.根据权利要求10所述的装置，其中所述套圈具有盘状部分，所述盘状部分面向所述腔体并且包括环形凸缘和环形通道，所述环形凸缘被配置和布置为接合所述玻璃毛细管，并且所述环形通道被径向布置为邻近所述环形凸缘的外侧。
17.一种用于极紫外光源的装置，所述装置包括：
18.根据权利要求17所述的装置，其中所述套圈由聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺或聚苯并咪唑形成。
19.根据权利要求17所述的装置，其中所述喷嘴主体由包括以下中的一项或多项的材料形成：钼、钨和钽、或者包括钼、钨和钽中的一者或多者的合金。
20.根据权利要求17所述的装置，其中所述套圈具有向外延伸的周向肩部，所述周向肩部被接纳在形成于所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间的通道中。
21.根据权利要求17所述的装置，其中所述套圈的所述后端具有盘状部分，所述盘状部分面向所述腔体并且包括包围所述通孔并被配置和布置接合所述圆柱形玻璃毛细管的环形凸缘。
22.根据权利要求17所述的装置，其中所述套圈具有盘状部分，所述盘状部分面向所述腔体并且包括邻近所述通孔的外侧而径向布置的环形通道。
23.根据权利要求17所述的装置，其中所述具有盘状部分，所述盘状部分面向所述腔体并且包括环形凸缘和环形通道，所述环形凸缘被配置和布置为接合所述毛细管，所述环形通道被径向布置为邻近所述环形凸缘的外侧。
24.一种用于极紫外光源的装置，所述装置包括：
25.根据权利要求24所述的装置，其中所述套圈由包括聚酰亚胺的材料形成。
26.根据权利要求24所述的装置，其中所述支撑结构由包含钼的材料形成。
27.根据权利要求24所述的装置，其中所述套圈具有向外延伸的周向肋，所述周向肋被接纳在形成于所述支撑结构与所述套圈螺母之间的通道中。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于极紫外光源的装置，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈的具有圆锥形状的所述部分的尺寸被确定为与由所述喷嘴螺母限定的互补腔体的内表面配合，以在所述套圈的具有圆锥形状的所述部分和所述内表面之间形成密封。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈由聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺或聚苯并咪唑形成。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述喷嘴主体由包括以下中的一项或多项的材料形成：钼、钨和钽、或包括钼、钨和钽中的一者或多者的合金。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈具有向外延伸的周向肩部，所述周向肩部邻近所述圆锥形状的具有最大外径的部分，所述肩部适合于被接纳在形成于所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间的通道中，所述肩部是在所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间形成密封的环形垫圈。
6.根据权利要求1所述的装置，还包括环形垫圈，所述环形垫圈被横向地布置为邻近所述圆锥形状的具有最大外径的部分，所述环形垫圈适于被接纳在形成于所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间的通道中，以在所述喷嘴主体与所述喷嘴螺母之间形成密封。
7.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈包括具有面向所述腔体的圆形表面的盘状部分，其中所述盘状部分包括包围所述通孔并且被配置和布置为接合所述毛细管的环形凸缘。
8.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈包括具有面向所述腔体的圆形表面的盘状部分，其中所述盘状部分包括邻近所述通孔的外侧而径向布置的环形通道。
9.根据权利要求1所述的装置，其中所述套圈包括具有面向所述腔体的圆形表面的盘状部分，其中所述盘状部分包括环形凸缘和环形通道，所述环形凸缘被配置和布置为接合所述毛细管，所述环形通道被径向布置为邻近所述环形凸缘的外侧。
10.一种用于极紫外光源的装置，所述装置包括：
11.根据权利要求10所述的装置，其中所述套圈由聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺或聚苯并咪唑形成。
12.根据权利要求10所述的装置，其中所述喷嘴主体由包括以下中的一项或多项的材料形成：钼、钨和钽、或包括钼、钨和钽中的一者或多者的合金。
13.根据权利要求10所述的装置，其中所述套圈具有向外延伸的周向肩部，所述周向肩部被接...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·S·卡帕迪亚，B·罗林格，J·M·卢肯斯，G·O·瓦斯琴科，S·甘纳，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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