【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种激光退火方法和使用该激光退火方法制造显示装置的方法。更具体地，本公开涉及一种使用固体激光介质的激光退火方法和使用该激光退火方法制造显示装置的方法。
技术介绍
1、在显示装置的制造工艺中，可以执行脱氢工艺和退火工艺。显示装置可以包括顺序堆叠在基板上的绝缘层和有源层。有源层可以包括非晶硅。非晶硅可以通过退火工艺结晶。
2、脱氢工艺可以在退火工艺之前执行以降低有源层的氢含量。绝缘层可以是高氢薄膜(即，绝缘层可以具有比显示装置中包括的其他层的氢含量大的氢含量)。绝缘层中包括的氢可能在脱氢工艺期间没有逸出到外部。尚未逸出到外部的氢可能扩散到有源层。相应地，诸如膜破裂的缺陷可能出现在有源层的表面上。
技术实现思路
1、本公开可以提供一种具有改善的工艺裕量的激光退火方法。
2、本公开可以提供一种使用该激光退火方法制造显示装置的方法。
3、在实施例中，一种激光退火方法包括：从多个峰的多个强度中选择参考强度，其中，参考强度用于确定激光退火期间激光照射的脉冲形状；通过将多个峰当中的具有最小峰出现时间的第一峰的相对于参考强度的强度比设定为小于大约百分之100来设定脉冲形状；以及将具有脉冲形状的激光束照射到载物台。
4、在实施例中，脉冲形状可以进一步包括第二峰、第三峰、第四峰和第五峰。第二峰、第三峰、第四峰和第五峰中的每个可以在第一峰的出现之后顺序出现。第一峰、第二峰、第四峰和第五峰中的每个的强度比可以使用第三峰的高度值作为参考强度来设定。p>
5、在实施例中，第一峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之60至大约百分之70。
6、在实施例中，第五峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之50至大约百分之65。
7、在实施例中，第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约43纳秒至大约51纳秒。
8、在实施例中，第一峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之24至大约百分之32。
9、在实施例中，第五峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之54至大约百分之62。
10、在实施例中，第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约62纳秒至大约74纳秒。第一峰与第五峰之间的脉冲持续时间是大约104纳秒至大约116纳秒。
11、在实施例中，脉冲形状可以进一步包括第二峰、第三峰、第四峰、第五峰、第六峰和第七峰。第二峰、第三峰、第四峰、第五峰、第六峰和第七峰中的每个可以在第一峰的出现之后顺序出现。第一峰、第二峰、第三峰、第四峰、第六峰和第七峰中的每个的强度比可以使用第五峰的高度值作为参考强度来设定。
12、在实施例中，第一峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之18至大约百分之26。
13、在实施例中，第三峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之30至大约百分之40。第七峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之60至大约百分之75。
14、在实施例中，第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约38纳秒至大约46纳秒。第一峰与第五峰之间的脉冲持续时间是大约83纳秒至大约91纳秒。第一峰与第七峰之间的脉冲持续时间是大约129纳秒至大约137纳秒。
15、在实施例中，第三峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之31至大约百分之39。第七峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之61至大约百分之70。
16、在实施例中，第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约52纳秒至大约64纳秒。第一峰与第五峰之间的脉冲持续时间是大约98纳秒至大约110纳秒。第一峰与第七峰之间的脉冲持续时间是大约133纳秒至大约143纳秒。
17、在实施例中，激光束的到载物台的照射可以包括：设定具有第一能量密度的激光束；使用以在第一方向上延伸的线光束的形状照射的激光束第一次扫描载物台；沿着垂直于第一方向的第二方向以线光束的形状照射；设定具有比第一能量密度大的第二能量密度的激光束；以及沿着与第二方向相反的方向使用具有第二能量密度的激光束第二次扫描载物台。
18、在实施例中，一种制造显示装置的方法包括：在基板上形成包括非晶硅的初步有源层；设定用于确定包括多个峰的脉冲形状的参考强度；将脉冲形状设定为使得多个峰当中的具有最小峰出现时间的第一峰的相对于参考强度的的强度比小于大约百分之100；以及通过照射具有脉冲形状的激光束来退火初步有源层。
19、在实施例中，脉冲形状可以进一步包括第二峰、第三峰、第四峰和第五峰。第二峰、第三峰、第四峰和第五峰中的每个可以在第一峰的出现之后顺序出现。第一峰、第二峰、第四峰和第五峰中的每个的强度比可以使用第三峰的高度值作为参考强度来设定。第一峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之60至大约百分之70。第五峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之50至大约百分之65。第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约43纳秒至大约51纳秒。
20、在实施例中，脉冲形状可以进一步包括第二峰、第三峰、第四峰和第五峰。第二峰、第三峰、第四峰和第五峰中的每个可以在第一峰的出现之后顺序出现。第一峰、第二峰、第四峰和第五峰中的每个的强度比使用第三峰的高度值作为参考强度来设定。第一峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之24至大约百分之32。第五峰的相对于第三峰的强度比是大约百分之54至大约百分之62。第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约62纳秒至大约74纳秒。第一峰与第五峰之间的脉冲持续时间是大约104纳秒至大约116纳秒。
21、在实施例中，脉冲形状可以包括第一峰、第二峰、第三峰、第四峰、第五峰、第六峰和第七峰。第二峰、第三峰、第四峰、第五峰、第六峰和第七峰中的每个可以在第一峰的出现之后顺序出现。第一峰、第二峰、第三峰、第四峰、第六峰和第七峰中的每个的强度比使用第五峰的高度值作为参考强度来设定。第一峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之18至大约百分之26。第三峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之30至大约百分之40。第七峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之60至大约百分之75。第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约38纳秒至大约46纳秒。第一峰与第五峰之间的脉冲持续时间是大约83纳秒至大约91纳秒。第一峰与第七峰之间的脉冲持续时间是大约129纳秒至大约137纳秒。
22、在实施例中，脉冲形状可以包括第一峰、第二峰、第三峰、第四峰、第五峰、第六峰和第七峰。第二峰、第三峰、第四峰、第五峰、第六峰和第七峰中的每个可以在第一峰的出现之后顺序出现。第一峰、第二峰、第三峰、第四峰、第六峰和第七峰中的每个的强度比使用第五峰的高度值作为参考强度来设定。第一峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之18至大约百分之26。第三峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之31至大约百分之39。第七峰的相对于第五峰的强度比是大约百分之61至大约百分之70。第一峰与第三峰之间的脉冲持续时间是大约52纳秒至大约64纳秒。第一峰与第五峰之间的脉冲持续时间是大约98纳秒至大约110纳秒。第一峰与第七峰之间的脉冲持续时间是大约13本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种激光退火方法，包括：
2.根据权利要求1所述的激光退火方法，其中，
3.根据权利要求2所述的激光退火方法，其中，所述第一峰与所述第三峰之间的脉冲持续时间是43纳秒至51纳秒。
4.根据权利要求1所述的激光退火方法，其中，
5.根据权利要求4所述的激光退火方法，其中，所述第一峰与所述第三峰之间的脉冲持续时间是62纳秒至74纳秒，并且
6.一种激光退火方法，包括：
7.根据权利要求6所述的激光退火方法，其中，
8.根据权利要求7所述的激光退火方法，其中，所述第一峰与所述第三峰之间的脉冲持续时间是38纳秒至46纳秒，
9.根据权利要求6所述的激光退火方法，其中，所述第三峰的相对于所述第五峰的所述强度比是百分之31至百分之39，并且
10.根据权利要求9所述的激光退火方法，其中，所述第一峰与所述第三峰之间的脉冲持续时间是52纳秒至64纳秒，
【技术特征摘要】
1.一种激光退火方法，包括：
2.根据权利要求1所述的激光退火方法，其中，
3.根据权利要求2所述的激光退火方法，其中，所述第一峰与所述第三峰之间的脉冲持续时间是43纳秒至51纳秒。
4.根据权利要求1所述的激光退火方法，其中，
5.根据权利要求4所述的激光退火方法，其中，所述第一峰与所述第三峰之间的脉冲持续时间是62纳秒至74纳秒，并且
6.一种激光退火方法，包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴喆镐，柳济吉，禹正勳，李斗元，李惠淑，全镇弘，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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