【技术实现步骤摘要】
本技术涉及涂布设备，特别是涉及一种精密显影涂布头。
技术介绍
1、目前实验室小面积器件主流显影方式是旋涂，此种显影方式使用显影液较多且显影过程中显影液浓度会发生变化，显影均匀度低，还容易引入杂质离子。显影液用量控制不精确，这样会造成显影液对光刻胶冲击力过大造成光刻胶缺陷，影响关键图案尺寸的精细化。
2、cn219092567u公开了一种防堵塞狭缝式涂布头，包括涂布头本体，涂布头本体包括上模头和下模头，上模头与下摸头可拆卸连接，上模头下模头之间形成一溶液腔体，上模头和下模头的一侧分别具有上唇口和下唇口，上唇口与下唇口之间形成一出液狭缝口，出液狭缝口通过出液导流通道与溶液腔体连通，出液狭缝口设置有开合结构可以减少涂布头内外来颗粒的影响，减少涂布头内淤塞的情况；但是该专利中出液狭缝口通过出液导流通道直接与溶液壳体连通，不能很好的控制出液的均匀性，且显影液等低粘度液体的出液稳流较难控制，容易导致出液不均匀。
3、所以，为解决光刻胶的显影均匀度低、显影液用量控制不精确导致光刻胶缺陷的问题，亟需一种新的显影方法来解决上述问题。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种精密显影涂布头，以解决现有技术中存在的涂布头供液均匀性问题以及进一步造成的显影不均匀、图案不精细的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种精密显影涂布头，包括：挤压头上唇、挤压头下唇以及设于所述挤压头上唇和挤压头下唇之间的厚度可调节的垫片；所述挤压头
3、优选地，所述挤压头上唇、挤压头下唇和垫片可拆卸连接。
4、优选地，所述多级稳流通道包括沿物料流向依次连通设置的一级稳流流道、二级稳流流道、三级稳流流道和四级稳流通道，所述四级稳流通道为出料口，所述一级稳流流道与所述供料口连通。
5、优选地，所述一级稳流流道、二级稳流流道和三级稳流流道之间分别通过若干支道连接。
6、更优选地，所述一级稳流流道为直径2～5mm的半圆柱形。
7、更优选地，所述一级稳流流道的粗糙度为80～50nm。
8、更优选地，所述二级稳流流道为直径1～2mm的半圆柱形。
9、更优选地，所述二级稳流流道的粗糙度为50～30nm。
10、更优选地，所述三级稳流流道为直径0.5～1mm的半圆柱形。
11、更优选地，所述三级稳流流道的粗糙度为25～20nm。
12、优选地，所述唇口的粗糙度为15～20nm。
13、优选地，所述唇口的宽度为1～10mm。
14、优选地，所述垫片的厚度为10～200μm。
15、优选地，所述吹洗通道的直径为0.1～2mm。
16、如上所述，本技术的精密显影涂布头，具有以下有益效果：
17、本技术的精密显影涂布头通过在挤压头上唇与挤压头下唇之间形成的粗糙度不同的多级稳流通道达到精准控制低粘度显影液涂布厚度均匀性的目的，且可精准控制显影液的流量，减少显影液对光刻胶的冲击，实现增加显影均匀性，减少缺陷几率、精密显影的效果。
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1.一种精密显影涂布头，其特征在于，包括：挤压头上唇(1)、挤压头下唇(2)以及设于所述挤压头上唇(1)和挤压头下唇(2)之间的厚度可调节的垫片(3)；所述挤压头下唇(2)中设置有依次连通的、粗糙度逐级减小的凹槽，所述凹槽与挤压头上唇(1)之间形成多级稳流通道，所述挤压头下唇(2)包括唇口(24)，所述唇口(24)与挤压头上唇(1)之间形成出料口(4)，所述挤压头下唇(2)上设有供料口(5)，所述多级稳流通道连通出料口(4)和供料口(5)，所述挤压头上唇(1)设有若干吹洗通道(11)。
2.根据权利要求1所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述挤压头上唇(1)、挤压头下唇(2)和垫片(3)可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述多级稳流通道包括沿物料流向依次连通设置的一级稳流流道(21)、二级稳流流道(22)、三级稳流流道(23)和四级稳流通道，所述四级稳流通道为出料口(4)，所述一级稳流流道(21)与所述供料口(5)连通。
4.根据权利要求3所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述一级稳流流道(21)、二级稳流流道(
5.根据权利要求4所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述一级稳流流道(21)为直径2～5mm的半圆柱形；
6.根据权利要求4所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述二级稳流流道(22)为直径1～2mm的半圆柱形；
7.根据权利要求4所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述三级稳流流道(23)为直径0.5～1mm的半圆柱形；
8.根据权利要求1所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述唇口(24)的粗糙度为15～20nm；
9.根据权利要求1所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述吹洗通道(11)的直径为0.1～2mm；
10.根据权利要求1所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述垫片(3)的厚度为10～200μm。
...【技术特征摘要】
1.一种精密显影涂布头，其特征在于，包括：挤压头上唇(1)、挤压头下唇(2)以及设于所述挤压头上唇(1)和挤压头下唇(2)之间的厚度可调节的垫片(3)；所述挤压头下唇(2)中设置有依次连通的、粗糙度逐级减小的凹槽，所述凹槽与挤压头上唇(1)之间形成多级稳流通道，所述挤压头下唇(2)包括唇口(24)，所述唇口(24)与挤压头上唇(1)之间形成出料口(4)，所述挤压头下唇(2)上设有供料口(5)，所述多级稳流通道连通出料口(4)和供料口(5)，所述挤压头上唇(1)设有若干吹洗通道(11)。
2.根据权利要求1所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述挤压头上唇(1)、挤压头下唇(2)和垫片(3)可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的精密显影涂布头，其特征在于，所述多级稳流通道包括沿物料流向依次连通设置的一级稳流流道(21)、二级稳流流道(22)、三级稳流流道(23)和四级稳流通道，所述四级稳流通道为出料口(4)，所述一级稳流流道(21)与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王镜喆，宋艳汝，彭鹏飞，徐旭光，陆卫，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：新型
国别省市：
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