【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及角分辨光电子能谱设备，特别是涉及一种光路调节装置、方法、及样品试验系统。
技术介绍
1、角分辨光电子能谱(简称arpes)是利用光电效应研究固体的电子结构。主要分为分辨光电子能谱和空间角分辨光电子能谱，其中空间角分辨光电子能谱的分辨率已经到纳米级和微米级，分别为纳米角分辨光电子能谱(简称nano-arpes)和微米角分辨光电子能谱(简称μ-arpes)，采用上述设备这两种角分辨光电子能谱可以将聚焦的光斑精准的定位到样品上，并获得1μm及以下的空间分辨率。上述设备可以研究众多常规角分辨光电子能谱所不能研究的样品和相应的物理问题。目前已有的很多一代纳米角分辨光电子能谱数据结果已经证实了许多关于层状堆叠石墨烯小样品中预言的平带的存在，魔角附近双层石墨烯中的能带结构以及双层石墨烯和ws2超晶格中的微带(minibands)等。
2、在上述诸多情形中，高空间分辨率的要求在研究电子结构的实验中日益迫切。现有技术中一种具有高空间分辨率的arpes技术，可以通过紫外光光斑聚焦到纳米尺度，然后使样品的电子激发，从而研究样品的电子结构。对于目前的第三代、第四代同步辐射光源，通过光学衍射元件等即可实现光斑的聚焦，但是聚焦的光斑较大、得到的光斑分辨率较低。因此需要设计一种系统实现对辐射光源光斑的定位聚焦，得到分辨率较高的光斑，照射到样品上，用于研究样品的特性以及相应的物理问题。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种光路调节装置、方法、及样品试
2、为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种光路调节装置，包括聚光组件，所述聚光组件包括波带片；还包括支撑底座、级敷筛选孔部件、波带片位移调节组件、以及级敷筛选孔位移调节组件，所述波带片设置在波带片位移调节组件上，所述级敷筛选孔部件设置在级敷筛选孔位移调节组件上，所述波带片位移调节组件设置在支撑底座上，用于调节波带片的位置；所述级敷筛选孔位移调节组件设置在支撑底座上，用于调节级敷筛选孔部件的位置；光路途经波带片、级敷筛选孔部件聚焦形成光斑定位在样品上。
3、优选的，所述波带片位移调节组件包括第一横向驱动组件、第一纵向驱动组件、以及第一竖向驱动组件，所述第一纵向驱动组件设置在第一横向驱动组件上，所述第一竖向驱动组件设置在第一纵向驱动组件上，所述波带片设置在第一竖向驱动组件上。
4、优选的，所述第一竖向驱动组件和第一纵向驱动组件之间还设置有第一转接板，所述第一转接板用于连接第一竖向驱动组件和第一纵向驱动组件。
5、优选的，所述级敷筛选孔位移调节组件包括第二横向驱动组件、第二纵向驱动组件、以及第二竖向驱动组件，所述第二纵向驱动组件设置在第二横向驱动组件上，所述第二竖向驱动组件设置在第二纵向驱动组件上，所述级敷筛选孔部件设置在第二竖向驱动组件上。
6、优选的，所述第二竖向驱动组件和第二纵向驱动组件之间还设置有第二转接板，所述第二转接板用于连接第二竖向驱动组件和第二纵向驱动组件。
7、优选的，所述光路调节装置还包括波带片夹载组件，所述波带片夹载组件设置在波带片位移调节组件上，用于夹持波带片；所述波带片夹载组件包括波带片夹载背板、波带片容置槽、以及波带片夹片，所述波带片容置槽固定在波带片夹载背板上，所述波带片夹载背板固定在波带片位移调节组件上，所述波带片通过波带片夹片设置在波带片容置槽中。
8、优选的，所述聚光组件还包括中心光阑，所述中心光阑设置在波带片远离波带片容置槽的一侧、且通过波带片夹片进行固定；所述波带片夹载背板上还设置有通孔，光路依次通过所述通孔、波带片、中心光阑、级敷筛选孔部件聚焦形成光斑定位在样品上。
9、优选的，所述光路调节装置还包括级敷筛选孔夹持组件，所述级敷筛选孔夹持组件设置在级敷筛选孔位移调节组件上，用于夹持级敷筛选孔部件；所述级敷筛选孔夹持组件包括级敷筛选孔夹载背板、以及级敷筛选孔容置槽，所述级敷筛选孔容置槽设置在级敷筛选孔夹载背板上，所述级敷筛选孔部件设置在级敷筛选孔容置槽中。
10、为实现上述目的或其他目的，本专利技术还涉及一种光路调节方法，采用所述的光路调节装置，步骤如下：
11、s1：将波带片安装在波带片位移调节组件上，将级敷筛选孔部件安装在级敷筛选孔位移调节组件上；
12、s2：通过波带片位移调节组件调节波带片的位置，通过级敷筛选孔位移调节组件调节级敷筛选孔部件的位置；
13、s3：光路依次通过波带片、级敷筛选孔部件聚焦形成光斑定位在样品上。
14、为实现上述目的或其他目的，本专利技术还涉及一种样品试验系统，包括所述的光路调节装置，还包括样品位置调节组件，所述样品位置调节组件用于放置样品并调节样品的位置。
15、如上所述，本专利技术的光路调节装置、方法、及样品试验系统，具有以下有益效果：
16、本专利技术涉及的光路调节装置、方法、及样品试验系统，设置有波带片及级敷筛选孔，光路经过波带片及级敷筛选孔后，可以得到尽可能小的聚焦光斑，聚焦光斑定位在样品上，进行光电转换，从而能够实现优于200nm的最高空间分辨率。设置有波带片位移调节组件、以及级敷筛选孔位移调节组件，使波带片、级敷筛选孔具有三个自由度方向上的位置调节，并通过程序控制实现三个自由度方向上的超高精度运动，实现对光路的调节，实现基于同步辐射光源的相干光的聚焦，同时保证级敷筛选孔足够靠近样品，并且使经过波带片后的一级聚焦光的焦点处于样品附近，达到最小光斑的要求。波带片以及中心光阑对光路进行聚焦以及强光遮挡，级敷筛选孔对除一阶聚焦光之外的聚焦光进行遮挡，确保只有一阶聚焦光到达样品。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光路调节装置，包括聚光组件(6)，所述聚光组件(6)包括波带片(60)；其特征在于：还包括支撑底座(1)、级敷筛选孔部件(7)、波带片位移调节组件(2)、以及级敷筛选孔位移调节组件(3)，所述波带片(60)设置在波带片位移调节组件(2)上，所述级敷筛选孔部件(7)设置在级敷筛选孔位移调节组件(3)上，所述波带片位移调节组件(2)设置在支撑底座(1)上，用于调节波带片(60)的位置；所述级敷筛选孔位移调节组件(3)设置在支撑底座(1)上，用于调节级敷筛选孔部件(7)的位置；光路(8)途径波带片(60)、级敷筛选孔部件(7)聚焦形成光斑定位在样品上。
2.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于：所述波带片位移调节组件(2)包括第一横向驱动组件(20)、第一纵向驱动组件(21)、以及第一竖向驱动组件(22)，所述第一纵向驱动组件(21)设置在第一横向驱动组件(20)上，所述第一竖向驱动组件(22)设置在第一纵向驱动组件(21)上，所述波带片(60)设置在第一竖向驱动组件(22)上。
3.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于：所述第一竖向驱动
4.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于：所述级敷筛选孔位移调节组件(3)包括第二横向驱动组件(30)、第二纵向驱动组件(31)、以及第二竖向驱动组件(32)，所述第二纵向驱动组件(31)设置在第二横向驱动组件(30)上，所述第二竖向驱动组件(32)设置在第二纵向驱动组件(31)上，所述级敷筛选孔部件(7)设置在第二竖向驱动组件(32)上。
5.根据权利要求4所述的光路调节装置，其特征在于：所述第二竖向驱动组件(32)和第二纵向驱动组件(31)之间还设置有第二转接板(33)，所述第二转接板(33)用于连接第二竖向驱动组件(32)和第二纵向驱动组件(31)。
6.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于：还包括波带片夹载组件(4)，所述波带片夹载组件(4)设置在波带片位移调节组件(2)上，用于夹持波带片(60)；所述波带片夹载组件(4)包括波带片夹载背板(40)、波带片容置槽(41)、以及波带片夹片(42)，所述波带片容置槽(41)固定在波带片夹载背板(40)上，所述波带片夹载背板(40)固定在波带片位移调节组件(2)上，所述波带片(60)通过波带片夹片(42)设置在波带片容置槽(41)中。
7.根据权利要求6所述的光路调节装置，其特征在于：所述聚光组件(6)还包括中心光阑(61)，所述中心光阑(61)设置在波带片(60)远离波带片容置槽(41)的一侧、且通过波带片夹片(42)进行固定；所述波带片夹载背板(40)上还设置有通孔，光路(8)依次通过所述通孔、波带片(60)、中心光阑(61)、级敷筛选孔部件(7)聚焦形成光斑定位在样品上。
8.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于：还包括级敷筛选孔夹持组件(5)，所述级敷筛选孔夹持组件(5)设置在级敷筛选孔位移调节组件(3)上，用于夹持级敷筛选孔部件(7)；所述级敷筛选孔夹持组件(5)包括级敷筛选孔夹载背板(50)、以及级敷筛选孔容置槽(51)，所述级敷筛选孔容置槽(51)设置在级敷筛选孔夹载背板(50)上，所述级敷筛选孔部件(7)设置在级敷筛选孔容置槽(51)中。
9.一种光路调节方法，其特征在于：采用权利要求1-8任一项所述的光路调节装置，步骤如下：
10.一种样品试验系统，其特征在于：包括权利要求1-8任一项所述的光路调节装置，还包括样品位置调节组件(10)，所述样品位置调节组件(10)用于放置样品并调节样品的位置。
...【技术特征摘要】
1.一种光路调节装置，包括聚光组件(6)，所述聚光组件(6)包括波带片(60)；其特征在于：还包括支撑底座(1)、级敷筛选孔部件(7)、波带片位移调节组件(2)、以及级敷筛选孔位移调节组件(3)，所述波带片(60)设置在波带片位移调节组件(2)上，所述级敷筛选孔部件(7)设置在级敷筛选孔位移调节组件(3)上，所述波带片位移调节组件(2)设置在支撑底座(1)上，用于调节波带片(60)的位置；所述级敷筛选孔位移调节组件(3)设置在支撑底座(1)上，用于调节级敷筛选孔部件(7)的位置；光路(8)途径波带片(60)、级敷筛选孔部件(7)聚焦形成光斑定位在样品上。
2.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于：所述波带片位移调节组件(2)包括第一横向驱动组件(20)、第一纵向驱动组件(21)、以及第一竖向驱动组件(22)，所述第一纵向驱动组件(21)设置在第一横向驱动组件(20)上，所述第一竖向驱动组件(22)设置在第一纵向驱动组件(21)上，所述波带片(60)设置在第一竖向驱动组件(22)上。
3.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于：所述第一竖向驱动组件(22)和第一纵向驱动组件(21)之间还设置有第一转接板(23)，所述第一转接板(23)用于连接第一竖向驱动组件(22)和第一纵向驱动组件(21)。
4.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于：所述级敷筛选孔位移调节组件(3)包括第二横向驱动组件(30)、第二纵向驱动组件(31)、以及第二竖向驱动组件(32)，所述第二纵向驱动组件(31)设置在第二横向驱动组件(30)上，所述第二竖向驱动组件(32)设置在第二纵向驱动组件(31)上，所述级敷筛选孔部件(7)设置在第二竖向驱动组件(32)上。
5.根据权利要求4所述的光路调节装置，其特征在于：所述第二竖向驱动组件(32)和第二纵向驱动组件(31...
【专利技术属性】
技术研发人员：王峰，张宗霖，刘芳，王美晓，柳仲楷，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。