【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片加工，更具体地涉及一种芯片除尘设备。
技术介绍
1、在电子行业，晶圆是用于制造集成电路或其它微型器件的半导体材料薄片的统称，也被称为硅片、基片等。晶圆被加工成为集成电路的裸芯片，需要经过众多要求甚高的精密工艺流程。大体上，晶圆的工艺流程在产业界一般被分为前段制程和后段制程。前段制程主要指在晶圆上形成晶体以及为实现晶体形成所采取的一些工艺流程；后段制程主要指的是将已经生成电路的晶圆通过一系列后工艺流程，将晶圆处理成为可以扮演电路功能期间的工艺制程，这些制程包括：晶圆背面研磨亦称为晶圆减薄、晶圆划片、晶圆挑粒等过程将品质良好的裸芯片从晶圆上分离出来进行芯片封装；封装完后就成为能使用的集成电路，在进行芯片加工的过程中，需要对芯片表面上存在的灰尘进行清理，对芯片的表面的灰尘进行清理需要使用到芯片除尘设备，芯片除尘设备是一种能够自动对芯片的表面进行灰尘清理的设备，芯片除尘设备主要由固定组件、清理组件和烘干组件组成，芯片除尘设备具有清理效果好，清理速度快和清理方便等优点。
2、常见的芯片进行灰尘清理之前，需要将芯片固定在清理台上，通常对芯片进行固定都是使用螺栓等工具对芯片进行固定，需要使用特定工具进行操作，而且整个过程十分的麻烦，需要使用到大量的时间。
3、由于芯片的上下表面均存在灰尘，在对芯片进行清理的过程中，需要对芯片进行翻面，但是常见的芯片除尘设备并不能对芯片进行翻转，需要将芯片拆卸下来重新进行安装，过程十分繁琐，不利于对芯片进行灰尘的清理。
4、常见的对芯片进行灰尘进行清理时，都
5、常见的芯片除尘之后，需要人工对除尘产生的灰尘以及清理液进行清理，需要使用到大量的人工进行清理，耗费了大量的人力。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷，本专利技术提供了一种芯片除尘设备，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
2、本专利技术提供如下技术方案：一种芯片除尘设备，包括底座，所述底座的上表面上固定连接有四个支撑杆，所述支撑杆的上端固定连接有顶板，其中位于底座一侧的两侧支撑杆之间固定连接有固定板，所述底座的上方设置有用于固定芯片的定位机构，所述固定板的侧面上设置有用于转动芯片的翻转机构，所述顶板的下表面上设置有用于清理芯片上灰尘的除尘机构，所述底座的上表面上设置有用于收集灰尘的收集机构；
3、所述定位机构包括设置在底座上方的定位板，所述定位板的上表面上设置有定位槽，所述定位槽的左右侧壁上设置有两个移动槽，所述定位槽的侧壁上滑动连接有两个夹板，每个所述移动槽的侧壁上固定连接有多个弹簧，所述弹簧的另一端与夹板的一端固定连接。
4、进一步的，所述定位板位于底座与顶板之间，所述定位槽贯穿定位板的上下表面。
5、进一步的，所述翻转机构包括固定连在固定板侧面上的支撑台，所述支撑台的上表面上安装有电机，所述电机的输出轴末端固定连接有旋转杆，所述旋转杆远离电机的一端贯穿固定板并与定位板的侧壁固定连接。
6、进一步的，所述定位板与固定板处于同一高度，所述旋转杆贯穿固定板并与固定板转动连接。
7、进一步的，所述除尘机构包括固定连接在底座上表面上的支撑板，所述支撑板的侧面上固定连接有气泵，所述气泵的进气端固定连接有进气管，所述气泵的出气端固定连接有出气管，所述顶板的下表面上设置有滑动槽，所述滑动槽的侧面上安装有导管，所述出气管远离气泵的一端贯穿顶板并设置有存放槽，所述存放槽与滑动槽连通，所述导管的一端延伸至存放槽内部，所述滑动槽的顶端滑动连接有滑动块，所述滑动块的下表面上固定连接有输气管，所述导管远离存放槽的一端与输气管的上端连通。
8、进一步的，所述导管为柔性管，所述导管与存放槽适配，所述出气管呈l型结构设置。
9、进一步的，所述收集机构包括设置在底座上表面上的收集槽，所述收集槽的下表面上设置有收集孔，所述收集孔的侧壁上设置有储存槽，所述储存槽的内部滑动连接有推动板，所述推动板的上表面上固定连接有推动块，所述收集槽的侧壁上固定连接有防尘网。
10、进一步的，所述进气管的下端贯穿底座并与收集槽连通，所述防尘网固定连接在收集槽靠近进气管的侧壁上，所述防尘网由上设置有多个气孔。
11、本专利技术的技术效果和优点：
12、1.本专利技术通过设有定位机构，有利于对需要进行除尘的芯片进行固定，无需使用螺栓的工具进行固定，无需使用特定工具即可将芯片进行固定和方便，简单方便。
13、2.本专利技术通过设有翻转机构，有利于将芯片进行翻转，使得可以对芯片进行全面的清理，无需将芯片拆卸并重新安装，操作更加简单。
14、3.本专利技术通过设有除尘机构，有利于无需将芯片放置到清理液中进行灰尘的清理，无需后续对芯片的表面上残留的清理液进行烘干，简化了芯片除尘的工序，节约了大量的时间和资源。
15、4.本专利技术通过设有收集机构，有利于将清理过后的灰尘进行集中收集，无需人工进行收集，全自动进行，简单方便，节约了人力的使用。
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1.一种芯片除尘设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面上固定连接有四个支撑杆(2)，所述支撑杆(2)的上端固定连接有顶板(3)，其中位于底座(1)一侧的两侧支撑杆(2)之间固定连接有固定板(4)，所述底座(1)的上方设置有用于固定芯片的定位机构(5)，所述固定板(4)的侧面上设置有用于转动芯片的翻转机构(6)，所述顶板(3)的下表面上设置有用于清理芯片上灰尘的除尘机构(7)，所述底座(1)的上表面上设置有用于收集灰尘的收集机构(8)；
2.根据权利要求1所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述定位板(501)位于底座(1)与顶板(3)之间，所述定位槽(502)贯穿定位板(501)的上下表面。
3.根据权利要求1所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述翻转机构(6)包括固定连在固定板(4)侧面上的支撑台(601)，所述支撑台(601)的上表面上安装有电机(602)，所述电机(602)的输出轴末端固定连接有旋转杆(603)，所述旋转杆(603)远离电机(602)的一端贯穿固定板(4)并与定位板(501)的侧壁固定连接。
4.根据权
5.根据权利要求1所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述除尘机构(7)包括固定连接在底座(1)上表面上的支撑板(701)，所述支撑板(701)的侧面上固定连接有气泵(702)，所述气泵(702)的进气端固定连接有进气管(703)，所述气泵(702)的出气端固定连接有出气管(704)，所述顶板(3)的下表面上设置有滑动槽(705)，所述滑动槽(705)的侧面上安装有导管(706)，所述出气管(704)远离气泵(702)的一端贯穿顶板(3)并设置有存放槽(709)，所述存放槽(709)与滑动槽(705)连通，所述导管(706)的一端延伸至存放槽(709)内部，所述滑动槽(705)的顶端滑动连接有滑动块(707)，所述滑动块(707)的下表面上固定连接有输气管(708)，所述导管(706)远离存放槽(709)的一端与输气管(708)的上端连通。
6.根据权利要求5所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述导管(706)为柔性管，所述导管(706)与存放槽(709)适配，所述出气管(704)呈L型结构设置。
7.根据权利要求5所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述收集机构(8)包括设置在底座(1)上表面上的收集槽(801)，所述收集槽(801)的下表面上设置有收集孔，所述收集孔的侧壁上设置有储存槽(805)，所述储存槽(805)的内部滑动连接有推动板(802)，所述推动板(802)的上表面上固定连接有推动块(804)，所述收集槽(801)的侧壁上固定连接有防尘网(803)。
8.根据权利要求7所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述进气管(703)的下端贯穿底座(1)并与收集槽(801)连通，所述防尘网(803)固定连接在收集槽(801)靠近进气管(703)的侧壁上，所述防尘网(803)由上设置有多个气孔。
...【技术特征摘要】
1.一种芯片除尘设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面上固定连接有四个支撑杆(2)，所述支撑杆(2)的上端固定连接有顶板(3)，其中位于底座(1)一侧的两侧支撑杆(2)之间固定连接有固定板(4)，所述底座(1)的上方设置有用于固定芯片的定位机构(5)，所述固定板(4)的侧面上设置有用于转动芯片的翻转机构(6)，所述顶板(3)的下表面上设置有用于清理芯片上灰尘的除尘机构(7)，所述底座(1)的上表面上设置有用于收集灰尘的收集机构(8)；
2.根据权利要求1所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述定位板(501)位于底座(1)与顶板(3)之间，所述定位槽(502)贯穿定位板(501)的上下表面。
3.根据权利要求1所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述翻转机构(6)包括固定连在固定板(4)侧面上的支撑台(601)，所述支撑台(601)的上表面上安装有电机(602)，所述电机(602)的输出轴末端固定连接有旋转杆(603)，所述旋转杆(603)远离电机(602)的一端贯穿固定板(4)并与定位板(501)的侧壁固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述定位板(501)与固定板(4)处于同一高度，所述旋转杆(603)贯穿固定板(4)并与固定板(4)转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种芯片除尘设备，其特征在于：所述除尘机构(7)包括固定连接在底座(1)上表面上的支撑板(701)，所述支撑板(701)的侧面上固定连接有气泵(702)，所述气泵(702)的进...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐毅，桑柳波，李易英，章梦圆，周霖，
申请(专利权)人：中科广化重庆新材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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