激光加工装置和激光加工方法制造方法及图纸

技术编号:4122910 阅读:161 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具有激光光源(10)、空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。控制部(22)在被存储部(21A)存储的多个基本全息图中,选择与加工对象物(91)中的整体加工图案所包含的各基本加工图案相对应的基本全息图;针对该选择的各基本全息图,当设输入到空间光调制器(20)的基本全息图的显示区域中的激光的强度为I,设基本全息图中的激光的衍射效率为η,设与基本全息图相对应的基本加工图案中的聚光点数为n时,以使“Iη/n”的值的偏差变小的方式确定空间光调制器(20)中的基本全息图的显示区域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通过向加工对象物照射激光而对该加工对象物进行加 工的装置以及方法。
技术介绍
目前,在例如罐等上刻印制造年月日或序号时, 一直使用例如油 墨。然而,在使用油墨的情况下,存在油墨的剥落或对环境的污染这 样的问题。作为解决这些问题的方法,利用激光加工进行标记正在受 到关注。激光标记是,通过聚光照射激光而在罐等加工对象物上开微 孔从而刻印英文数字等。作为激光标记的加工方法,通常为以下任一种方法,即,使用一 束激光束一个一个地加工圆点,或对扩展的激光配置强度掩模而进行 总括地加工。然而,在前者的情况下,由于一个点一个点地进行加工,因此存在费时的问题;而在后者的情况下,由于被强度掩模遮蔽的激 光对加工没有贡献,因此存在光量损失较大的问题。作为解决这些问题的方法,开始考虑使用相位调制型的空间光调 制器的方法。即,在相位调制型的空间光调制器中显示全息图,将输 入该空间光调制器的激光按照每个像素进行相位调制,利用聚光光学 系统将该相位调制后的激光进行傅里叶变换(Fouriertransform),从而 在加工对象物上成像,根据基于该成像的加工图案对加工对象物进行 加工。使空间光调制器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工装置,其特征在于, 是通过向加工对象物照射激光从而以包含两个以上的基本加工图案的整体加工图案总括地对所述加工对象物进行加工的激光加工装置, 具有: 输出激光的激光光源; 相位调制型的空间光调制器,输入从所 述激光光源输出的激光,将分别在2维排列的多个像素上调制所述激光的相位的整体全息图进行显示,并输出该相位调制后的激光; 聚光光学系统,输入从所述空间光调制器输出的激光,并使该激光在所述加工对象物上成像; 存储部,存储分别对应于多个 基本加工图案而应显示于所述空间光调制器中的多个基本全息图;以及 控制部,基于从所述存...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:松本直也福智升央向坂直久井上卓泷口优
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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