【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开大体上涉及叠加计量，且更特定来说，涉及缓解叠加计量中的工具引发的误差。
技术介绍
1、叠加计量提供使用不同图案化工艺制造的特征之间的相对配准(或偏移)的测量。一些叠加计量技术通过照明包含与不同所关注图案化工艺相关联的重叠特征的样本的一部分且收集与所述重叠特征的对称性相关联的数据而确定叠加测量。例如，一些散射测量叠加计量(scol)利用包含样本的重叠区域中的不同层上的与不同图案化工艺相关联的周期性特征的叠加目标。在这种配置中，相反衍射级(例如，+/-1衍射级、+/-2衍射级或类似者)在叠加目标的特征对称时可具有共同振幅且在叠加目标的特征偏移时可在振幅上不同。因此，可基于此对称性数据确定与图案化工艺相关联的叠加测量。然而，此类技术对测量不均匀性敏感，这可显现为叠加测量中的误差且通常被称为工具引发移位(tis)误差。因此，需要开发用于解决上述缺陷的系统及方法。
技术实现思路
1、根据一或多个说明性实施例，公开一种叠加计量系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含用于实施计量配方的控制器。在另...
【技术保护点】
1.一种叠加计量系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个群组包括：
3.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述计量数据包括：
4.根据权利要求3所述的叠加计量系统，其中所述参考度量包括：
5.根据权利要求3所述的叠加计量系统，其中基于所述计量数据产生所述多个叠加目标中的至少一些的所述参考度量包括：
6.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述计量数据包括：
7.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中基于所述计量数据产生所述多个叠加目标中的至少一些的所述参考度量包
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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种叠加计量系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个群组包括：
3.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述计量数据包括：
4.根据权利要求3所述的叠加计量系统，其中所述参考度量包括：
5.根据权利要求3所述的叠加计量系统，其中基于所述计量数据产生所述多个叠加目标中的至少一些的所述参考度量包括：
6.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述计量数据包括：
7.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中基于所述计量数据产生所述多个叠加目标中的至少一些的所述参考度量包括：
8.根据权利要求7所述的叠加计量系统，其中所述一或多个特性包括：
9.根据权利要求7所述的叠加计量系统，其中所述一或多个特性包括：
10.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中基于针对所述多个叠加目标计算的所述参考度量将所述多个叠加目标分类成一或多个群组包括：
11.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述计量数据包括第一计量数据，其中产生用于所述一或多个群组中的特定群组的所述参考图像包括：
12.根据权利要求11所述的叠加计量系统，其中基于所述第二计量数据及来自所述第一计量数据的对应数据产生用于所述特定群组的所述参考图像包括：
13.根据权利要求11所述的叠加计量系统，其中基于所述第二计量数据及所述第一计量数据的对应...
【专利技术属性】
技术研发人员：E·佩莱德，N·科昂，Y·拉姆霍特，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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