具有集成的应力传感器的微机械传感器和用于传感器信号的信号校正的方法技术

本发明专利技术从一种微机械传感器出发，所述微机械传感器具有MEMS衬底(10)并且具有罩衬底(40)，在所述MEMS衬底(10)上在空腔(20)中布置有具有至少一个传感器电极的微机械结构(30)，所述罩衬底布置在所述微机械结构上方并且封闭所述空腔。本发明专利技术的核心在于，在所述罩衬底的内侧上布置有电容电极(21)，所述电容电极与在所述MEMS衬底上的相邻的微机械结构元件(31)一起形成测量电容，用于测量在所述电容电极与所述微机械结构元件之间的间距(51)。本发明专利技术还涉及一种用于这样的微机械传感器的传感器信号的信号校正的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术从一种微机械传感器出发，所述微机械传感器具有mems衬底并且具有罩衬底(kappensubstrat)，在所述mems衬底上在空腔中布置有具有至少一个传感器电极的微机械结构，所述罩衬底布置在所述微机械结构上方并且封闭所述空腔。

技术介绍

1、用于测量加速度和转速的微机械惯性传感器针对汽车领域和消费品领域中的不同应用已在批量生产中制造。对于具有垂直于晶片平面的探测方向(z方向)的电容式加速度传感器，由rb优选使用“摆杆(wippen)”。这些摆杆的传感器原理基于弹簧质量系统，在该弹簧质量系统中，在最简单的情况下，可运动的振动质量与固定在衬底上的两个对应电极一起形成两个板式电容器。振动质量经由至少一个(出于对称性原因通常两个)扭转弹簧与衬垫连接。如果质量结构在扭转弹簧的两侧上的大小不同，则在z加速度起作用时，质量结构相对于作为转动轴线的扭转弹簧转动。因此，电极的间距在具有较大的质量的侧上比在另一侧上大。电容变化是用于起作用的加速度的量度。这些加速度传感器在许多出版物中描述，例如在ep0244581和ep0773443 b1中。p>

2、在z加本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机械传感器，所述微机械传感器具有MEMS衬底(10)并且具有罩衬底(40)，在所述MEMS衬底(10)上在空腔(20)中布置有具有至少一个传感器电极的微机械结构(30)，所述罩衬底布置在所述微机械结构上方并且封闭所述空腔，

2.根据权利要求1所述的微机械传感器，其特征在于，所述罩衬底(40)是半导体衬底，所述半导体衬底尤其具有集成电路。

3.根据权利要求1或2所述的微机械传感器，其特征在于，所述微机械结构元件(31)以不能够运动的方式构型。

4.根据上述权利要求中任一项所述的微机械传感器，其特征在于，在所述罩衬底(40)的内侧上布置有另外的电...

【技术特征摘要】

1.一种微机械传感器，所述微机械传感器具有mems衬底(10)并且具有罩衬底(40)，在所述mems衬底(10)上在空腔(20)中布置有具有至少一个传感器电极的微机械结构(30)，所述罩衬底布置在所述微机械结构上方并且封闭所述空腔，

2.根据权利要求1所述的微机械传感器，其特征在于，所述罩衬底(40)是半导体衬底，所述半导体衬底尤其具有集成电路。

3.根据权利要求1或2所述的微机械传感器，其特征在于，所述微机械结构元件(31)以不能够运动的方式构型。

4.根据上述权利要求中任一项所述的微机械传感器，其特征在于，在所述罩衬底(40)的内侧上布置有另外的电容电极(22)，所述另外的电容电极与另外的相邻的微机械结构元件(32)一起形成另外的测量电容，用于测量在所述另外的电容电极与所述另外的微机械结构元件之间的另外的间距(52)。

5.根据上述权利要求中任一项所述的微机械传感器，其特征在于，所述微机械设备是z加速度传感器，其中，所述相邻的微机械结构元件(31)是用于测量加速度...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·克拉森，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：