【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光加工方法领域，尤其涉及一种高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统及方法。
技术介绍
1、以硬脆材料为代表的高性能难加工材料在航空航天、能源动力、半导体等领域应用广泛。目前，硬脆材料常规激光抛光属于非接触式加工，无切削力作用，且加工过程中可以实现机械运动与振镜高速扫描相结合的高速加工，是一种有效的高精度加工方法，但激光加工精度、表面质量存在一定的工艺极限，且加工精度与效率存在交互制约关系。
2、可以采用高能量密度提高材料去除率，但同时热量累积易产生热影响区、重铸层，导致材料发生损伤，加工表面质量、精度的提升存在困难，难以实现高质量加工；当采用匹配与材料损伤阈值的激光能量密度加工时，结合工艺优化，一定程度上可以控制表面加工精度、质量在理想状态，但材料去除率的提升受到明显限制，无法实现高效加工。
3、基于此，本申请提供了高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统及方法。
技术实现思路
1、本申请的目的是满足对难加工材料工件的高效、精密加工的需求，提供了一种实现高...
【技术保护点】
1.一种高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，用于对工件的非接触加工，所述复合加工系统包括：
2.根据权利要求1所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，所述超短脉冲激光是利用激光能量密度调控后得到的；
3.根据权利要求2所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，所述超短脉冲激光是以飞秒激光为代表的超快激光。
4.根据权利要求1所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，所述高功率激光设备包括：
5.根据权利要求1所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其...
【技术特征摘要】
1.一种高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，用于对工件的非接触加工，所述复合加工系统包括：
2.根据权利要求1所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，所述超短脉冲激光是利用激光能量密度调控后得到的；
3.根据权利要求2所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，所述超短脉冲激光是以飞秒激光为代表的超快激光。
4.根据权利要求1所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，所述高功率激光设备包括：
5.根据权利要求1所述的高功率激光与超短脉冲激光的复合加工系统，其特征在于，还包括：
6.一种高功率激光与超短脉冲激光的复合加工方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓晓，沈顺泉，张文武，姚松柏，杨昆，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：
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