一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构制造技术

技术编号:41187368 阅读:25 留言:0更新日期:2024-05-07 22:19
本技术公开了一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,涉及晶体生长炉技术领域,包括支撑杆,所述支撑杆的底端固定连接有支撑板,所述支撑板的顶端阵列开设有数个滑槽,所述滑槽的内部均滑动连接有滑块,所述支撑杆的外侧活动连接有扩张机构,所述扩张机构与滑块的顶端活动连接,所述滑块的顶端固定连接有延伸板。本技术通过设置的夹持机构,启动伺服电机,带动夹板一沿着直线导轨向夹板二靠近,以缩短夹板一和夹板二之间的距离,接着利用夹板一和夹板二将坩埚的边缘夹住,以此方便对不同尺寸和厚度的坩埚进行夹持,并且微齿能增强夹持的稳定性,避免坩埚抬升的过程中发生掉落。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体生长炉,具体是一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构


技术介绍

1、随着技术的发展,通过晶体生长炉能够进行人工晶体的合成,例如把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长。

2、现有技术中,在晶体生长炉使用后,原材料会部分沾粘于坩埚的内壁上,若不及时清理,则会导致原材料混入下次的晶体中,从而影响晶体的质量,但是晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度,且散热较慢,不易拆卸取出,为此,需要一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构来解决现有的不足。

3、所以,现有技术的技术问题在于:晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度,且散热较慢,不易拆卸取出。


技术实现思路

1、解决的技术问题

2、本技术的目的就是为了解决了现有技术中,晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度,且散热较慢,不易拆卸取出的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,包括支撑杆(1),其特征在于:所述支撑杆(1)的底端固定连接有支撑板(2),所述支撑板(2)的顶端阵列开设有数个滑槽(3),所述滑槽(3)的内部均滑动连接有滑块(4),所述支撑杆(1)的外侧活动连接有扩张机构(5),所述扩张机构(5)与滑块(4)的顶端活动连接,所述滑块(4)的顶端固定连接有延伸板(6),且延伸板(6)的前端固定连接有夹持机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述扩张机构(5)包括电动推杆(501)、套环(502)和连杆(503),所述支撑杆(1)的外侧套设有套环(502),且...

【技术特征摘要】

1.一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,包括支撑杆(1),其特征在于:所述支撑杆(1)的底端固定连接有支撑板(2),所述支撑板(2)的顶端阵列开设有数个滑槽(3),所述滑槽(3)的内部均滑动连接有滑块(4),所述支撑杆(1)的外侧活动连接有扩张机构(5),所述扩张机构(5)与滑块(4)的顶端活动连接,所述滑块(4)的顶端固定连接有延伸板(6),且延伸板(6)的前端固定连接有夹持机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述扩张机构(5)包括电动推杆(501)、套环(502)和连杆(503),所述支撑杆(1)的外侧套设有套环(502),且套环(502)与支撑杆(1)活动连接,所述电动推杆(501)的顶端固定连接于支撑杆(1)的外壁,且支撑杆(1)的伸缩端固定连接于套环(502)的顶端,所述连杆(503)数量为多个且阵列分布于套环(502)的外周侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述套环(502)的外周侧阵列开设有数个连接槽(8),且连接槽(8)的数量和连杆(503)的数量一致。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述连杆(503)的顶端均通过连轴活动连接于连接槽(8)的内部,且连杆(503)的底端铰接于滑块(4)的顶端。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述夹持机构(7)包括夹板一(701)、夹板二(702)、螺纹杆(703)和伺服电机(704),所述夹板...

【专利技术属性】
技术研发人员:李勇曹国峰
申请(专利权)人:宁夏晶创智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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