【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体生长炉,具体是一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构。
技术介绍
1、随着技术的发展,通过晶体生长炉能够进行人工晶体的合成,例如把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长。
2、现有技术中,在晶体生长炉使用后,原材料会部分沾粘于坩埚的内壁上,若不及时清理,则会导致原材料混入下次的晶体中,从而影响晶体的质量,但是晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度,且散热较慢,不易拆卸取出,为此,需要一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构来解决现有的不足。
3、所以,现有技术的技术问题在于:晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度,且散热较慢,不易拆卸取出。
技术实现思路
1、解决的技术问题
2、本技术的目的就是为了解决了现有技术中,晶体制备完成后的坩埚仍具有较高的温度,且散热较慢
...【技术保护点】
1.一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,包括支撑杆(1),其特征在于:所述支撑杆(1)的底端固定连接有支撑板(2),所述支撑板(2)的顶端阵列开设有数个滑槽(3),所述滑槽(3)的内部均滑动连接有滑块(4),所述支撑杆(1)的外侧活动连接有扩张机构(5),所述扩张机构(5)与滑块(4)的顶端活动连接,所述滑块(4)的顶端固定连接有延伸板(6),且延伸板(6)的前端固定连接有夹持机构(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述扩张机构(5)包括电动推杆(501)、套环(502)和连杆(503),所述支撑杆(1)的外侧套设
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,包括支撑杆(1),其特征在于:所述支撑杆(1)的底端固定连接有支撑板(2),所述支撑板(2)的顶端阵列开设有数个滑槽(3),所述滑槽(3)的内部均滑动连接有滑块(4),所述支撑杆(1)的外侧活动连接有扩张机构(5),所述扩张机构(5)与滑块(4)的顶端活动连接,所述滑块(4)的顶端固定连接有延伸板(6),且延伸板(6)的前端固定连接有夹持机构(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述扩张机构(5)包括电动推杆(501)、套环(502)和连杆(503),所述支撑杆(1)的外侧套设有套环(502),且套环(502)与支撑杆(1)活动连接,所述电动推杆(501)的顶端固定连接于支撑杆(1)的外壁,且支撑杆(1)的伸缩端固定连接于套环(502)的顶端,所述连杆(503)数量为多个且阵列分布于套环(502)的外周侧。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述套环(502)的外周侧阵列开设有数个连接槽(8),且连接槽(8)的数量和连杆(503)的数量一致。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述连杆(503)的顶端均通过连轴活动连接于连接槽(8)的内部,且连杆(503)的底端铰接于滑块(4)的顶端。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构,其特征在于:所述夹持机构(7)包括夹板一(701)、夹板二(702)、螺纹杆(703)和伺服电机(704),所述夹板...
【专利技术属性】
技术研发人员:李勇,曹国峰,
申请(专利权)人:宁夏晶创智能装备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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