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基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器制造技术

技术编号:41180528 阅读:20 留言:0更新日期:2024-05-07 22:15
本发明专利技术公开一种基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,属于激光技术领域,包括半导体激光二极管、准直透镜、干涉滤光片、偏振分束立方体、压电陶瓷和角锥外腔反射镜,干涉滤光片滤光后一部分透射到角锥外腔反射镜上后平行返回经过偏振分束立方体,并与半导体激光二极管产生共振形成激光,另一部分从侧面输出,作为激光器输出激光;或者包括半导体激光二极管、准直透镜、布鲁斯特窗口片、干涉滤光片、压电陶瓷和角锥外腔反射镜,布鲁斯特窗口片和干涉滤光片粘合一体实现分光和滤光。本激光器具有结构简单、窄线宽、可调谐、光电转换效率高等优势,同时小型化后的激光器结构具有高机械稳定性,对环境要求较低,具有较好的实用性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体激光器领域,更具体地涉及基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器


技术介绍

1、与传统的激光器相比,半导体激光器具有体积小、结构简单、使用寿命长、光电转换效率高及稳定性高等优点,其线宽一般在10-100mhz左右。目前已广泛应用于医疗、通信、交通等领域。而对于基础研究,例如高分辨率光谱、激光冷却、原子频标等,激光线宽仍不能满足应用要求。由肖洛汤斯线宽公式,激光器腔长越大,激光的本征线宽越窄。由于半导体激光器的腔长比气体激光器的腔长普遍短很多,导致半导体激光器输出线宽较大。因此通过利用外腔光反馈方法,加外腔等效于增加腔长,并且引入光反馈增强受激辐射从而抑制自发辐射,可以实现几十倍的激光线宽压窄。常见的外腔半导体激光器有littrow型和littman型光栅外腔半导体激光器,猫眼式外腔半导体激光器等,具有稳定、可靠且价格便宜、输出窄线宽激光的同时还可实现激光频率的连续大范围调谐等优势。

2、目前现有外腔半导体激光器普遍采用平面镜反馈,微小的位移就会引起引起反馈光的路径发生改变,影响外腔光反馈的效率甚至导致外腔失效,使激光本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,

2.如权利要求1所述的基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,角锥外腔反射镜与压电陶瓷粘合形成一体化器件,通过控制压电陶瓷电压实现腔长调节,从而微调激光器输出波长。

3.如权利要求2所述的基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,角锥外腔反射镜的长度为0.5或1英寸,反射面镀上对激光中心波长高反射率膜。

4.如权利要求1所述的基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,角锥外腔反射镜为单角锥反射镜或基于微加工工艺的角锥阵列反射镜,...

【技术特征摘要】

1.一种基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,

2.如权利要求1所述的基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,角锥外腔反射镜与压电陶瓷粘合形成一体化器件,通过控制压电陶瓷电压实现腔长调节,从而微调激光器输出波长。

3.如权利要求2所述的基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,角锥外腔反射镜的长度为0.5或1英寸,反射面镀上对激光中心波长高反射率膜。

4.如权利要求1所述的基于微加工器件和工艺的量子领域专用窄线宽激光器,其特征在于,角锥外腔反射镜为单角锥反射镜或基于微加工工艺的角锥阵列反射镜,角锥阵列反射镜单个角锥的底面边长为微米量级。

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【专利技术属性】
技术研发人员:陈景标高勋史田田王玮
申请(专利权)人:北京大学
类型:发明
国别省市:

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