【技术实现步骤摘要】
本技术属于显示,具体涉及一种圆柱形tft结构、阵列基板和显示面板。
技术介绍
1、随着科学技术的不断发展,各种各样的显示屏幕不断出现在人们的日常生活中,如led显示屏、lcd显示屏、oled显示屏等。tft电路是各类显示屏中像素控制的核心单元,通过给每个像素设置对应的tft控制电路,进而保证了显示屏中各个像素显示的均匀性。
2、但是,目前传统的tft结构都为平面结构。cn205692837u公开了一种tft结构,涉及显示领域,包括:源极、漏极、栅极,以及有源区;其中所述栅极包括至少一个弯折段,以及与所述弯折段连接的第一分支、第二分支,所述第一分支、所述第二分支分别位于所述弯折段延伸方向的两侧。本技术提供的tft结构通过弯折栅极金属,将一段比较长的栅极金属设计成曲线状,使其收缩在一个比较小的半导体材料面积里来提高晶体管的宽长比,从而在提高晶体管驱动能力的同时节省版图设计空间。
3、但是,现有技术中提供的这种tft结构的宽长比较大,更占布局布线空间,为了发展高分辨和窄边框的显示面板,减小tft的横向设计空间十分必要。
4、因此,开发一种圆柱形tft结构,利用纵向空间实现器件宽度,达到缩小驱动tft横向所需布局空间(layout空间)的作用,是本领域急需解决的技术问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种圆柱形tft结构、阵列基板和显示面板,所述圆柱形tft结构可以有效减少横向布局空间,使得tft器件可以在更小的空间里做到同
2、为达到此技术目的,本技术采用以下技术方案:
3、第一方面,本技术提供一种圆柱形tft结构,所述圆柱形tft结构包括中心栅极;
4、所述中心栅极外设置有绝缘层,所述绝缘层部分包覆所述中心栅极,且使所述中心栅极的两端露出;
5、所述绝缘层外设置有金属层,所述金属层完全包覆住所述绝缘层并与所述中心栅极直接接触;
6、所述金属层外侧两端分别设置有源极和漏极。
7、本技术提供的圆柱形tft结构的整体结构为圆柱形,具体可以垂直放置使用或横向平放使用;包括中心栅极,所述中心栅极外设置有绝缘层,所述绝缘层部分包覆所述中心栅极,使得所述中心栅极的两端露出,便于后续对所述圆柱形tft结构施加电压,所述绝缘层外设置有金属层,所述金属层完全包覆住所述绝缘层,并与所述中心栅极直接接触,便于后续实现电导通,所述绝缘层外层的两端分别设置有源极和漏极,所述源极和漏极同样通过所述导电层实现电导通。
8、本技术圆柱形tft结构具有更宽的器件宽度(定义为圆柱形tft结构的最外层的周长),进而具有更宽的通道,同时还具有更短的器件长度(定义为源极和漏极之间的距离),进而更省layout空间,有利于实现高分辨率及窄边框面板的设计。
9、作为本技术的优选技术方案,所述中心栅极的直径为2000~3000a,例如2100a、2200a、2300a、2400a、2500a、2600a、2700a、2800a或2900a,以及上述点值之间的具体点值,限于篇幅及出于简明的考虑,本技术不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
10、作为本技术的优选技术方案,所述绝缘层为栅氧化层。
11、作为本技术的优选技术方案,所述绝缘层的厚度为1000~2000a,例如1100a、1200a、1300a、1400a、1500a、1600a、1700a、1800a或1900a,以及上述点值之间的具体点值,限于篇幅及出于简明的考虑,本技术不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
12、作为本技术的优选技术方案,所述金属层为钛铝层或铜层。
13、作为本技术的优选技术方案,所述金属层的厚度为2500~8150a,例如2600a、2700a、2800a、2900a、3000a、3500a、4000a、4500a、5000a、5500a、6000a、6500a、7000a、7500a或8000a,以及上述点值之间的具体点值,限于篇幅及出于简明的考虑,本技术不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
14、作为本技术的优选技术方案,所述圆柱形tft结构的周长为2~240μm,例如5μm、10μm、20μm、40μm、60μm、80μm、100μm、120μm、140μm、160μm、180μm、200μm或220μm,以及上述点值之间的具体点值,限于篇幅及出于简明的考虑,本技术不再穷尽列举所述范围包括的具体点值)。
15、作为本技术的优选技术方案,所述源极和漏极之间的距离为2~8μm,例如2.5μm、3μm、3.5μm、4μm、4.5μm、5μm、5.5μm、6μm、6.5μm、7μm或7.5μm,以及上述点值之间的具体点值,限于篇幅及出于简明的考虑,本技术不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
16、对于本技术提供的圆柱形tft结构而言,对于其中中心栅极、源极和漏极不做特殊限制,采用常规tft结构中的中心栅极、源极和漏极即可。
17、同时,本技术对所提供的圆柱形tft结构的制备方法也不做特殊限制,按照常规方法进行制备即可。
18、第二方面,本技术提供一种阵列基板,所述阵列基板包括如第一方面所述的圆柱形tft结构。
19、第三方面,本技术提供一种显示面板,所述显示面板包括如第二方面所述的阵列基板。
20、相对于现有技术,本技术具有以下有益效果:
21、本技术提供的圆柱形tft结构包括中心栅极;所述中心栅极外设置有绝缘层,所述绝缘层部分包覆所述中心栅极,且使所述中心栅极的两端露出;所述绝缘层外设置有金属层,所述金属层完全包覆住所述绝缘层并与所述中心栅极直接接触;所述金属层外侧的两端分别设置有源极和漏极;具有上述圆柱形结构的tft结构具有更宽的器件宽度和更短的器件长度,进而更加节省layout空间,有利于实现高分辨率及窄边框面板的设计。
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1.一种圆柱形TFT结构,其特征在于,所述圆柱形TFT结构包括中心栅极;
2.根据权利要求1所述的圆柱形TFT结构,其特征在于,所述中心栅极的直径为2000~3000A。
3.根据权利要求1所述的圆柱形TFT结构,其特征在于,所述绝缘层为栅氧化层。
4.根据权利要求3所述的圆柱形TFT结构,其特征在于,所述绝缘层的厚度为1000~2000A。
5.根据权利要求1所述的圆柱形TFT结构,其特征在于,所述金属层为钛铝层或铜层。
6.根据权利要求5所述的圆柱形TFT结构,其特征在于,所述金属层的厚度为2500~8150A。
7.根据权利要求1所述的圆柱形TFT结构,其特征在于,所述圆柱形TFT结构的周长为2~240μm。
8.根据权利要求1所述的圆柱形TFT结构,其特征在于,所述源极和漏极之间的距离为2~8μm。
9.一种阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括如权利要求1~8任一项所述的圆柱形TFT结构。
10.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括如权利要求9所述的阵列基板
...【技术特征摘要】
1.一种圆柱形tft结构,其特征在于,所述圆柱形tft结构包括中心栅极;
2.根据权利要求1所述的圆柱形tft结构,其特征在于,所述中心栅极的直径为2000~3000a。
3.根据权利要求1所述的圆柱形tft结构,其特征在于,所述绝缘层为栅氧化层。
4.根据权利要求3所述的圆柱形tft结构,其特征在于,所述绝缘层的厚度为1000~2000a。
5.根据权利要求1所述的圆柱形tft结构,其特征在于,所述金属层为钛铝层或铜层。
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:段丹妮,杨正杰,眭佳星,郭贝贝,
申请(专利权)人:上海和辉光电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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