一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统及仿真方法技术方案

本发明专利技术涉及八氟环丁烷技术领域，具体涉及一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产的方法，包括一级重组分分离塔、二级重组分分离塔、轻组分分离塔及三级重组分分离塔；一级重组分分离塔，其塔顶与二级重组分分离塔相连；二级重组分分离塔，其塔顶与轻组分分离塔相连，塔釜通过塔釜泵与一级重组分分离塔相连；轻组分分离塔，其塔釜通过塔釜泵采出至三级重组分分离塔；三级重组分分离塔，其塔顶采出气相高品质八氟环丁烷，塔釜通过塔釜泵采出液相一等品八氟环丁烷。本发明专利技术通过采用Aspen计算机模拟技术，对C318精馏塔塔板高度、物料进料速率、精馏温度、压力等系列参数进行模拟仿真分析，确定最优精馏条件，为工业化精馏提供技术基础。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及氟化工技术应用，具体涉及一种基于aspen构建的八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统及仿真方法。

技术介绍

1、八氟环丁烷(简称c318)化学性能稳定、无毒无害、温室效应潜能(gwp)值低、消耗臭氧指数(odp)值为零，是一种绿色环保型特种气体。高纯八氟环丁烷在制冷剂行业用作cfcs制冷剂替代物、在电子半导体行业作为清洗剂、蚀刻剂等使用。它可以除去氧化硅、氮化硅等薄膜材料，从而实现半导体薄膜材料的刻蚀，同时除去在薄膜形成期间沉积在腔室内的薄膜原料。

2、近年来，随着电子或电气元件性能更高、尺寸更小，半导体器件刻蚀精度要求越来越高，对刻蚀气体的纯度要求也越来越高。而作为清洁气体使用时，八氟环丁烷中含有的微量杂质能使具有高密度集成电路的产品产生缺陷。因此，应用于大规模集成电路的高纯八氟环丁烷纯度要求大于99.999％。目前存在杂质分离难的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种基于aspen构建的八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统及仿真方法，其能有效解决现有技术存在的上述问本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统，其特征在于，所述一级重组分分离塔，其塔釜温度55-65℃，塔顶温度45-54℃，塔顶压力控制500-850KPa，压差25-35KPa；

3.根据权利要求1所述的一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产的方法，其特征在于，一级重组分分离塔、二级重组分分离塔、轻组分分离塔及三级重组分分离塔，其进出料均采用调节阀根据设定值自动控制，稳定进出料流量；塔釜均采用热负荷与热水流量串级控制，稳定热负荷；塔顶均采用调节阀根据设定值自动控制，稳定5℃水冷负荷；<...

【技术特征摘要】

1.一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统，其特征在于，所述一级重组分分离塔，其塔釜温度55-65℃，塔顶温度45-54℃，塔顶压力控制500-850kpa，压差25-35kpa；

3.根据权利要求1所述的一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产的方法，其特征在于，一级重组分分离塔、二级重组分分离塔、轻组分分离塔及三级重组分分离塔，其进出料均采用调节阀根据设定值自动控制，稳定进出料流量；塔釜均采用热负荷与热水流量串级控制，稳定热负荷；塔顶均采用调节阀根据设定值自动控制，稳定5℃水冷负荷；

4.根据权利要求1所述的一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统，其特征在于，其还包括粗品八氟环丁烷槽，上游粗品八氟环丁烷存储在粗品八氟环丁烷槽中，通过塔釜泵与一级重组分分离塔相连。

6.根据权利要求1所述的一种八氟环丁烷高效分离及连续化生产系统，其特征在于，其还包括高品...

【专利技术属性】
技术研发人员：巫国雄，余国军，凌永洪，孟庆文，张国立，丁儒，严丰，田仁平，李维，祝君，
申请(专利权)人：浙江巨圣氟化学有限公司，
类型：发明
国别省市：