一种双模态三维显微成像系统及成像方法技术方案

本发明专利技术公开了一种双模态三维显微成像系统及成像方法，该显微成像系统，一方面通过将激光发生装置产生的部分泵浦光聚焦到样品表面，以生成烧蚀结构，另一方面，将激光发生装置产生的另一部分泵浦光作经过光程调节后分成一束探测光和一束参考光，探测光接收探测光和参考光发生干涉后产生的包含样品表面形貌信息的干涉图像。本实施例所公开的显微成像系统及成像方法，可以获取到不同时刻下的样品表面烧蚀结构的干涉图像，克服了仅对表面反射率成像面临的信息获取不足的问题，并且样品表面烧蚀结构的干涉图像具有更全的烧蚀过程信息，因此可以实现对超快动态过程的更准确控制，提高控制准确精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显微成像，尤其涉及的是一种双模态三维显微成像系统及成像方法。

技术介绍

1、目前，对超快激光烧蚀过程的研究主要通过泵浦-探测显微镜进行研究。这种技术具有超快的时间分辨率和微观的空间分辨率，通过调节延迟时间，在不同时间间隔捕捉照射后反射表面的图像。然而，激光与材料相互作用的动态变化不仅会引起光学特性的变化，还会导致三维表面的地形演变。除了时空分辨率不足外，所有这些技术都只能测量反射率图进行分析，而不能对表面三维结构进行成像，这限制了传统泵浦-探测显微镜在研究超快成像领域中的应用。

2、因此，现有技术中的方法需要进一步的改进。

技术实现思路

1、鉴于上述相关技术中的不足之处，本专利技术的目的在于提供一种双模态三维显微成像系统及成像方法，克服现有技术中超快激光烧蚀过程中只能根据测量反射率图进行分析，不能对表面三维结构成像，因信息分析不全面而导致的测量结果准确性低的缺陷。

2、本专利技术解决技术问题所采用的技术方案如下：

3、第一方面，本实施例公开了一种双模态三维显微本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双模态三维显微成像系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述激光发生装置包括：激光器和非线性晶体；

3.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述第一分光元件为第一二向色镜。

4.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述系统还包括：设置在第一泵浦光的光路上的开关及控制装置，所述开关及控制装置用于控制单次经过的第一泵浦光中的激光脉冲个数。

5.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述系统还包括：承载装置及位移台；

6....

【技术特征摘要】

1.一种双模态三维显微成像系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述激光发生装置包括：激光器和非线性晶体；

3.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述第一分光元件为第一二向色镜。

4.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述系统还包括：设置在第一泵浦光的光路上的开关及控制装置，所述开关及控制装置用于控制单次经过的第一泵浦光中的激光脉冲个数。

5.根据权利要求1所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述系统还包括：承载装置及位移台；

6.根据权利要求4所述的双模态三维显微成像系统，其特征在于，所述开关及控制装置包括光电开关和用于控制光电开关开闭时间的第一控制装置；其...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦芊屹，倪洁蕾，张柯，张聿全，闵长俊，袁小聪，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：发明
国别省市：