一种测试多层压电致动器负载下位移输出的改进装置制造方法及图纸

技术编号:41139974 阅读:28 留言:0更新日期:2024-04-30 18:10
本技术公开了一种测试多层压电致动器负载下位移输出的改进装置,属于元器件测试检测技术领域。该改进装置包括:平台盖板和平台底板以及支撑管柱和吊拉轴滚珠,上滑平台、中滑平台和下滑平台均沿着吊拉轴滚珠上下滑移,平台盖板中心螺旋配合螺纹管杆,螺纹管杆下端与上滑平台上平面之间设置蓄力弹簧,上滑平台与中滑平台之间设置有调整垫块;中滑平台的三个侧面均设置有锁紧机构,锁紧机构可拆卸紧固三个位移传感器,中滑平台下平面中心与下滑平台上平面中心之间紧贴着被测驱动器上下两端面,下滑平台上平面抵着位移传感器触头;下滑平台与平台底板之间设置压力传感器。锁紧机构操作便捷、固定可靠,三个位移传感器测量数据更精准。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于元器件测试检测,更具体地,涉及一种测试多层压电致动器负载下位移输出的改进装置


技术介绍

1、多层压电陶瓷致动器是基于压电陶瓷的电致应变效应,由压电陶瓷与金属内电极交替堆叠而成,可以实现电场控制下的高精度位移和应力输出。该微纳致动器具有控制精度高(~nm)、响应速度快(~μs)、输出力大(~30mpa)、线性好、抗电磁干扰等优势,在航空航天光学、半导体制造、生命医疗、汽车零部件等领域有着广泛的用处。

2、输出力和负载下的位移输出是多层压电致动器的关键核心参数;压电驱动器的输出力定义为:当加载一个负载使得驱动器完全不能输出位移即为最大输出力,即需要一个具有无限刚度的负载,但无限刚度的负载并不存在。目前常用的测试输出力的方法为:在未加负载下给压电驱动器输入电压,然后不断增加负载使驱动器的行程回到未加电压时的长度,该负载即为驱动器的最大输出力。

3、关于此参数的测试,国外有相关报道(j. phys. d: appl. phys. 43 (2010)365401,j. am. ceram. soc., 97 [9] 2842–28本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测试多层压电致动器负载下位移输出的改进装置,其特征在于,包括:螺纹管杆(1)、预紧手轮(3)、平台盖板(5)、支撑管柱(6)、蓄力弹簧(12)、上滑平台(13)、调整垫块(14)、中滑平台(15)、位移传感器(16)、锁紧机构(17)、被测驱动器(18)、下滑平台(19)、压力传感器(20)、平台底板(22)和吊拉轴滚珠(27);

2.如权利要求1所述的改进装置,其特征在于,所述平台底板(22)的底部侧边设置垫片凹槽(221),所述平台底板(22)的底部中心为镂空结构(229);

3.如权利要求2所述的改进装置,其特征在于,所述改进装置还包括第一吊拉光轴(...

【技术特征摘要】

1.一种测试多层压电致动器负载下位移输出的改进装置,其特征在于,包括:螺纹管杆(1)、预紧手轮(3)、平台盖板(5)、支撑管柱(6)、蓄力弹簧(12)、上滑平台(13)、调整垫块(14)、中滑平台(15)、位移传感器(16)、锁紧机构(17)、被测驱动器(18)、下滑平台(19)、压力传感器(20)、平台底板(22)和吊拉轴滚珠(27);

2.如权利要求1所述的改进装置,其特征在于,所述平台底板(22)的底部侧边设置垫片凹槽(221),所述平台底板(22)的底部中心为镂空结构(229);

3.如权利要求2所述的改进装置,其特征在于,所述改进装置还包括第一吊拉光轴(26)、拉杆垫圈(28)和拉杆螺母(29),所述平台底板(22)上还设置吊杆底通孔(226)、吊杆底凹台孔(227)和滚珠底凹台孔(228),所述平台盖板(5)上设置吊杆盖通孔(506)、吊杆盖凹台孔(507)和滚珠盖凹台孔(508);

4.如权利要求3所述的改进装置,其特征在于,所述平台底板(22)上还设置撑杆底通孔(223)、撑杆底凹台孔(224)和撑管底凹台孔(225),所述平...

【专利技术属性】
技术研发人员:许皓洋周佳骏熊宇杰范桂芬吕文中
申请(专利权)人:华中科技大学
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1