【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于借助激光束加工工件的激光加工头的间距传感器单元，尤其是一种用于激光加工头的电容式间距测量的间距传感器单元。本专利技术还涉及一种借助激光束加工工件的激光加工头，其包括这种间距传感器单元。
技术介绍
1、为了在激光加工中能够实现最佳的加工质量和最快的加工速度，要求工件与激光加工头之间的间距(例如切割喷嘴与工件之间的间距)保持恒定，因为即使是最小的偏差也会劣化加工质量。因此，例如借助光纤激光器进行激光切割时的重要组成部分就是间距调节。激光加工头，尤其是激光切割头，能够配备有电容式间距传感器单元，用于电容式测量工件与切割喷嘴之间的间距。测得的间距接着能够用于间距调节。间距传感器单元具有导电的切割喷嘴尖端或喷嘴电极(也称为传感器电极)，它与工件一起构成集成在谐振电路中的测量电容器。间距传感器单元能够构造成传感器插件，其能够紧固在激光加工头上，尤其是激光切割头上。优选地，间距传感器单元中用于间距感应或调节的一些电子构件位于传感器插件中，并且因此位于非常靠近喷嘴电极(例如铜喷嘴)的区域中，从而非常接近实际加工或切割过程。然而，激...
【技术保护点】
1.一种用于激光加工头的电容式间距测量的间距传感器单元(100)，其包括：
2.根据权利要求1所述的间距传感器单元(100)，其中，所述外冷却通道(24)和所述内冷却通道(40)在沿所述中心轴线(11)的轴向方向上相互间隔。
3.根据权利要求1或2所述的间距传感器单元(100)，其中，所述冷却通道系统(400)包括至少一个连接通道(28)，所述连接通道将所述内冷却通道(40)和所述外冷却通道(24)相互连接，并沿轴向方向和/或径向方向延伸。
4.根据权利要求3所述的间距传感器单元(100)，其中，所述连接通道(28)的通道区段(28...
【技术特征摘要】
1.一种用于激光加工头的电容式间距测量的间距传感器单元(100)，其包括：
2.根据权利要求1所述的间距传感器单元(100)，其中，所述外冷却通道(24)和所述内冷却通道(40)在沿所述中心轴线(11)的轴向方向上相互间隔。
3.根据权利要求1或2所述的间距传感器单元(100)，其中，所述冷却通道系统(400)包括至少一个连接通道(28)，所述连接通道将所述内冷却通道(40)和所述外冷却通道(24)相互连接，并沿轴向方向和/或径向方向延伸。
4.根据权利要求3所述的间距传感器单元(100)，其中，所述连接通道(28)的通道区段(28.2)沿轴向方向延伸，并沿径向方向布置在所述电子电路(60)和所述中心通道开口(10)之间。
5.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，所述电子电路(60)沿轴向方向和/或径向方向布置在所述外冷却通道(24)和所述内冷却通道(40)之间。
6.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其还包括用于将冷却流体引入到所述冷却通道系统的入口(20)和用于将冷却流体从所述冷却通道系统排出的出口(22)，
7.根据前述权利要求中任一项所述的间距传感器单元(100)，其中，所述间距传感器单元(100)包括：基本上柱形的第一部分(310)，在所述第一部分中布置有所述外冷却通道(24)；和布置在所述第一部分(310)与所述喷嘴电极(12)之间的头部部件(320)，所述头部部件具有比所述第一部分(310)小的半径，并且在所述头部部件中布置有所述内冷却通道(40)。
8.根据权利要求7和权利要求6组合所述的间距传感...
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