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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备的工业领域领域,尤其涉及一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置。
技术介绍
1、热蒸汽从水箱出来后,进入水箱上方叠加的小水箱结构内,在小型腔体内部实现与空气的热交换,混合之后的气体通过送风系统进入设备内部。
2、现有技术缺点
3、1.虽然小型水箱起到聚拢作用,可以减缓混合气体进入设备的时间,但由于送风系统作用,热蒸汽和空气仍然没有充分时间进行热交换,造成两种气体不均匀,导致进入设备的气体本身的湿度、温度会有一定的差异,使得设备温度、湿度控制波动较大。
4、2.由于混合气体通过腔体速度较快,导致进风口温度过高,湿度偏低。
5、需解决的技术问题
6、1.尽可能的使热蒸汽与腔体内的空气进行充分的热交换,使得混合气体的温度、湿度较为均恒,减少混合气体给系统带来的温湿度波动。
7、2.降低进风口混合气体的温度,保障热蒸汽的含水量即相对湿度。
8、为了减少因为空气和热蒸汽的温湿度差异给系统带来的波动,故需要两种气体在有限的时间内充分混合,从而使得到达送风口时,混合气体的温度、湿度相对均匀。
9、由于考虑进风口温度过高,是由于混合气体中热蒸汽的温度导致的,故需要在设备现有参数不变的情况下,降低热蒸汽的温度。
技术实现思路
1、专利技术的目的:为了提供效果更好的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。
2、为
3、一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,该装置包含水箱,水箱上方布置有开口2,
4、其特征在于,该开口2布置有开孔板4,该水箱为出热蒸汽的水箱,开孔板4为钣金隔板,其能够有效控制热蒸气同一时间的气体流出量,并且当热蒸汽遇到钣金预冷后有部分热蒸汽会预冷凝结,降低了上层热蒸汽的温度并且保障了上层热蒸汽的湿度;
5、同一时间进入腔体的热蒸汽体积减少,使得进入腔体的这部分热蒸汽与腔体内的空气混合更加充分、均匀,从而达到让进入设备内部的混合气体的温度、湿度波动变小,整体系统温度、湿度更加稳定的目的。
6、本专利技术进一步技术方案在于,该开口2上方对接着混合腔体,热蒸汽和空气在混合腔体中进行共混。
7、本专利技术进一步技术方案在于,送风系统提供混合运动的动力。
8、本专利技术进一步技术方案在于,送风系统的风机功率能够和混合腔体中的温湿度传感器实现pid联控,即,当热蒸气和空气混合目标温度和湿度接近则维持恒速,如果热蒸气和空气混合目标温度和湿度波动过大则降低送风速度以让热蒸气和空气实现充分混合。
9、本专利技术进一步技术方案在于,混合腔体中布置有温度传感器和湿度传感器。
10、本专利技术进一步技术方案在于,开孔板4上布置有下冷凝滴水凸起5和上导流凸起6,下冷凝滴水凸起5位于开孔板4上的下表面上,上导流凸起6位于开孔板4上的上表面上。
11、本专利技术进一步技术方案在于,开孔板4的每个开孔3均通过倾斜面延伸,实现导流。
12、采用如上技术方案的本专利技术,相对于现有技术有如下有益效果:将开口方式改为钣金隔板方式后,有效控制热蒸气同一时间的气体流出量,并且当热蒸汽遇到钣金预冷后有部分热蒸汽会预冷凝结,降低了上层热蒸汽的温度并且保障了上层热蒸汽的湿度。同一时间进入腔体的热蒸汽体积减少,使得进入腔体的这部分热蒸汽与腔体内的空气混合更加充分、均匀,从而达到让进入设备内部的混合气体的温度、湿度波动变小,整体系统温度、湿度更加稳定的目的。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,该装置包含水箱,水箱上方布置有开口(2),
2.如权利要求1所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,该开口(2)上方对接着混合腔体,热蒸汽和空气在混合腔体中进行共混。
3.如权利要求1所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,送风系统提供混合运动的动力。
4.如权利要求1所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,送风系统的风机功率能够和混合腔体中的温湿度传感器实现PID联控,即,当热蒸气和空气混合目标温度和湿度接近则维持恒速,如果热蒸气和空气混合目标温度和湿度波动过大则降低送风速度以让热蒸气和空气实现充分混合。
5.如权利要求4所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,混合腔体中布置有温度传感器和湿度传感器。
6.如权利要求4所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,开孔板(4)上布置有下冷凝滴水凸起(5)和上导流凸起(6),下冷凝滴水凸起(5)位于开孔板(4)上的下表面上,上导流凸起(6)位于开
7.如权利要求4所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,开孔板(4)的每个开孔(3)均通过倾斜面延伸,实现导流。
...【技术特征摘要】
1.一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,该装置包含水箱,水箱上方布置有开口(2),
2.如权利要求1所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,该开口(2)上方对接着混合腔体,热蒸汽和空气在混合腔体中进行共混。
3.如权利要求1所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,送风系统提供混合运动的动力。
4.如权利要求1所述的一种有效改善恒温恒湿设备湿度精度的装置,其特征在于,送风系统的风机功率能够和混合腔体中的温湿度传感器实现pid联控,即,当热蒸气和空气混合目标温度和湿度接近则维持恒速,如果热蒸气和空气混合目...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢旭朝,李超,郑颖晨,
申请(专利权)人:西安稳能微电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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