掩模件、使用该掩模件的金属被膜的成膜装置和成膜方法制造方法及图纸

提供一种能够形成矩形截面形状的金属被膜(F)的掩模件。掩模件(60)是用于在由电解质膜(13)按压的状态下，通过电解镀在基材(B)的表面形成预定图案的金属被膜(F)的掩模件(60)。在掩模件(60)形成有与预定图案对应的贯通部分(68)。掩模件(60)之中至少与基材(B)接触的掩模部分(65)由弹性材料构成。贯通部分(68)具有扩宽部分(68a)，扩宽部分(68a)随着从与基材(B)接触的部分(68c)沿掩模部分(65)的厚度方向前进而向外侧扩宽，以使得在掩模部分(65)因电解质膜(13)的按压力而发生了弹性变形的状态下，贯通部分(68)的用于形成金属被膜(F)的形成空间(S)的截面形状成为矩形。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及掩模件、使用该掩模件的金属被膜的成膜装置和成膜方法。

技术介绍

1、一直以来，通过电解镀在基材表面析出金属，形成金属被膜(例如专利文献1)。专利文献1中，成膜装置具备收纳镀液的收纳体。在收纳体形成有开口部，开口部由电解质膜密封。成膜装置还具备通过镀液的液压用电解质膜按压基材的按压机构。

2、在此，在基材表面形成有预定图案的金属制基底层的情况下，在利用电解质膜的液压按压基材的状态下，在阳极与基材之间施加电压。由此，能够在基底层上形成预定图案的金属被膜。不过，没有在基材上形成预定图案的基底层的情况下，例如也设想利用专利文献2所示的掩模件。

3、现有技术文献

4、专利文献1：日本特开2016-125087号公报

5、专利文献2：日本特开2016-108586号公报

技术实现思路

1、在此，在形成金属被膜时，掩模件被夹在基材与电解质膜之间。在该状态下，为了确保基材与掩模件的密合性，利用作用有镀液的液压的电解质膜来按压掩模件。但是，如果为了提高掩模件的密合性本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种掩模件，是用于在由电解质膜按压的状态下，通过电解镀在基材的表面形成预定图案的金属被膜的掩模件，

2.根据权利要求1所述的掩模件，所述贯通部分的扩宽部分是以随着从与所述基材接触的部分和与所述电解质膜接触的部分沿所述厚度方向前进而扩宽的方式形成的空间。

3.根据权利要求2所述的掩模件，形成所述扩宽部分的侧壁面是沿所述厚度方向弯曲的凹曲面。

4.根据权利要求1所述的掩模件，所述贯通部分的扩宽部分是以随着从与所述基材接触的部分到与所述电解质膜接触的部分沿所述厚度方向前进而扩宽的方式形成的空间。

5.根据权利要求1所述的掩模件，所述掩模件具备...

【技术特征摘要】

1.一种掩模件，是用于在由电解质膜按压的状态下，通过电解镀在基材的表面形成预定图案的金属被膜的掩模件，

2.根据权利要求1所述的掩模件，所述贯通部分的扩宽部分是以随着从与所述基材接触的部分和与所述电解质膜接触的部分沿所述厚度方向前进而扩宽的方式形成的空间。

3.根据权利要求2所述的掩模件，形成所述扩宽部分的侧壁面是沿所述厚度方向弯曲的凹曲面。

4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：近藤春树，稻垣功二，黑田圭儿，东小园创真，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：