铝制金属加热平台制造技术

技术编号:41121920 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-25 14:11
本技术公开了铝制金属加热平台,包括加热平台、平台后盖、连接法兰、电热管和TC测温传感器,所述加热平台顶部设置有平台后盖,所述平台后盖外侧的下端固定连接有连接底块,所述加热平台内部的下端呈圆形均设置有凹槽,所述平台后盖顶部设置有连接台,所述连接台底部呈圆形均固定连接有定位柱,该加热平台的加热方式是电阻式,电流通过加热管内的电阻丝,产生大量的热量,电阻丝的长度和直径决定了加热器的功率.热量通过加热平台传导给硅片以达到给硅片加热的目的,通过TC测温传感器来实现温度控制和超温的热保护功能,从而有效提高该铝制金属加热平台在对硅片加热期间的温度准确性,进而避免因温度过高而导致硅片的损坏。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于加热设备,具体涉及铝制金属加热平台


技术介绍

1、铝制金属加热平台是一种使用铝金属材料制成的加热底座,常用于实验室、工业和研发等领域,用于加热样品或装置。铝制金属加热平台通常可以通过电阻丝或电热片等加热元件加热,并配备温度控制器,可以实现在一定温度范围内的精确控温。它广泛应用于实验室加热、材料研究、电子元件测试等领域,为实验和研发提供了稳定的加热平台。

2、目前在对硅片实验加热研究过程中,需要用到铝制金属加热品台对硅片进行加热处理,而现有的铝制金属加热平台难以精准的对硅片进行加热,经常会因为温度过高而导致硅片的损坏,并且现有的铝制金属加热平台内部加热效率较慢,从而难以满足人们的使用需求。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供铝制金属加热平台,以解决上述
技术介绍
中提出的目前在对硅片实验加热研究过程中,需要用到铝制金属加热品台对硅片进行加热处理,而现有的铝制金属加热平台难以精准的对硅片进行加热,经常会因为温度过高而导致硅片的损坏,并且现有的铝制金属加热平台内部加热效率较慢,从而难以满足人们的使用需求的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:铝制金属加热平台,包括加热平台、平台后盖、连接法兰、电热管和tc测温传感器,所述加热平台顶部设置有平台后盖,所述平台后盖外侧的下端固定连接有连接底块,所述加热平台内部的下端呈圆形均设置有凹槽,所述平台后盖顶部设置有连接台,所述连接台底部呈圆形均固定连接有定位柱,所述连接台顶部固定连接有第一加热内筒,所述第一加热内筒顶部设置有第二加热内筒,所述第一加热内筒的外侧和第二加热内筒的外侧均设置有外筒,且为滑动连接,所述外筒底部固定连接有连接法兰,所述平台后盖和连接台之间卡合连接有定位块,所述定位块内部分别设置有电热管和tc测温传感器,所述电热管对称设置有两个,所述电热管内部的上端固定连接有电热丝。

3、优选的,所述电热丝采用镍铬电热丝。

4、优选的,所述加热平台采用铝合金材质。

5、优选的,所述加热平台底部固定连接有防滑座,所述tc测温传感器通过定位槽与加热平台卡合连接。

6、优选的,所述平台后盖和连接底块通过螺栓与加热平台固定连接,所述螺栓位于凹槽的内部。

7、优选的,所述连接台和第一加热内筒通过定位柱与平台后盖卡合连接。

8、优选的,所述第二加热内筒和连接法兰通过螺栓与平台后盖固定连接。

9、优选的,所述定位块内部设置有通槽,所述定位块位于tc测温传感器外侧的下端滑动连接,所述tc测温传感器外侧的下端且位于定位块的顶部固定连接有限位块。

10、与现有技术相比,本技术提供了铝制金属加热平台,具备以下有益效果:

11、1、本技术通过设置铝制金属加热平台,在使用时该加热平台的加热方式是电阻式,电流通过加热管内的电阻丝,产生大量的热量,电阻丝的长度和直径决定了加热器的功率.热量通过加热平台传导给硅片以达到给硅片加热的目的,通过tc测温传感器来实现温度控制和超温的热保护功能,从而有效提高该铝制金属加热平台在对硅片加热期间的温度准确性,进而避免因温度过高而导致硅片的损坏;

12、2、本技术通过设置铝制金属加热平台,通过设置的电热丝是使用镍铬电热丝,具有较高的电阻率和耐高温性能,加热速度快等特点,通过设置的加热平台是使用铝合金铸造而成,具有耐高温,高温变形小的优点,保证平台在高温下表面平整能与硅片紧密贴合以提高热传导效率。

13、该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本技术结构科学合理,使用安全方便,为人们提供了很大的帮助。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.铝制金属加热平台,包括加热平台(1)、平台后盖(3)、连接法兰(10)、电热管(15)和TC测温传感器(17),其特征在于:所述加热平台(1)顶部设置有平台后盖(3),所述平台后盖(3)外侧的下端固定连接有连接底块(4),所述加热平台(1)内部的下端呈圆形均设置有凹槽(5),所述平台后盖(3)顶部设置有连接台(6),所述连接台(6)底部呈圆形均固定连接有定位柱(7),所述连接台(6)顶部固定连接有第一加热内筒(8),所述第一加热内筒(8)顶部设置有第二加热内筒(9),所述第一加热内筒(8)的外侧和第二加热内筒(9)的外侧均设置有外筒(19),且为滑动连接,所述外筒(19)底部固定连接有连接法兰(10),所述平台后盖(3)和连接台(6)之间卡合连接有定位块(11),所述定位块(11)内部分别设置有电热管(15)和TC测温传感器(17),所述电热管(15)对称设置有两个,所述电热管(15)内部的上端固定连接有电热丝(16)。

2.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述电热丝(16)采用镍铬电热丝。

3.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述加热平台(1)采用铝合金材质。

4.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述加热平台(1)底部固定连接有防滑座(2),所述TC测温传感器(17)通过定位槽(14)与加热平台(1)卡合连接。

5.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述平台后盖(3)和连接底块(4)通过螺栓与加热平台(1)固定连接,所述螺栓位于凹槽(5)的内部。

6.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述连接台(6)和第一加热内筒(8)通过定位柱(7)与平台后盖(3)卡合连接。

7.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述第二加热内筒(9)和连接法兰(10)通过螺栓与平台后盖(3)固定连接。

8.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述定位块(11)内部设置有通槽(12),所述定位块(11)位于TC测温传感器(17)外侧的下端滑动连接,所述TC测温传感器(17)外侧的下端且位于定位块(11)的顶部固定连接有限位块(18)。

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【技术特征摘要】

1.铝制金属加热平台,包括加热平台(1)、平台后盖(3)、连接法兰(10)、电热管(15)和tc测温传感器(17),其特征在于:所述加热平台(1)顶部设置有平台后盖(3),所述平台后盖(3)外侧的下端固定连接有连接底块(4),所述加热平台(1)内部的下端呈圆形均设置有凹槽(5),所述平台后盖(3)顶部设置有连接台(6),所述连接台(6)底部呈圆形均固定连接有定位柱(7),所述连接台(6)顶部固定连接有第一加热内筒(8),所述第一加热内筒(8)顶部设置有第二加热内筒(9),所述第一加热内筒(8)的外侧和第二加热内筒(9)的外侧均设置有外筒(19),且为滑动连接,所述外筒(19)底部固定连接有连接法兰(10),所述平台后盖(3)和连接台(6)之间卡合连接有定位块(11),所述定位块(11)内部分别设置有电热管(15)和tc测温传感器(17),所述电热管(15)对称设置有两个,所述电热管(15)内部的上端固定连接有电热丝(16)。

2.根据权利要求1所述的铝制金属加热平台,其特征在于:所述电热丝(16)采用镍铬电热丝。

3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:王清
申请(专利权)人:恰科苏州半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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