【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路领域，尤其涉及一种图像传感器及其形成方法。
技术介绍
1、图像传感器是利用像素阵列中光电器件的光电转换功能将感光面上的光像转换为与光像成相应比例关系的电信号，再经过外围电路的处理、存储等，从而记录图像信息。
2、典型的图像传感器阵列主要包括有源像素区和黑色像素区。有源像素区响应于入射光而生成图像信号。黑色像素区通常为在部分像素区域上方形成光学阻挡层，收集无光照情况下的非光学信号，即黑电平信号，可用于校正图像传感器输出信号中的非理想因素，如暗电流。然而，在实际应用中，即使图像传感器置于完全遮黑的环境中，有源像素区的输出信号和黑像素区的黑电平信号也会存在一定的差异，并且这个差异可能会随着曝光时间、增益等条件发生变化，从而导致用于校正有源像素区图像信号的黑电平信号不准确，引起图像偏色，图像效果变差等。
3、相比于传统的前照式图像传感器，背照式图像传感器由于光线不会被金属布线层阻挡，大大提高了光的透过率，使得图像传感器拥有更优异的性能。背照式图像传感器的黑色像素区通常是在入光面和滤光片相关结构之间形...
【技术保护点】
1.一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述黑色像素区的像素单元的感光单元的面积小于所述有源像素区的感光单元的面积。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述有源像素区和所述黑色像素区形成不同的像素结构包括：
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述有源像素区和所述黑色像素区形成不同的像素结构包括：
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述有源像素区和所述黑色像素区形成不同的像素结构还包括：
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第二离...
【技术特征摘要】
1.一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述黑色像素区的像素单元的感光单元的面积小于所述有源像素区的感光单元的面积。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述有源像素区和所述黑色像素区形成不同的像素结构包括：
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述有源像素区和所述黑色像素区形成不同的像素结构包括：
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述有源像素区和所述黑色像素区形成不同的像素结构还包括：
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第二离子掺杂区包裹所述第二沟槽隔离结构的面积大于所述第一离子掺杂区包裹所述第一沟槽隔离结构的面积。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述黑色像素区的像素单元的浮置扩散区的电容值不同于所述有源像素区的浮置扩散区的电容值。
8.如权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，所述图像传感器为背照式图...
【专利技术属性】
技术研发人员：李玮，张浩然，郑展，苏丹丹，秦丰尤，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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