一种区熔炉双导轨移动机构制造技术

本技术公开了一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体，所述腔体顶部固定安装有过渡板，且过渡板顶部两侧的外壁上均布置有X向移动导轨，所述X向移动导轨的上方滑动连接有X向导轨滑块，且X向导轨滑块顶部固定安装有水平设置的夹层固定板，所述夹层固定板顶部两侧的外壁上均布置有Y向直线导轨，且Y向直线导轨的上方滑动连接有Y向导轨滑块，所述Y向导轨滑块的顶部固定安装有提拉框，所述过渡板一侧的外壁上固定安装有X向电动推杆支架，所述提拉框的一侧外壁上固定安装有与X向电动推杆支架相垂直的Y向电动推杆支架。本技术采用X向移动导轨和Y向直线导轨作为导向，两层导轨间增加夹层固定板，极大减小了正压作用导致的机构变形。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及区熔设备，具体涉及一种区熔炉双导轨移动机构。

技术介绍

1、区熔设备上轴x、y向移动依靠mv型导轨导向，而两层导轨间固定仅依靠四个m8螺栓，中间无任何固定及支撑，装配过程预压量无法控制，装配精度纯靠人工把控，在炉腔内正压作用下两层导轨间变形较大且不均匀，进而导致上主轴偏斜，使得固定在上主轴下端的多晶料偏离线圈中心。由于mv型导轨机构移动滑块与密封固定环、o型密封圈间存在滑动摩擦力，再加上正压作用变形，上主轴在x、y向移动过程实际变化与伺服电机位置理论变化量存在较大偏差，同时，还存在漏气风险，维修时费时费力。因此，亟需设计一种区熔炉双导轨移动机构来解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种区熔炉双导轨移动机构，以解决现有技术中的上述不足之处。

2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体，所述腔体顶部固定安装有过渡板，且过渡板顶部两侧的外壁上均布置有x向移动导轨，所述x向移动导轨的上方滑动连接有x向导轨滑块，且x向导轨滑块本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体(1)，其特征在于，所述腔体(1)顶部固定安装有过渡板(3)，且过渡板(3)顶部两侧的外壁上均布置有X向移动导轨(2)，所述X向移动导轨(2)的上方滑动连接有X向导轨滑块(5)，且X向导轨滑块(5)顶部固定安装有水平设置的夹层固定板(6)，所述夹层固定板(6)顶部两侧的外壁上均布置有Y向直线导轨(7)，且Y向直线导轨(7)的上方滑动连接有Y向导轨滑块(8)，所述Y向导轨滑块(8)的顶部固定安装有提拉框(9)，所述过渡板(3)一侧的外壁上固定安装有X向电动推杆支架(18)，所述提拉框(9)的一侧外壁上固定安装有与X向电动推杆支架(18)相垂直的Y向电动...

【技术特征摘要】

1.一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体(1)，其特征在于，所述腔体(1)顶部固定安装有过渡板(3)，且过渡板(3)顶部两侧的外壁上均布置有x向移动导轨(2)，所述x向移动导轨(2)的上方滑动连接有x向导轨滑块(5)，且x向导轨滑块(5)顶部固定安装有水平设置的夹层固定板(6)，所述夹层固定板(6)顶部两侧的外壁上均布置有y向直线导轨(7)，且y向直线导轨(7)的上方滑动连接有y向导轨滑块(8)，所述y向导轨滑块(8)的顶部固定安装有提拉框(9)，所述过渡板(3)一侧的外壁上固定安装有x向电动推杆支架(18)，所述提拉框(9)的一侧外壁上固定安装有与x向电动推杆支架(18)相垂直的y向电动推杆支架(21)，所述x向电动推杆支架(18)和y向电动推杆支架(21)的内部均设置有驱动机构，所述提拉框(9)和夹层固定板(6)的一侧外壁上均固定设置有直线位移传感器一(24)，所述提拉框(9)上方端面的对角处均设置有直线位移传感器二(25)。

2.根据权利要求1所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述过渡板(3)与x向移动导轨(2)、夹层固定板(6)和y向直线导轨(7)之间均设置有偏心导轨压块(4)。

3.根据权利要求1所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述提...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳增可，胡动力，马文龙，李井顺，贾新旺，王人松，
申请(专利权)人：连科半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：