一种区熔炉双导轨移动机构制造技术

本技术公开了一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体，所述腔体顶部固定安装有过渡板，且过渡板顶部两侧的外壁上均布置有X向移动导轨，所述X向移动导轨的上方滑动连接有X向导轨滑块，且X向导轨滑块顶部固定安装有水平设置的夹层固定板，所述夹层固定板顶部两侧的外壁上均布置有Y向直线导轨，且Y向直线导轨的上方滑动连接有Y向导轨滑块，所述Y向导轨滑块的顶部固定安装有提拉框，所述过渡板一侧的外壁上固定安装有X向电动推杆支架，所述提拉框的一侧外壁上固定安装有与X向电动推杆支架相垂直的Y向电动推杆支架。本技术采用X向移动导轨和Y向直线导轨作为导向，两层导轨间增加夹层固定板，极大减小了正压作用导致的机构变形。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及区熔设备，具体涉及一种区熔炉双导轨移动机构。

技术介绍

1、区熔设备上轴x、y向移动依靠mv型导轨导向，而两层导轨间固定仅依靠四个m8螺栓，中间无任何固定及支撑，装配过程预压量无法控制，装配精度纯靠人工把控，在炉腔内正压作用下两层导轨间变形较大且不均匀，进而导致上主轴偏斜，使得固定在上主轴下端的多晶料偏离线圈中心。由于mv型导轨机构移动滑块与密封固定环、o型密封圈间存在滑动摩擦力，再加上正压作用变形，上主轴在x、y向移动过程实际变化与伺服电机位置理论变化量存在较大偏差，同时，还存在漏气风险，维修时费时费力。因此，亟需设计一种区熔炉双导轨移动机构来解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种区熔炉双导轨移动机构，以解决现有技术中的上述不足之处。

2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体，所述腔体顶部固定安装有过渡板，且过渡板顶部两侧的外壁上均布置有x向移动导轨，所述x向移动导轨的上方滑动连接有x向导轨滑块，且x向导轨滑块顶部固定安装有水平设置的夹层固定板，所述夹层固定板顶部两侧的外壁上均布置有y向直线导轨，且y向直线导轨的上方滑动连接有y向导轨滑块，所述y向导轨滑块的顶部固定安装有提拉框，所述过渡板一侧的外壁上固定安装有x向电动推杆支架，所述提拉框的一侧外壁上固定安装有与x向电动推杆支架相垂直的y向电动推杆支架，所述x向电动推杆支架和y向电动推杆支架的内部均设置有驱动机构，所述提拉框和夹层固定板的一侧外壁上均固定设置有直线位移传感器一，所述提拉框上方端面的对角处均设置有直线位移传感器二。

4、优选的，所述过渡板与x向移动导轨、夹层固定板和y向直线导轨之间均设置有偏心导轨压块。

5、优选的，所述提拉框的内部中心位置固定安装有轴承仓，且轴承仓的内部活动安装有主轴，所述主轴的底端固定安装有多晶棒。

6、优选的，所述主轴的外部套接有位于轴承仓下方的移动滑块，所述移动滑块的下方设置有套设在主轴外部的密封固定环，所述x向导轨滑块与x向移动导轨、y向导轨滑块与y向直线导轨之间均使用者o型密封圈。

7、优选的，所述驱动机构包括伺服电机，所述x向电动推杆支架内部的伺服电机上传动连接有x向电动推杆，且x向电动推杆的输出轴上设置有x向移动固定块，所述x向移动固定块通过连接销钉与夹层固定板相固定。

8、优选的，所述y向电动推杆支架内部的伺服电机上传动连接有y向电动推杆，且y向电动推杆的输出轴上设置有y向移动固定块，所述y向移动固定块通过连接销钉与夹层固定板相固定。

9、在上述技术方案中，本技术提供的一种区熔炉双导轨移动机构，有益效果为：

10、采用x向移动导轨和y向直线导轨作为导向，两层导轨间增加夹层固定板，极大减小了正压作用导致的机构变形；直线导轨机构移动滑块与o型密封圈接触平面采用自润滑涂层，减少滑动摩擦力；x向电动推杆支架18和y向电动推杆支架21均使用45号钢支架，支架变形由0.15mm变为0.02mm，规避支架变形导致的位移精度变化；直线导轨选用中预压，各滚珠列按照45°接触角配置，四个方向均具有较大额定载荷，且安装精度易于保证，维护方便，能够实现高精度工况运行。采用两个直线位移传感器一实时监测x、y向实际移动量并与电机输出理论值对比形成闭环控制；采用两个对角布置的直线位移传感器二实时监测上提拉底板变化量，一旦超过0.1mm就会警报提示。

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【技术保护点】

1.一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体(1)，其特征在于，所述腔体(1)顶部固定安装有过渡板(3)，且过渡板(3)顶部两侧的外壁上均布置有X向移动导轨(2)，所述X向移动导轨(2)的上方滑动连接有X向导轨滑块(5)，且X向导轨滑块(5)顶部固定安装有水平设置的夹层固定板(6)，所述夹层固定板(6)顶部两侧的外壁上均布置有Y向直线导轨(7)，且Y向直线导轨(7)的上方滑动连接有Y向导轨滑块(8)，所述Y向导轨滑块(8)的顶部固定安装有提拉框(9)，所述过渡板(3)一侧的外壁上固定安装有X向电动推杆支架(18)，所述提拉框(9)的一侧外壁上固定安装有与X向电动推杆支架(18)相垂直的Y向电动推杆支架(21)，所述X向电动推杆支架(18)和Y向电动推杆支架(21)的内部均设置有驱动机构，所述提拉框(9)和夹层固定板(6)的一侧外壁上均固定设置有直线位移传感器一(24)，所述提拉框(9)上方端面的对角处均设置有直线位移传感器二(25)。

2.根据权利要求1所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述过渡板(3)与X向移动导轨(2)、夹层固定板(6)和Y向直线导轨(7)之间均设置有偏心导轨压块(4)。

3.根据权利要求1所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述提拉框(9)的内部中心位置固定安装有轴承仓(10)，且轴承仓(10)的内部活动安装有主轴(11)，所述主轴(11)的底端固定安装有多晶棒(12)。

4.根据权利要求3所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述主轴(11)的外部套接有位于轴承仓(10)下方的移动滑块(13)，所述移动滑块(13)的下方设置有套设在主轴(11)外部的密封固定环(14)，所述X向导轨滑块(5)与X向移动导轨(2)、Y向导轨滑块(8)与Y向直线导轨(7)之间均使用者O型密封圈(15)。

5.根据权利要求1所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述驱动机构包括伺服电机(16)，所述X向电动推杆支架(18)内部的伺服电机(16)上传动连接有X向电动推杆(17)，且X向电动推杆(17)的输出轴上设置有X向移动固定块(19)，所述X向移动固定块(19)通过连接销钉(20)与夹层固定板(6)相固定。

6.根据权利要求5所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述Y向电动推杆支架(21)内部的伺服电机(16)上传动连接有Y向电动推杆(22)，且Y向电动推杆(22)的输出轴上设置有Y向移动固定块(23)，所述Y向移动固定块(23)通过连接销钉(20)与夹层固定板(6)相固定。

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【技术特征摘要】

1.一种区熔炉双导轨移动机构，包括腔体(1)，其特征在于，所述腔体(1)顶部固定安装有过渡板(3)，且过渡板(3)顶部两侧的外壁上均布置有x向移动导轨(2)，所述x向移动导轨(2)的上方滑动连接有x向导轨滑块(5)，且x向导轨滑块(5)顶部固定安装有水平设置的夹层固定板(6)，所述夹层固定板(6)顶部两侧的外壁上均布置有y向直线导轨(7)，且y向直线导轨(7)的上方滑动连接有y向导轨滑块(8)，所述y向导轨滑块(8)的顶部固定安装有提拉框(9)，所述过渡板(3)一侧的外壁上固定安装有x向电动推杆支架(18)，所述提拉框(9)的一侧外壁上固定安装有与x向电动推杆支架(18)相垂直的y向电动推杆支架(21)，所述x向电动推杆支架(18)和y向电动推杆支架(21)的内部均设置有驱动机构，所述提拉框(9)和夹层固定板(6)的一侧外壁上均固定设置有直线位移传感器一(24)，所述提拉框(9)上方端面的对角处均设置有直线位移传感器二(25)。

2.根据权利要求1所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述过渡板(3)与x向移动导轨(2)、夹层固定板(6)和y向直线导轨(7)之间均设置有偏心导轨压块(4)。

3.根据权利要求1所述的一种区熔炉双导轨移动机构，其特征在于，所述提...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳增可，胡动力，马文龙，李井顺，贾新旺，王人松，
申请(专利权)人：连科半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：