【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别是涉及一种数据管理方法和半导体工艺设备。
技术介绍
1、在半导体设备中，通常会对工艺过程中的工艺参数、软件运行日志进行记录，在日积月累下，随着台机的不断运行，程序产出的运行数据和日志会不断增加，进而使得保存运行数据的数据库表的记录数和日志文件大小不断增加，上位机和下位机都各自有自己独立的日志管理程序对各自的系统日志及数据库工艺数据进行管理，由于上位机和下位机是部署在不同的工控机上，很难进行统一管理及处理。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的。
2、为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种数据管理方法，所述方法包括：
3、获取针对半导体设备存储的目标数据预先注册的数据配置信息；所述半导体设备包括上位机和/或下位机；
4、根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件；
5、当所述目标数据满足备份条件时，对所述目标数据进行压缩，将经压缩的所述目标数据存储至备份目录，并删除所述目标数据。
6、可选地，所述数据配置信息包括：记录时间、数据需要保存的时长；所述根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件，包括：
7、获取当前时间，根据所述记录时间和所述当前时间确定数据已保存时长；
8、判断所述数据已保存时长是否大于所述数据需要保存的时长；
9、若所述数据已保存时长大于所述数据需要
10、可选地，所述数据配置信息还包括数据类型，所述数据类型包括日志文件类型，所述对所述目标数据进行压缩，将压缩的所述目标数据存储至备份目录，并删除所述目标数据，包括：
11、当所述目标数据的数据类型为日志文件类型，对所述目标数据进行压缩，将压缩的所述目标数据存储至备份目录；
12、判断所述压缩的目标数据是否成功保存至所述备份目录；
13、若所述压缩的目标数据成功保存至所述备份目录，则将所述目标数据删除。
14、可选地，所述判断所述压缩的目标数据是否成功保存至所述备份目录之后，还包括：
15、若所述压缩的目标数据未成功保存至所述备份目录，则重复将所述压缩的目标数据存储至备份目录的步骤，并记录重复次数；
16、若所述重复次数达到预设次数，则不删除所述目标数据。
17、可选地，所述数据配置信息还包括数据类型，所述数据类型包括数据库类型，所述对所述目标数据进行压缩，将压缩的所述目标数据存储至备份目录，并删除所述目标数据，还包括：
18、当所述目标数据的类型为数据库类型，将所述目标数据转储至指定目录；
19、在所述目标数据转储成功后，将所述目标数据进行压缩，并将压缩成功的所述目标数据保存至所述备份目录；
20、将所述指定目录中的所述目标数据进行删除。
21、可选地，所述获取针对半导体设备存储的目标数据预先注册的数据配置信息的步骤之前，还包括：
22、获取用户输入的所述目标数据的保存时长；
23、根据所述目标数据的保存时长，对所述配置信息中所述目标数据需要保存的时长进行配置。
24、可选地，所述方法还包括：
25、获取所述备份目录中保存的压缩文件；
26、根据所述压缩文件的记录时间，确定所述压缩文件已保存的时长；
27、根据所述压缩文件已保存的时长，依次确定所述备份目录中大于预设保存时长的目标压缩文件，并将所述目标压缩文件从所述备份目录中删除。
28、可选地，所述上位机与所述下位机连接，所述方法还包括：
29、获取所述上位机和/或所述下位机的磁盘剩余容量；
30、当所述上位机的磁盘剩余容量和/或所述下位机的磁盘剩余容量小于预设值时，发出报警信号，所述报警信号用于提醒用户对所述上位机或下位机的磁盘容量进行清理。
31、可选地，所述上位机包括任务管理器，所述方法还包括：
32、通过所述任务管理器设置启动时间；
33、所述根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件，包括：
34、当通过所述任务管理器确定达到所述预设启动时间时，根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件。
35、可选地，所述根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件，包括：
36、根据所述数据配置信息中的数据类型，确定所述数据配置信息中所述记录时间的初始时间格式；
37、将所述记录时间的初始时间格式转换为目标时间格式；
38、根据包含所述目标时间格式的记录时间的所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件。
39、本专利技术还公开了一种半导体设备，包括上位机，所述上位机被配置为执行上述的数据管理方法。
40、可选地，所述上位机还包括下位机，所述下位机，被配置为从所述上位机获取针对所述下位机存储的目标数据预先注册的数据配置信息，以及根据所述数据配置信息进行数据备份操作。
41、本专利技术实施例包括以下优点：
42、本专利技术公开了一种数据管理方法，本专利技术通过获取针对半导体设备存储的目标数据预先注册的数据配置信息；半导体设备包括上位机和/或下位机；根据数据配置信息，确定目标数据是否满足备份条件；当目标数据满足备份条件时，对目标数据进行压缩，将经压缩的目标数据存储至备份目录，并删除目标数据。本专利技术可以获取针对上位机和/或下位机的存储的目标数据预先注册的数据配置信息，然后根据数据配置信息对上位机或下位机中符合备份条件的目标数据进行备份，本专利技术不需要通过独立的日志管理程序分别对上位机或下位机中的数据进行管理，可以只通过上位机获取的上位机和/或下位机存储的目标数据预先注册的数据配置信息，就可以对上位机和/或下位机的数据进行管理，进而可以实现对上下位机数据及日志的统一管理。
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1.一种数据管理方法，其特征在于，应用于上位机，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述数据配置信息包括：记录时间、数据需要保存的时长；所述根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述数据配置信息还包括数据类型，所述数据类型包括日志文件类型，所述对所述目标数据进行压缩，将压缩的所述目标数据存储至备份目录，并删除所述目标数据，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述判断所述压缩的目标数据是否成功保存至所述备份目录之后，还包括：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述数据配置信息还包括数据类型，所述数据类型包括数据库类型，所述对所述目标数据进行压缩，将压缩的所述目标数据存储至备份目录，并删除所述目标数据，还包括：
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述获取针对半导体设备存储的目标数据预先注册的数据配置信息之前，还包括：
7.根据权利要求3或5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
8
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述上位机包括任务管理器，所述方法还包括：
10.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件，包括：
11.一种半导体设备，其特征在于，包括上位机，所述上位机被配置为执行权利要求1-10任一项所述的数据管理方法。
12.根据权利要求11所述的半导体设备，其特征在于，还包括下位机，所述下位机，被配置为从所述上位机获取针对所述下位机存储的目标数据预先注册的数据配置信息，以及根据所述数据配置信息进行数据备份操作。
...【技术特征摘要】
1.一种数据管理方法，其特征在于，应用于上位机，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述数据配置信息包括：记录时间、数据需要保存的时长；所述根据所述数据配置信息，确定所述目标数据是否满足备份条件，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述数据配置信息还包括数据类型，所述数据类型包括日志文件类型，所述对所述目标数据进行压缩，将压缩的所述目标数据存储至备份目录，并删除所述目标数据，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述判断所述压缩的目标数据是否成功保存至所述备份目录之后，还包括：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述数据配置信息还包括数据类型，所述数据类型包括数据库类型，所述对所述目标数据进行压缩，将压缩的所述目标数据存储至备份目录，并删除所述目标数据，还包括：
6.根据权利要求2所述的方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛晓强，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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