【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子束熔炼、电子束蒸发，特别是指一种束斑形貌测量装置。
技术介绍
1、电子束熔炼指的是在真空环境下，将高速电子束流的动能转换为热能作为能源进行金属熔炼的一种方法；真空电子束蒸发镀膜是通过电子束的偏转作用于坩埚熔池当中，熔池中的金属受热熔化并形成原子蒸汽离开金属熔池液面，被蒸发出来的原子蒸汽作用于基板上，形成镀膜；上述两种真空技术均靠电子枪所发射的电子束作依托，坩埚作为物料的载体；坩埚与电子束之间是否相互匹配，直接影响后续熔炼、蒸镀的效果；因此在真空装置首次安装、调试阶段，电子束轨迹位置的调试显得尤为重要。
2、目前所使用电子束束斑位置测量，主要是在坩埚熔池内添加与熔池形状一致的物料锭，在低功率运行条件下，调节束斑位置参数，通过观察窗观察物料锭表面束斑位置的变化。
3、该方法测量，主要存在以下问题：
4、1、物料锭由置于坩埚熔池内物料块融化凝固后形成，物料锭的厚度随着物料块的重量不同而发生变化，物料锭的厚度不稳定，易产生波动，直接影响测量准确性；
5、2、进行束斑位置调节时，物料锭会局部融化，完成束斑位置调节后，需要对束斑的尺寸进行测量，为了便于测量束斑的尺寸，需要等待物料锭冷却凝固后再进行测量，但是物料凝固过程中会造成束斑造成的印记形状发生变化，影响束斑尺寸的测量准确性；
6、3、新设备如直接用物料锭调节测量，易造成设备污染。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种束斑形貌测量装置，通过由钼块制成的测量底座和测
2、为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案如下：
3、一种束斑形貌测量装置，包括：
4、由钼块制成的测量底座，所述测量底座的底部外形与坩埚熔池的内部形状相适配；
5、由钼块制成的测量块，可拆卸的连接在所述测量底座表面；
6、位置标记线，设置在所述测量块表面，所述位置标记线设置有多条，多条所述位置标记线在所述测量块表面中心交错分布构成用于调节束斑位置的矩形调节区。
7、可选的，所述测量装置还包括：
8、定位槽，成型在所述测量底座表面，所述定位槽呈十字型结构；
9、定位凸起，成型在所述测量块底面，所述定位凸起呈十字型结构，且所述定位凸起与所述定位槽插接配合。
10、可选的，所述定位槽的四端均贯穿所述测量底座的外侧面。
11、可选的，所述测量装置还包括：
12、第一螺纹孔，设置在所述测量底座表面，所述第一螺纹孔至少设置有两个，且以所述测量底座的轴线为基准圆周均匀分布。
13、可选的，所述测量底座底部成型有平面部。
14、可选的，所述位置标记线为深槽结构，该深槽结构远离矩形调节区中心的一侧设置有刻度线。
15、可选的，所述测量装置还包括：
16、标记缺口，设置在所述测量块外侧，且所述标记缺口位于多条所述位置标记线交错分布构成的矩形调节区的长度方向的延长线上。
17、可选的，所述测量装置还包括：
18、抓取槽，设置有两个，所述抓取槽避开所述标记缺口，且两个所述抓取槽对称设置在所述测量块的两侧，使所述测量块的上部的横截面呈燕尾结构。
19、可选的，所述测量装置还包括：
20、第二螺纹孔，所述第二螺纹孔设置在所述抓取槽底面，所述第二螺纹孔贯穿所述测量块底面。
21、可选的，所述第二螺纹孔设置有两个，两个所述第二螺纹孔分别设置在两个所述抓取槽底面，且两个所述第二螺纹孔以所述测量块的中心为基准对角分布。
22、本专利技术的上述方案至少包括以下有益效果：
23、本专利技术的上述方案，通过由钼块制成的测量底座和测量块配合进行束斑形貌测量，测量底座和测量块的整体厚度稳定，不易产生波动，能够保证测量的准确性；同时测量底座和测量块耐高温且稳定，不会造成电子枪、坩埚熔池等设备污染；通过多条位置标记线在测量块表面中心交错分布构成用于调节束斑位置的矩形调节区，能够保证束斑位置调节的准确性；测量块耐高温且稳定，束斑在矩形调节区形成的印记稳定不易发生变化，同时配合位置标记线能够准确测量束斑的尺寸，保证束斑尺寸测量的准确性。
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1.一种束斑形貌测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，所述定位槽(3)的四端均贯穿所述测量底座(1)的外侧面。
4.根据权利要求1所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，所述测量底座(1)底部成型有平面部(5)。
6.根据权利要求1所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，所述位置标记线(7)为深槽结构，该深槽结构远离矩形调节区中心的一侧设置有刻度线。
7.根据权利要求1所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求7所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求8所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求9所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，所述第二螺纹孔(6)设置有两个，两个所述第二螺纹孔(6)分别设置在两个所述抓取槽(8)底面，且两个所述第二螺纹孔(6)
...【技术特征摘要】
1.一种束斑形貌测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，所述定位槽(3)的四端均贯穿所述测量底座(1)的外侧面。
4.根据权利要求1所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，所述测量底座(1)底部成型有平面部(5)。
6.根据权利要求1所述的束斑形貌测量装置，其特征在于，所述位置标记线(7)...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫超，张涛，赵国华，许文强，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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