一种双波长输出的半导体激光器及其制备方法技术

本申请涉及半导体激光技术领域，公开了一种双波长输出的半导体激光器及其制备方法。所述半导体激光器包括光栅结构，光栅结构包括侧向耦合光栅和脊光栅；侧向耦合光栅包括两组周期相同、占空比相同的侧向光栅，以及设于两组侧向光栅中间的连接波导；脊光栅在连接波导上刻蚀生成。采用脊光栅和侧向耦合光栅相结合，可以很好地保证光栅反射谱中具有两个反射峰，通过改变侧向耦合光栅的宽度，可以增强对应光栅的耦合系数，使得侧向耦合光栅和脊光栅的耦合强度基本相同，可以实现强度基本一致的双波峰激射。侧向光栅与脊光栅之间刻蚀有凹槽，可以减少侧向耦合光栅和脊光栅之间的模式竞争。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体激光，具体涉及一种双波长输出的半导体激光器及其制备方法。

技术介绍

1、拉曼光谱在实验室和实际应用中已经成为一种完善和广泛使用的分析工具，但拉曼光谱仪在工作中会受到背景信号的干扰，如测试样品时的荧光、太阳、黑体辐射、白炽灯、荧光灯或节能灯等，严重影响拉曼光谱特征峰的识别。而位移差分拉曼光谱(serds)的技术可以克服这个问题。拉曼光谱的光谱特征峰出现的位置与激发光源频谱位置有固定关系，当激发光频率移动时拉曼特征峰会跟着移动，而日光、人工光源和荧光的光谱保持不变。通过记录两个稍微移位波长下的拉曼光谱，对两张谱图进行差分处理，所获得的差分谱中，受激发射谱和噪声背景会完全抵消，剩下的是拉曼光谱与自身平移光谱的差分图像，再通过去噪卷积算法将拉曼光谱还原出来。

2、但是，现有技术中双波长实现困难，由于两个不同周期布拉格结构存在强烈的模式竞争，会使得某一组光栅对应的激射波长具有较大的损耗，耦合系数较低，导致输出的双波长存在高低峰的问题，低峰光谱强度过低会进一步影响检测结果。更进一步，模式竞争还会导致整体的反射峰峰值呈现一个较低值，即输出的反本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双波长输出的半导体激光器，包括光栅结构，其特征在于，所述光栅结构包括侧向耦合光栅和脊光栅；

2.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述侧向耦合光栅和所述脊光栅的刻蚀深度相同。

3.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述光栅结构为均匀光栅结构，阶数为5-20，占空比为0.3-0.7。

4.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述侧向耦合光栅和脊光栅的周期间隔为1-3nm。

5.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述脊光栅中间开设有电极窗口。<...

【技术特征摘要】

1.一种双波长输出的半导体激光器，包括光栅结构，其特征在于，所述光栅结构包括侧向耦合光栅和脊光栅；

2.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述侧向耦合光栅和所述脊光栅的刻蚀深度相同。

3.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述光栅结构为均匀光栅结构，阶数为5-20，占空比为0.3-0.7。

4.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述侧向耦合光栅和脊光栅的周期间隔为1-3nm。

5.根据权利要求1所述的双波长输出的半导体激光器，其特征在于，所述脊光栅中间开设有电极窗口。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹永刚，黄卓尔，范杰，石琳琳，徐睿良，付曦瑶，兰云萍，马晓辉，岳钰新，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：